Tools and methods for processing microelectronic workpieces using process chamber designs that easily transition between open and closed modes of operation
Номер патента: US8235062B2
Опубликовано: 07-08-2012
Автор(ы): Alan D. Rose, Jeffrey M. Lauerhaas, Jimmy D. Collins, Tracy A. Gast
Принадлежит: FSI International Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-08-2012
Автор(ы): Alan D. Rose, Jeffrey M. Lauerhaas, Jimmy D. Collins, Tracy A. Gast
Принадлежит: FSI International Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Tools and methods for processing microelectronic workpieces using process chamber designs that easily transition between open and closed modes of operation
Номер патента: US20090280235A1. Автор: Jimmy D. Collins,Tracy A. Gast,Alan D. Rose,Jeffrey M. Lauerhaas. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-11-12.