Россия, г. Королев.

eburdiyg@gmail.com

8 (903) 781-84-63

  • Главная
  • Low-pressure chemical vapor deposition apparatus and thin-film deposition method thereof

Low-pressure chemical vapor deposition apparatus and thin-film deposition method thereof

Номер патента: US20140322900A1
Опубликовано: 30-10-2014
Автор(ы): Jianchao Fan, Qijun Guo, XIAO Wu, Xunhui Wang
Принадлежит: Wuxi China Resources Huajing Microelectronics Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Low-pressure chemical vapor deposition apparatus and thin-film deposition method thereof

Номер патента: WO2013083016A1. Автор: 吴啸,范建超,王训辉,过奇钧. Владелец: 无锡华润华晶微电子有限公司. Дата публикации: 2013-06-13.

Gas delivering system for in situ thermal treatment and thin film deposition and use of the same

Номер патента: US20080102207A1. Автор: Hsiao-Che Wu,Yu-Min Tsai,Wen-Li Tsai. Владелец: Promos Technologies Inc. Дата публикации: 2008-05-01.

Liquid precursor injection for thin film deposition

Номер патента: US20230128366A1. Автор: Niloy Mukherjee,Miguel Saldana,Alex Finkelman. Владелец: Eugenus Inc. Дата публикации: 2023-04-27.

Liquid precursor injection for thin film deposition

Номер патента: US20220154332A1. Автор: Niloy Mukherjee,Miguel Saldana,Alex Finkelman. Владелец: Eugenus Inc. Дата публикации: 2022-05-19.

Reactor for thin film deposition and method for depositing thin film on wafer using the reactor

Номер патента: US20050158469A1. Автор: Young Park,Sang Lee,Hong Lim,Keun Yoo,Ik Lee,Hyun Kyung,Jang Bae. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-07-21.

Liquid precursor injection for thin film deposition

Номер патента: WO2022109516A1. Автор: Niloy Mukherjee,Miguel Saldana,Alex Finkelman. Владелец: Eugenus, Inc.. Дата публикации: 2022-05-27.

Liquid precursor injection for thin film deposition

Номер патента: EP4247507A1. Автор: Niloy Mukherjee,Miguel Saldana,Alex Finkelman. Владелец: Eugenus Inc. Дата публикации: 2023-09-27.

Thin film deposition apparatus having multi-stage heaters and thin film deposition method using the same

Номер патента: US20230212751A1. Автор: Seung Jun Lee,Jin Hwan Lee,Sang Bo Kim,Ram WOO,Min Ho CHEON. Владелец: Hanwha Corp. Дата публикации: 2023-07-06.

Thin film deposition apparatus having multi-stage heaters and thin film deposition method using the same

Номер патента: US20230212750A1. Автор: Seung Jun Lee,Sang Yeop Kim,Jin Hwan Lee,Sang Bo Kim,Ram WOO. Владелец: Hanwha Corp. Дата публикации: 2023-07-06.

Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same

Номер патента: US09660191B2. Автор: Jung-Min Lee,Jun-sik Oh,Choong-ho Lee. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-05-23.

Thin-film-deposition equipment

Номер патента: US20220415623A1. Автор: Jing-Cheng Lin,Yu-Te Shen. Владелец: Sky Tech Inc. Дата публикации: 2022-12-29.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: KR100666042B1. Автор: 야마사키히데아키,가와노유미코,아리마스스무. Владелец: 동경 엘렉트론 주식회사. Дата публикации: 2007-01-10.

Methods and apparatuses for thin film deposition

Номер патента: WO2017019250A1. Автор: Antti Niskanen,Yukihiro Mori,Suvi Haukka,Eva Tois,Hidemi Suemori,Jun Kawahara,Jaakko Anttila,Raija Matero. Владелец: Asm Ip Holding B. V.. Дата публикации: 2017-02-02.

