METHODS AND SYSTEMS FOR APPLYING RUN-TO-RUN CONTROL AND VIRTUAL METROLOGY TO REDUCE EQUIPMENT RECOVERY TIME
Номер патента: US20160342147A1
Опубликовано: 24-11-2016
Автор(ы): HAWKINS Parris C.M., ISKANDAR Jimmy, MOYNE James, ZOU Jianping
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-11-2016
Автор(ы): HAWKINS Parris C.M., ISKANDAR Jimmy, MOYNE James, ZOU Jianping
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Process and Method for a Decoupled Multi-Parameter Run-to-Run Controller
Номер патента: US20110029119A1. Автор: Stephen Arlon Meisner,Ronald Charles Roth,Robert Ray SPANGLER,Madhu Sudan RAMAVAJJALA,Kristi BUSHMAN. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2011-02-03.