Method for controlling high-frequency power supply device, and high-frequency power supply device
Номер патента: US20230073768A1
Опубликовано: 09-03-2023
Автор(ы): Atsushi Takayanagi, Hiro Nakayama, Hirokazu Takada, Soichi Yokoyama, Toshinori Takeuchi
Принадлежит: Kyosan Electric Manufacturing Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-03-2023
Автор(ы): Atsushi Takayanagi, Hiro Nakayama, Hirokazu Takada, Soichi Yokoyama, Toshinori Takeuchi
Принадлежит: Kyosan Electric Manufacturing Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for controlling high-frequency power supply device and high-frequency power supply device
Номер патента: EP4110023A1. Автор: Hirokazu Takada,Atsushi Takayanagi,Soichi Yokoyama,Toshinori Takeuchi,Hiro Nakayama. Владелец: Kyosan Electric Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2022-12-28.