SYSTEMS AND METHODS FOR REMOTE PLASMA ATOMIC LAYER DEPOSITION
Номер патента: US20140272185A1
Опубликовано: 18-09-2014
Автор(ы): Gopinath Sanjay, Na Jeong-Seok
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-09-2014
Автор(ы): Gopinath Sanjay, Na Jeong-Seok
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Systems and methods for deposition of molybdenum for source/drain contacts
Номер патента: US20230298902A1. Автор: Dong Li,Petri Raisanen,Eric James Shero,Jiyeon Kim. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-09-21.