Batch processing load lock chamber
Номер патента: WO2018175104A1
Опубликовано: 27-09-2018
Автор(ы): Ernesto J. ULLOA
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-09-2018
Автор(ы): Ernesto J. ULLOA
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
BATCH PROCESSING LOAD LOCK CHAMBER
Номер патента: US20180272390A1. Автор: ULLOA Ernesto. Владелец: . Дата публикации: 2018-09-27.