METHODS FOR OPTICAL PROXIMITY CORRECTION IN THE DESIGN AND FABRICATION OF INTEGRATED CIRCUITS USING EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY
Номер патента: US20160162624A1
Опубликовано: 09-06-2016
Автор(ы): Kim Ryan Ryoung-Han, Sun Lei, Wang Wenhui
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-06-2016
Автор(ы): Kim Ryan Ryoung-Han, Sun Lei, Wang Wenhui
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for making an optical proximity sensor
Номер патента: US20160104698A1. Автор: Yonggang Jin. Владелец: STMICROELECTRONICS PTE LTD. Дата публикации: 2016-04-14.