LID ASSEMBLY APPARATUS AND METHODS FOR SUBSTRATE PROCESSING CHAMBERS
Номер патента: US20200291522A1
Опубликовано: 17-09-2020
Автор(ы): Agarwal Sumit, BANGALORE Vidyadharan Srinivasa Murthy, Desai Prashant A., HUANG Zubin, KEDLAYA Diwakar N., Nguyen Truong, PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY Hanish Kumar
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-09-2020
Автор(ы): Agarwal Sumit, BANGALORE Vidyadharan Srinivasa Murthy, Desai Prashant A., HUANG Zubin, KEDLAYA Diwakar N., Nguyen Truong, PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY Hanish Kumar
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Process chamber cleaning apparatus and method
Номер патента: US20240279802A1. Автор: Jung-Min Lee,Jae Sung Yu,Dae Ki Kim,Gi Duck KWEON,Hang Kyu SONG,Hyun Tae YANG,Byoung Kwon YEO,Byeong Ho WOO,Jung Bae CHOI. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-08-22.