POWER GENERATOR WITH FREQUENCY TUNING FOR USE WITH PLASMA LOADS
Номер патента: US20160276138A1
Опубликовано: 22-09-2016
Автор(ы): Van Zyl Gideon
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-09-2016
Автор(ы): Van Zyl Gideon
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Power generation systems and methods for plasma stability and control
Номер патента: US11721524B2. Автор: Merritt Funk,Kazuki Moyama,Kazushi Kaneko,Justin Moses,Chelsea DuBose. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-08.