Method and apparatus for curing thin films on low-temperature substrates at high speeds
Номер патента: CA2730296A1
Опубликовано: 14-01-2010
Автор(ы): Doug K. Jackson, Karl M. Martin, Kurt A. Schroder, Steven C. Mccool
Принадлежит: NCC Nano LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-01-2010
Автор(ы): Doug K. Jackson, Karl M. Martin, Kurt A. Schroder, Steven C. Mccool
Принадлежит: NCC Nano LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and apparatus for curing thin films on low-temperature substrates at high speeds
Номер патента: US09643208B2. Автор: Doug K. Jackson,Kurt A Schroder,Steven C Mccool,Karl M Martin. Владелец: NCC Nano LLC. Дата публикации: 2017-05-09.