Fluid distributing device for a thin-film deposition apparatus, related apparatus and methods

Номер патента: CA3154777C. Автор: Tom Blomberg,Marko Pudas,Juhana Kostamo,Timo Vähä-Ojala. Владелец: Picosun Oy. Дата публикации: 2024-03-19.

Process and method for in-situ dry cleaning of thin film deposition reactors and thin film layers

Номер патента: WO2014094103A1. Автор: Rajesh Odedra. Владелец: SEASTAR CHEMICALS INC.. Дата публикации: 2014-06-26.

Thin film manufacturing method and thin film manufacturing apparatus

Номер патента: CN103119697A. Автор: 邹弘纲,增田健,内田阳平,梶沼雅彦,出野琢也,小田岛畅洋. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2013-05-22.

Reagents to remove oxygen from metal oxyhalide precursors in thin film deposition processes

Номер патента: EP4301896A1. Автор: Feng Li,Jean-Marc Girard,Nicolas Blasco,Yumin Liu,Rocia Alejandra ARTEAGA MULLER,Vankateswara R. PALLEM,Zhengning Gao. Владелец: LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude. Дата публикации: 2024-01-10.

Reagents to remove oxygen from metal oxyhalide precursors in thin film deposition processes

Номер патента: US11821080B2. Автор: Feng Li,Jean-Marc Girard,Nicolas Blasco,Yumin Liu,Venkateswara R. Pallem,Zhengning Gao,Rocio Alejandra Arteaga Muller. Владелец: LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude. Дата публикации: 2023-11-21.

Thin Film Depositing Apparatus and Thin Film Depositing Method Used by the Same

Номер патента: US20130251902A1. Автор: Yong-Suk Lee,In-Kyo Kim,Sang-Joon SEO,Myung-Soo Huh,Sung-Yong Lee,Choel-Min JANG,Cheol-Rae JO,Mi-Ra An. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2013-09-26.

Low pressure chemical vapor deposition device

Номер патента: KR960022673U. Автор: 이승희. Владелец: 금성일렉트론 주식회사. Дата публикации: 1996-07-20.

Process gas supplying system for low pressure chemical vapor deposition for fabricacting semiconductor device

Номер патента: KR100236087B1. Автор: 권오선. Владелец: 현대반도체주식회사. Дата публикации: 1999-12-15.

Apparatuses for thin film deposition

Номер патента: US12024772B2. Автор: Antti Niskanen,Yukihiro Mori,Suvi Haukka,Eva Tois,Hidemi Suemori,Jun Kawahara,Raija Matero,Jaako Anttila. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-07-02.

THIN FILM PROCESSING APPARATUS AND THIN FILM PROCESSING METHOD

Номер патента: US20190390342A1. Автор: Kim Woo Jin,HUH Myung Soo,KO Dong Kyun,PARK Keun Hee,PARK Seon Uk. Владелец: . Дата публикации: 2019-12-26.

Method and system for adjusting location of a wafer and a top plate in a thin-film deposition process

Номер патента: US20230395361A1. Автор: Che-Wei WU,Yu-Hsiang Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-12-07.

Method and system for adjusting location of a wafer and a top plate in a thin-film deposition process

Номер патента: US12014910B2. Автор: Che-Wei WU,Yu-Hsiang Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-06-18.

Thin Film Deposition Method, and Thin Film Deposition Apparatus

Номер патента: KR101472306B1. Автор: 조생현. Владелец: (주)브이앤아이솔루션. Дата публикации: 2014-12-12.

Method for cleaning thin film forming apparatus, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: US20120247511A1. Автор: Mitsuhiro Okada,Kazuaki Nishimura,Yukio Tojo,Kenji Tago. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-10-04.

Thin film forming apparatus cleaning method, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: JP5700538B2. Автор: 行雄 東條,充弘 岡田,研治 多胡,和晃 西村,西村　和晃,岡田　充弘. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-04-15.

