Apparatus and method for deposition organic compounds, and substrate treating system with the apparatus
Номер патента: TW200724697A
Опубликовано: 01-07-2007
Автор(ы): Il-Ho Noh, Suk-Min Choi, Young-Chul Joung
Принадлежит: Semes Co Ltd
Опубликовано: 01-07-2007
Автор(ы): Il-Ho Noh, Suk-Min Choi, Young-Chul Joung
Принадлежит: Semes Co Ltd
Vaccum deposition system and method thereof
Номер патента: US20200051946A1. Автор: Michael Nagy,Dino Deligiannis. Владелец: Dino Deligiannis. Дата публикации: 2020-02-13.