Multicell or multiarray plasma and method for surface treatment using the same
Номер патента: WO2022049445A1
Опубликовано: 10-03-2022
Автор(ы): Alain Germanier, Christoph Ellert, David Martinet, Fritz Bircher, Gilbert Gugler, Sebastian Filliger
Принадлежит: Institut Systèmes Industriels, Haute Ecole De Suisse Occidentale, Valais-Wallis (Hes-So), Iprint Institute
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 10-03-2022
Автор(ы): Alain Germanier, Christoph Ellert, David Martinet, Fritz Bircher, Gilbert Gugler, Sebastian Filliger
Принадлежит: Institut Systèmes Industriels, Haute Ecole De Suisse Occidentale, Valais-Wallis (Hes-So), Iprint Institute
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods for in situ surface treatment in an ion implantation system
Номер патента: US20090200493A1. Автор: Ivan L. Berry, III. Владелец: Axcelis Technologies Inc. Дата публикации: 2009-08-13.