Micropositioning device with multidegrees of freedom for piezoelectric actuators and associated method
Номер патента: US09791491B2
Опубликовано: 17-10-2017
Автор(ы): Ioan Alexandru Ivan, Joel Agnus, Manitrarivo Rakotondrabe
Принадлежит: Ecole Nationale Superieure De Mecanique Et Des Microtechniques, Université de Franche-Comté
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-10-2017
Автор(ы): Ioan Alexandru Ivan, Joel Agnus, Manitrarivo Rakotondrabe
Принадлежит: Ecole Nationale Superieure De Mecanique Et Des Microtechniques, Université de Franche-Comté
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Interferometers having an amplified piezoelectric actuator and systems thereof
Номер патента: US20230378889A1. Автор: David Laird. Владелец: N Sense Inc. Дата публикации: 2023-11-23.