Method for cleaning thin film forming apparatus, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: TW201248694A. Автор: Mitsuhiro Okada,Kazuaki Nishimura,Yukio Tojo,Kenji Tago. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-12-01.

Graphene carbon nanotube composite film, preparation method thereof and thin film transistor array

Номер патента: CN112538611B. Автор: 张勇,卓恩宗,叶利丹,夏玉明. Владелец: Beihai HKC Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2022-07-22.

Perovskite Thin Film Low-pressure Chemical Deposition Equipment and Uses Thereof

Номер патента: US20180233296A1. Автор: Yan Buyi,Yao Jizhong. Владелец: . Дата публикации: 2018-08-16.

Atomic layer deposition apparatus and thin film forming method

Номер патента: US20110305836A1. Автор: Kazutoshi Murata,Yasunari Mori. Владелец: Mitsui Engineering and Shipbuilding Co Ltd. Дата публикации: 2011-12-15.

Atomic layer deposition apparatus and thin film forming method

Номер патента: US9068261B2. Автор: Kazutoshi Murata,Yasunari Mori. Владелец: Mitsui Engineering and Shipbuilding Co Ltd. Дата публикации: 2015-06-30.

Atomic layer deposition apparatus and thin film forming method

Номер патента: EP2408003B1. Автор: Kazutoshi Murata,Yasunari Mori. Владелец: Mitsui Engineering and Shipbuilding Co Ltd. Дата публикации: 2014-09-24.

Atomic layer deposition apparatus and thin film forming method

Номер патента: KR101224975B1. Автор: 카즈토시 무라타,야스나리 모리. Владелец: 미쯔이 죠센 가부시키가이샤. Дата публикации: 2013-01-22.

Low pressure chemical vapor deposition device

Номер патента: KR960027782U. Автор: 박해수. Владелец: 엘지반도체주식회사. Дата публикации: 1996-08-17.

Bellows valve for controlling the vacuum of semiconductor low pressure chemical vapor deposition equipment

Номер патента: KR970059817U. Автор: 최동식. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 1997-11-10.

Two-hot-zone low pressure chemical deposition apparatus

Номер патента: KR950007250Y1. Автор: 정우인,이길광,안용철. Владелец: 김광호. Дата публикации: 1995-09-04.

low pressure chemical vaper deposition apparatus of vertical type for manufacturing semiconductor

Номер патента: KR100426987B1. Автор: 송윤석. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2004-04-13.

Mask frame assembly for thin film deposition

Номер патента: US20160005970A1. Автор: Junghoon Kim,Hanyoung Kim,Wooyoung JUNG,Jaemin Hong,Hanul Kwen,Pilseon JI,Younghoon ROH,Cheolgyu Jeong. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2016-01-07.

Mask frame assembly for thin film deposition

Номер патента: US09780305B2. Автор: Junghoon Kim,Hanyoung Kim,Wooyoung JUNG,Jaemin Hong,Hanul Kwen,Pilseon JI,Younghoon ROH,Cheolgyu Jeong. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-03.

SYSTEM AND METHOD BASED ON LOW-PRESSURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION FOR FABRICATING PEROVSKITE FILM

Номер патента: US20170268128A1. Автор: Qi Yabing,LEYDEN Matthew Ryan. Владелец: OKINAWA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY SCHOOL CORPORATION. Дата публикации: 2017-09-21.

SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND THIN FILM DEPOSITION APPARATUS HAVING THE SAME

Номер патента: US20150122180A1. Автор: Chang Yun-Ho,KWON Hyuck-Mok. Владелец: . Дата публикации: 2015-05-07.

System and method for controlling wafer and thin film surface temperature

Номер патента: US20160148803A1. Автор: Chung-Yuan Wu,Bu-Chin Chung. Владелец: Hermes Epitek Corp. Дата публикации: 2016-05-26.

