ACCELEROMETRIC SENSOR IN MEMS TECHNOLOGY HAVING HIGH ACCURACY AND LOW SENSITIVITY TO TEMPERATURE AND AGEING
Номер патента: US20170285061A1
Опубликовано: 05-10-2017
Автор(ы): Langfelder Giacomo, RIZZINI Francesco, TOCCHIO Alessandro, Valzasina Carlo
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-10-2017
Автор(ы): Langfelder Giacomo, RIZZINI Francesco, TOCCHIO Alessandro, Valzasina Carlo
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
MEMS accelerometric sensor having high accuracy and low sensitivity to temperature and aging
Номер патента: US11835541B2. Автор: Alessandro Tocchio,Gabriele Gattere. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2023-12-05.