Device and method for patterning structures on a substrate
Номер патента: US8053037B2
Опубликовано: 08-11-2011
Автор(ы): Heike E. Riel, Reto Schlittler, Roland Germann, Siegfried F. Karg, Walter Heinrich Riess
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-11-2011
Автор(ы): Heike E. Riel, Reto Schlittler, Roland Germann, Siegfried F. Karg, Walter Heinrich Riess
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
System and method for controlling electrostatic clamping of multiple platens on a spinning disk
Номер патента: WO2023107203A1. Автор: Robert Mitchell,Scott E. Peitzsch. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-06-15.