Measuring method and apparatus using shearing interferometry, exposure method and apparatus using the same, and device manufacturing method
Номер патента: US7253907B2
Опубликовано: 07-08-2007
Автор(ы): Chidane Ouchi
Принадлежит: Canon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-08-2007
Автор(ы): Chidane Ouchi
Принадлежит: Canon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods and Apparatus For Measuring Wavefronts and For Determining Scattered Light, and Related Devices and Manufacturing Methods
Номер патента: US20080231840A1. Автор: Ulrich Wegmann,Wolfgang Emer,Helmut Haidner. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2008-09-25.