Processing system for forming layers
Номер патента: WO2020251696A1
Опубликовано: 17-12-2020
Автор(ы): Alexander N. Lerner, Amikam Sade, Andrew J. CONSTANT, Jeffrey Allen Brodine, Kevin Vincent Moraes, Kim Ramkumar VELLORE, Michael P. Karazim, Niranjan Kumar, Roey Shaviv, Steven V. Sansoni
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-12-2020
Автор(ы): Alexander N. Lerner, Amikam Sade, Andrew J. CONSTANT, Jeffrey Allen Brodine, Kevin Vincent Moraes, Kim Ramkumar VELLORE, Michael P. Karazim, Niranjan Kumar, Roey Shaviv, Steven V. Sansoni
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Processing system and methods for forming void-free and seam-free tungsten features
Номер патента: US20240209500A1. Автор: Kai Wu,Kazuya DAITO,Harpreet Singh,Michael C. Kutney,Peiqi Wang,Wei Min Chan,Xi CEN,Mingrui ZHAO. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-06-27.