INTEGRATED STRUCTURE WITH BIDIRECTIONAL VERTICAL ACTUATION
Номер патента: US20140264645A1
Опубликовано: 18-09-2014
Автор(ы): DANEMAN Michael Julian, Hung Li-Wen, LIM Martin, LLOYD Stephen
Принадлежит: InvenSense, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-09-2014
Автор(ы): DANEMAN Michael Julian, Hung Li-Wen, LIM Martin, LLOYD Stephen
Принадлежит: InvenSense, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Multi-finger devices in mutliple-gate-contacted-pitch, integrated structures
Номер патента: US09935106B2. Автор: Brent A. Anderson,Edward J. Nowak,Robert R. Robison. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2018-04-03.