Voltage current sensor with high matching directivity
Номер патента: US20030046013A1
Опубликовано: 06-03-2003
Автор(ы): Kevin Gerrish
Принадлежит: Individual
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-03-2003
Автор(ы): Kevin Gerrish
Принадлежит: Individual
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Inductive plasma processor including current sensor for plasma excitation coil
Номер патента: EP1374277A1. Автор: Jian J. Chen,Robert G. Veltrop,Thomas E. Wicker. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2004-01-02.