Rod-shaped body, jig, detachment method and method for manufacturing silicon rod
Номер патента: EP3984954A4
Опубликовано: 24-01-2024
Автор(ы): Kazuhiro Kawaguchi
Принадлежит: Tokuyama Corp
Опубликовано: 24-01-2024
Автор(ы): Kazuhiro Kawaguchi
Принадлежит: Tokuyama Corp
Rod-shaped body, jig, method of disassembling, and method of manufacturing silicon rod
Номер патента: CN113993814A. Автор: 川口一博. Владелец: Tokuyama Corp. Дата публикации: 2022-01-28.