MACHINE VISION SYSTEM FOR SUBSTRATE ALIGNMENT AND ALIGNMENT DEVICE
Номер патента: US20200090971A1
Опубликовано: 19-03-2020
Автор(ы): HUO Zhijun, Zhu Zhi
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-03-2020
Автор(ы): HUO Zhijun, Zhu Zhi
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Particle detection for substrate processing
Номер патента: US20210018449A1. Автор: Abraham Ravid,Gregory Kirk,Todd Egan,Mehdi Vaez-Iravani,Samer Banna,Kyle TANTIWONG,Yaoming SHEN. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2021-01-21.