Methods of producing high-K dielectric films using cerium-based precursors
Номер патента: US8613975B2
Опубликовано: 24-12-2013
Автор(ы): Paul Raymond Chalker, Peter Nicholas Heys
Принадлежит: Sigma Aldrich Co LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-12-2013
Автор(ы): Paul Raymond Chalker, Peter Nicholas Heys
Принадлежит: Sigma Aldrich Co LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
High-k dielectric films and methods of producing high-k dielectric films using cerium-based precursors
Номер патента: TWI467045B. Автор: Peter Nicholas Heys,Paul Raymond Chalker. Владелец: Sigma Aldrich Co. Дата публикации: 2015-01-01.