Method of examining locations in a wafer with adjustable navigation accuracy and system thereof
Номер патента: US20190234887A1
Опубликовано: 01-08-2019
Автор(ы): Idan Kaizerman, Mark Geshel
Принадлежит: Applied Materials Israel Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-08-2019
Автор(ы): Idan Kaizerman, Mark Geshel
Принадлежит: Applied Materials Israel Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of performing tomographic imaging of a sample in a charged-particle microscope
Номер патента: US09618460B2. Автор: Remco Schoenmakers,David Foord. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2017-04-11.