Metrological structures particularly for direct measurement of errors introduced by alignment systems
Номер патента: US5985494A
Опубликовано: 16-11-1999
Автор(ы): Giovanni Rivera, Paolo Canestrari, Samuele Carrera
Принадлежит: SGS Thomson Microelectronics SRL
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-11-1999
Автор(ы): Giovanni Rivera, Paolo Canestrari, Samuele Carrera
Принадлежит: SGS Thomson Microelectronics SRL
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Process for producing metrological structures particularly useful for analyzing the accuracy of instruments for measuring alignment on processed substrates
Номер патента: US5246539A. Автор: Paolo Canestrari,Carlo Lietti,Giovanni Rivera. Владелец: SGS Thomson Microelectronics SRL. Дата публикации: 1993-09-21.