Method and apparatus for pressure based mass flow control
Номер патента: US12000723B2
Опубликовано: 04-06-2024
Автор(ы): Junhua Ding
Принадлежит: MKS Instruments Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-06-2024
Автор(ы): Junhua Ding
Принадлежит: MKS Instruments Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Leakage inspection method and leak inspection apparatus for piping
Номер патента: JP4684135B2. Автор: 直史 安本,信一 池田,幸司 川田,明弘 森本,義介 河野,晃央 本井傳,豊 上治,雅之 波多野,道生 倉持,義之 金台,一寛 永野,敏明 和田. Владелец: Fujikin Inc. Дата публикации: 2011-05-18.