PIEZOELECTRIC ELEMENT AND PIEZOELECTRIC ACTUATOR
Номер патента: US20170155033A1
Опубликовано: 01-06-2017
Автор(ы): IKEDA Yoshiki, NAGATA Kazuo, Ono Shuto, SAITO Syogo
Принадлежит: TDK Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-06-2017
Автор(ы): IKEDA Yoshiki, NAGATA Kazuo, Ono Shuto, SAITO Syogo
Принадлежит: TDK Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Thin film piezoelectric element and manufacturing method thereof, micro-actuator, head gimbal assembly and disk drive unit with the same
Номер патента: US09450171B2. Автор: Wei Xiong,Atsushi Iijima,Kenjiro Hata,Kazushi Nishiyama,Daisuke Iitsuka,Panjalak ROKRAKTHONG. Владелец: SAE Magnetics HK Ltd. Дата публикации: 2016-09-20.