Electron-optical apparatus and method of obtaining topographical information about a sample surface
Номер патента: EP4310885A1
Опубликовано: 24-01-2024
Автор(ы): Erwin Slot, Niels Johannes Maria BOSCH, Niels VERGEER, Peter Paul HEMPENIUS, Stijn Wilem Herman Karel STEENBRINK, Thomas Adriaan OOMS, Vincent Sylvester KUIPER
Принадлежит: ASML Netherlands BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-01-2024
Автор(ы): Erwin Slot, Niels Johannes Maria BOSCH, Niels VERGEER, Peter Paul HEMPENIUS, Stijn Wilem Herman Karel STEENBRINK, Thomas Adriaan OOMS, Vincent Sylvester KUIPER
Принадлежит: ASML Netherlands BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Electron-optical apparatus and method of obtaining topographical information about a sample surface
Номер патента: WO2024017765A1. Автор: Peter Paul HEMPENIUS,Niels Johannes Maria BOSCH,Stijn Wilem Herman Karel STEENBRINK,Vincent Sylvester KUIPER,Niels VERGEER,Erwin Slot,Thomas Adriaan OOMS. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-01-25.