Pad conditioner test apparatus and method
Номер патента: US20060094337A1
Опубликовано: 04-05-2006
Автор(ы): Sung-Choul Lee
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-05-2006
Автор(ы): Sung-Choul Lee
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Calibration device for pad conditioner head of a CMP machine
Номер патента: US20020137441A1. Автор: Yong-Sung Hong. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2002-09-26.