Substrate bearing assembly and magnetron sputtering device
Номер патента: US20180312963A1
Опубликовано: 01-11-2018
Автор(ы): Biao TIAN
Принадлежит: BOE Technology Group Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-11-2018
Автор(ы): Biao TIAN
Принадлежит: BOE Technology Group Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate bearing assembly and magnetron sputtering device
Номер патента: US10968511B2. Автор: Biao TIAN. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2021-04-06.