Transversely-excited film bulk acoustic resonators with interdigital transducer configured to reduce diaphragm stress
Номер патента: US20210351762A1
Опубликовано: 11-11-2021
Автор(ы): Bryant Garcia, Doug Jachowski, Greg Dyer, Neal Fenzi, Robert Hammond, Ryo Wakabayashi
Принадлежит: Resonant Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-11-2021
Автор(ы): Bryant Garcia, Doug Jachowski, Greg Dyer, Neal Fenzi, Robert Hammond, Ryo Wakabayashi
Принадлежит: Resonant Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Transversely-excited film bulk acoustic resonators with interdigital transducer configured to reduce diaphragm stress
Номер патента: US11909374B2. Автор: Bryant Garcia,Greg Dyer,Neal Fenzi,Robert Hammond,Doug Jachowski,Ryo Wakabayashi. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-20.