Cover ring to mitigate carbon contamination in plasma doping chamber
Номер патента: US20230282451A1
Опубликовано: 07-09-2023
Автор(ы): Christopher J. Leavitt, Eric D. Hermanson, Jordan B. Tye, Timothy J. Miller, Vikram M. Bhosle
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-09-2023
Автор(ы): Christopher J. Leavitt, Eric D. Hermanson, Jordan B. Tye, Timothy J. Miller, Vikram M. Bhosle
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Cover ring to mitigate carbon contamination in plasma doping chamber
Номер патента: WO2023172379A1. Автор: Timothy J. Miller,Christopher J. Leavitt,Eric D. Hermanson,Jordan B. Tye,Vikram M. Bhosle. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-09-14.