Method and apparatus for compensating for thermally-induced beam pointing errors in a laser-processing system
Номер патента: WO2024167702A1
Опубликовано: 15-08-2024
Автор(ы): Daragh Finn, Mark Peeples, Mehmet Alpay, Tobin HALL
Принадлежит: Electro Scientific Industries, Incorporated
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 15-08-2024
Автор(ы): Daragh Finn, Mark Peeples, Mehmet Alpay, Tobin HALL
Принадлежит: Electro Scientific Industries, Incorporated
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Laser processing system and laser processing method
Номер патента: US20220184745A1. Автор: Akiko Inoue,Saneyuki Goya. Владелец: Mitsubishi Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2022-06-16.