Protective layer for implant photoresist
Номер патента: WO2009085694A3
Опубликовано: 11-09-2009
Автор(ы): Andrew R. Romano, S. M. Reza Sadjadi
Принадлежит: LAM RESEARCH CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-09-2009
Автор(ы): Andrew R. Romano, S. M. Reza Sadjadi
Принадлежит: LAM RESEARCH CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Protective layer for implant photoresist
Номер патента: US20120328781A9. Автор: Andrew R. Romano,S. M. Reza Sadjadi. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2012-12-27.