Plasma enhanced wafer soak for thin film deposition

Номер патента: WO2020081235A1. Автор: Ming Li,Tu Hong,Arul N. Dhas. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2020-04-23.

Plasma enhanced wafer soak for thin film deposition

Номер патента: US12014921B2. Автор: Ming Li,Tu Hong,Arul N. Dhas. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-06-18.

Very low pressure chemical vapor deposition process for deposition of titanium silicide films

Номер патента: US4957777A. Автор: Vida Ilderem,L. Rafael Reif,Prabha K. Tedrow. Владелец: Massachusetts Institute of Technology. Дата публикации: 1990-09-18.

Apparatus for low pressure chemical vapor deposition

Номер патента: US5441570A. Автор: Chul-Ju Hwang. Владелец: Jein Technics Co Ltd. Дата публикации: 1995-08-15.

Thin film deposition device, thin film deposition method, and thin film deposition apparatus

Номер патента: EP4397784A1. Автор: HUI Wang,Jun Wang,Jian Wang,Hui Shen,Xiaoyan Zhang,Shena JIA,Shan ZHANG,Tom Kim,Jacob Lee,William BAEK,Yy KIM,Zeus KIM. Владелец: Cleanchip Technologies Ltd. Дата публикации: 2024-07-10.

Thin film deposition apparatus and thin film deposition method

Номер патента: US20210102287A1. Автор: Kyu Jin Choi,Kwang Woon Lee,Sung Ha CHOI,Kang Il Lee,Min Hyuk IM. Владелец: Eugene Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-04-08.

Thin film forming method and thin film stack

Номер патента: US20110052924A1. Автор: Kiyoshi Oishi. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2011-03-03.

Organometallic compounds and thin film using same

Номер патента: US20200407380A1. Автор: Young Hun Byun,Ho Hoon Kim,Seung Won Ha,Jeum Jong KIM,Seong Hak CHEON. Владелец: Mecaro Co ltd. Дата публикации: 2020-12-31.

Shielding device and thin-film-deposition equipment with the same

Номер патента: US20220411917A1. Автор: Jing-Cheng Lin,Yu-Te Shen. Владелец: Sky Tech Inc. Дата публикации: 2022-12-29.

Methods and apparatuses for temperature-indexed thin film deposition

Номер патента: WO2017019249A1. Автор: Antti Niskanen,Yukihiro Mori,Suvi Haukka,Bert Jongbloed,Lucian JDIRA,Delphine Longrie,Jun Kawahara,Robin Roelofs. Владелец: ASM IP HOLDING B.V.. Дата публикации: 2017-02-02.

Methods for thin film deposition

Номер патента: US20170032956A1. Автор: Antti Niskanen,Yukihiro Mori,Suvi Haukka,Eva Tois,Hidemi Suemori,Jun Kawahara,Raija Matero,Jaako Anttila. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2017-02-02.

Shielding device and thin-film-deposition equipment with the same

Номер патента: US20220415622A1. Автор: Jing-Cheng Lin,Yu-Te Shen. Владелец: Sky Tech Inc. Дата публикации: 2022-12-29.

Shielding device and thin-film-deposition equipment with the same

Номер патента: US11898238B2. Автор: Jing-Cheng Lin,Yu-Te Shen. Владелец: Sky Tech Inc. Дата публикации: 2024-02-13.

Shielding device and thin-film-deposition equipment with the same

Номер патента: US11961724B2. Автор: Jing-Cheng Lin,Yu-Te Shen. Владелец: Sky Tech Inc. Дата публикации: 2024-04-16.

Shielding mechanism and thin-film-deposition equipment using the same

Номер патента: US20220415633A1. Автор: Jing-Cheng Lin. Владелец: Sky Tech Inc. Дата публикации: 2022-12-29.

Shielding device and thin-film-deposition equipment with the same

Номер патента: US11972936B2. Автор: Jing-Cheng Lin. Владелец: Sky Tech Inc. Дата публикации: 2024-04-30.

