Method and apparatus for plasma generation
Номер патента: US20230036853A1
Опубликовано: 02-02-2023
Автор(ы): Andrew Cowe, Gordon Hill, Larry Bourget, Ron Collins
Принадлежит: MKS Instruments Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-02-2023
Автор(ы): Andrew Cowe, Gordon Hill, Larry Bourget, Ron Collins
Принадлежит: MKS Instruments Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Film forming method and film forming apparatus for forming nitride film using mocvd apparatus, and shower head
Номер патента: TW201704522A. Автор: Masaki Kusuhara,Masayuki Toda,Masaru Udeda. Владелец: Wacom R&D Corp. Дата публикации: 2017-02-01.