SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD USING THE SAME
Номер патента: US20170137938A1
Опубликовано: 18-05-2017
Автор(ы): Hyon Jun Jin, Je Sung Tae, KIM Chang Dol, KIM Jae Woo, KIM Kyong Hun, KIM Yong Ki, SHIN Yang Sik, SONG Byoung Gyu
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-05-2017
Автор(ы): Hyon Jun Jin, Je Sung Tae, KIM Chang Dol, KIM Jae Woo, KIM Kyong Hun, KIM Yong Ki, SHIN Yang Sik, SONG Byoung Gyu
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate processing system with multiple processing devices deployed in shared ambient emvironment and associated methods
Номер патента: WO2012047531A3. Автор: Jeffrey Marks,David J. Hemker,Lubab L. Sheet. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2012-06-28.