METHOD OF IMPRESSION-BASED PRODUCTION OF A FILTER FOR AN ELECTROMAGNETIC RADIATION
Номер патента: US20140217625A1
Опубликовано: 07-08-2014
Автор(ы): Hazart Jérôme, Landis Stefan
Принадлежит: Commissariat A L'Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-08-2014
Автор(ы): Hazart Jérôme, Landis Stefan
Принадлежит: Commissariat A L'Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Spectral filter for splitting a beam with electromagnetic radiation having wavelengths in the extreme ultraviolet (euv) or soft x-ray (soft x) and the infrared (ir) wavelength range
Номер патента: WO2012023853A1. Автор: Frederik Bijkerk,Frederik Albert Van Goor,Robert Van Der Meer,Antonius Johannes Ronald Van Den Boogaard. Владелец: UNIVERSITEIT TWENTE. Дата публикации: 2012-02-23.