Method for obtaining improved feedforward data, a lithographic apparatus for carrying out the method and a device manufacturing method
Номер патента: US7818073B2
Опубликовано: 19-10-2010
Автор(ы): Marcel François Heertjes
Принадлежит: ASML Netherlands BV, KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS NV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-10-2010
Автор(ы): Marcel François Heertjes
Принадлежит: ASML Netherlands BV, KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS NV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Simulation method for simulating a real control for an industrial process, a system, or a machine, and simulation system for carrying out such a simulation method
Номер патента: US20180284721A1. Автор: Karl-Josef Amthor. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 2018-10-04.