An apparatus and a method of manufacturing an apparatus
Номер патента: WO2013088346A1
Опубликовано: 20-06-2013
Автор(ы): Gerhard SCHEUING, Heiko Schiller, Jens Rasmussen, Thomas Franke
Принадлежит: Nokia Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-06-2013
Автор(ы): Gerhard SCHEUING, Heiko Schiller, Jens Rasmussen, Thomas Franke
Принадлежит: Nokia Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
An Apparatus, a Device and a Device Manufacturing Method
Номер патента: US20160282723A1. Автор: Marcel Mathijs Theodore Dierichs,Eric Willem Felix CASIMIRI,Johannes Fransiscus Maria Velthuis,Sander Catharina Reinier Derks,Alexander Nikolov Zdravkov,Sumant Sukdew Ramanujan OEMRAWSINGH,Wilhelmus Theodorus Anthonius VAN DEN EINDEN,Wassim ZEIN EDDINE. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2016-09-29.