Protective layer for implant photoresist
Номер патента: US20120328781A9
Опубликовано: 27-12-2012
Автор(ы): Andrew R. Romano, S. M. Reza Sadjadi
Принадлежит: Lam Research Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-12-2012
Автор(ы): Andrew R. Romano, S. M. Reza Sadjadi
Принадлежит: Lam Research Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Protective layer for implant photoresist
Номер патента: WO2009085694A3. Автор: Andrew R. Romano,S. M. Reza Sadjadi. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2009-09-11.