Capacitance reduction for back-side power rail device
Номер патента: US11961915B2
Опубликовано: 16-04-2024
Автор(ы): Chih-Hao Wang, Kuan-Lun Cheng, Kuo-Cheng Chiang, Shi Ning Ju, Wen-Ting Lan
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-04-2024
Автор(ы): Chih-Hao Wang, Kuan-Lun Cheng, Kuo-Cheng Chiang, Shi Ning Ju, Wen-Ting Lan
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Integrated circuit devices including a back side power distribution network structure and methods of forming the same
Номер патента: EP4343826A2. Автор: Tae Sun Kim,Kang-ill Seo,Jongjin Lee,Seungchan Yun,Wonhyuk HONG. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-03-27.