Microscope apparatus for phase image acquisition
Номер патента: US20130155498A1
Опубликовано: 20-06-2013
Автор(ы): Chih-Shiang CHOU, Fu-Sheng Chu, Yan-Ying HE, Yu-Po Tang
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-06-2013
Автор(ы): Chih-Shiang CHOU, Fu-Sheng Chu, Yan-Ying HE, Yu-Po Tang
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Microscope apparatus and method for phase image acquisition
Номер патента: US20150085356A1. Автор: Chih-Shiang CHOU,Yu-Po Tang,Fu-Sheng Chu,Yan-Ying HE. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2015-03-26.