Shape-distortion standards for calibrating measurement tools for nominally flat objects
Номер патента: WO2020092280A1
Опубликовано: 07-05-2020
Автор(ы): Farhat Quli, Winfred Chow
Принадлежит: KLA Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-05-2020
Автор(ы): Farhat Quli, Winfred Chow
Принадлежит: KLA Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Shape-Distortion Standards for Calibrating Measurement Tools for Nominally Flat Objects
Номер патента: US20200135519A1. Автор: Quli Farhat A.,Chow Winfred. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-30.