Brush box cleaner with force control
Номер патента: WO2010039410A3
Опубликовано: 20-05-2010
Автор(ы): Allen L. D'Ambra, Hui Chen, Joseph Yudovsky
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-05-2010
Автор(ы): Allen L. D'Ambra, Hui Chen, Joseph Yudovsky
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Brush box cleaner with force control
Номер патента: WO2010039410A2. Автор: Hui Chen,Joseph Yudovsky,Allen L. D'Ambra. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2010-04-08.