Smooth groove formation method employing spin coating of negative replica of inscribed disc
Номер патента: US4113897A
Опубликовано: 12-09-1978
Автор(ы): Richard William Nosker
Принадлежит: RCA Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-09-1978
Автор(ы): Richard William Nosker
Принадлежит: RCA Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Turntable device for spin-coating
Номер патента: WO2006033528A1. Автор: Tae-Sik Kang,Youngjun Hong,Seongkeun Lee. Владелец: LG CHEM. LTD.. Дата публикации: 2006-03-30.