Shielding device and thin-film-deposition equipment with the same
Номер патента: US11972936B2
Опубликовано: 30-04-2024
Автор(ы): Jing-Cheng Lin
Принадлежит: Sky Tech Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-04-2024
Автор(ы): Jing-Cheng Lin
Принадлежит: Sky Tech Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Shielding device and thin-film-deposition equipment with the same
Номер патента: US11961724B2. Автор: Jing-Cheng Lin,Yu-Te Shen. Владелец: Sky Tech Inc. Дата публикации: 2024-04-16.