Sliding anode for a magnetron sputtering source
Номер патента: WO2005010919A1
Опубликовано: 03-02-2005
Автор(ы): Pius Gruenenfelder, Walter Haag
Принадлежит: Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-02-2005
Автор(ы): Pius Gruenenfelder, Walter Haag
Принадлежит: Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Sliding anode magnetron sputtering source
Номер патента: US20050034975A1. Автор: Walter Haag,Pius Gruenenfelder. Владелец: Unaxis Balzers AG. Дата публикации: 2005-02-17.