Structure and method for simultaneously determining an overlay accuracy and pattern placement error
Номер патента: GB2446314A
Опубликовано: 06-08-2008
Автор(ы): Bernd Schulz
Принадлежит: Advanced Micro Devices Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-08-2008
Автор(ы): Bernd Schulz
Принадлежит: Advanced Micro Devices Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
System and method for determining overlay measurement of a scanning target
Номер патента: US20240337952A1. Автор: Vladimir Levinski,Daria Negri,Andrew V. Hill,Yuval LUBASHEVSKY,Oren Lahav,Yonatan Vaknin,Nireekshan K. Reddy,Itay Gdor,Jordan Pio,Alon Alexander Volfman,Nickolai ISAKOVITCH,Iftach Galon. Владелец: KLA Corp. Дата публикации: 2024-10-10.