Plating processing method, plating processing apparatus, and sensor apparatus
Номер патента: JPWO2017170510A1
Опубликовано: 07-02-2019
Автор(ы): 圭 奈良, 堀 正和, 敬 杉▲崎▼
Принадлежит: Nikon Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-02-2019
Автор(ы): 圭 奈良, 堀 正和, 敬 杉▲崎▼
Принадлежит: Nikon Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and Apparatus for Performing Immersion Tin Process or Copper Plating Process in the Production of a Component Carrier
Номер патента: US20210108315A1. Автор: Heinrich Trischler. Владелец: AT&S Austria Technologie und Systemtechnik AG. Дата публикации: 2021-04-15.