Pellicle membrane for a lithographic apparatus
Номер патента: CA3180234A1
Опубликовано: 02-12-2021
Автор(ы): Alexander Ludwig KLEIN, Paul Alexander VERMEULEN, Volker Dirk Hildenbrand, Zomer Silvester HOUWELING
Принадлежит: ASML Netherlands BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-12-2021
Автор(ы): Alexander Ludwig KLEIN, Paul Alexander VERMEULEN, Volker Dirk Hildenbrand, Zomer Silvester HOUWELING
Принадлежит: ASML Netherlands BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Pellicle membrane for a lithographic apparatus
Номер патента: NL2028022A. Автор: Alexander Vermeulen Paul,Silvester Houweling Zomer,Ludwig Klein Alexander,Dirk Hildenbrand Volker. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2021-12-01.