Shielding mechanism and thin-film-deposition equipment using the same

Номер патента: US11929242B2. Автор: Jing-Cheng Lin. Владелец: Sky Tech Inc. Дата публикации: 2024-03-12.

Thin film deposition method and apparatus

Номер патента: US5304405A. Автор: Masahiko Kobayashi,Kenji Numajiri. Владелец: Anelva Corp. Дата публикации: 1994-04-19.

Source supplying unit, thin film depositing apparatus, and method for depositing thin film

Номер патента: WO2010126254A3. Автор: Chang Ho Kang,Sung Tae Namgoong,Kyung Bin Bae,Hyung Seok Yoon,Whang Sin Cho,Jun Seo Rho. Владелец: SNU PRECISION CO., LTD. Дата публикации: 2011-01-20.

Thin-film deposition method and semiconductor device

Номер патента: US20230005741A1. Автор: Xiaoling Wang,Mengmeng Yang. Владелец: Changxin Memory Technologies Inc. Дата публикации: 2023-01-05.

Thin film deposition method and semiconductor device

Номер патента: EP4135011A1. Автор: Xiaoling Wang,Mengmeng Yang. Владелец: Changxin Memory Technologies Inc. Дата публикации: 2023-02-15.

Thin film deposition method and method of fabricating electronic device using the same

Номер патента: US20230227972A1. Автор: Eun Soo Kim,Seung Wook Ryu,Han-Bo-Ram LEE,Tae Hwan LIM,Do Han LEE,Abu Saad Aqueel Ahmed ANSARI,Ngoc le TRINH. Владелец: Incheon National University Research and Business Foundation. Дата публикации: 2023-07-20.

Atomic layer deposition (ALD) thin film deposition equipment having cleaning apparatus and cleaning method

Номер патента: US20020007790A1. Автор: Young-hoon Park. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-01-24.

Organic thin film deposition device, organic el element manufacturing device, and organic thin film deposition method

Номер патента: US20110200741A1. Автор: Hiroshi Kikuchi,Masato Fukao,Yoshio Sunaga. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2011-08-18.

Organic thin film deposition device, organic EL element manufacturing device, and organic thin film deposition method

Номер патента: US8470403B2. Автор: Hiroshi Kikuchi,Masato Fukao,Yoshio Sunaga. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2013-06-25.

Device and method of strengthening the training board when thin film depositing

Номер патента: RU2656328C1. Автор: Евгений Михайлович Федоров,Надежда Геннадьевна Цыбырнэ. Владелец: Акционерное общество "Ижевский радиозавод". Дата публикации: 2018-06-04.

Method and system for adjusting location of a wafer and a top plate in a thin-film deposition process

Номер патента: US20230105279A1. Автор: Che-Wei WU,Yu-Hsiang Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-04-06.

Measuring device and method for measuring parameters of a piezoelectric crystal onto which a thin film of material is deposited as well as thin-film deposition systems with such a device and a method for controlling such systems

Номер патента: US20240053301A1. Автор: Peter Horn,Edmund SCHÜNGEL,Adrian Herde. Владелец: EVATEC AG. Дата публикации: 2024-02-15.

Thin film deposition in a high aspect ratio feature

Номер патента: US20210183674A1. Автор: Karl A. Littau,Martin E. McBRIARTY. Владелец: Intermolecular Inc. Дата публикации: 2021-06-17.

Thin-film-deposition machine

Номер патента: US11846022B2. Автор: Jing-Cheng Lin,Ta-Hao Kuo. Владелец: Sky Tech Inc. Дата публикации: 2023-12-19.

Measuring device and method for measuring parameters of a piezoelectric crystal onto which a thin film of material is deposited as well as thin-film deposition systems with such a device and a method for controlling such systems

Номер патента: EP4256320A1. Автор: Peter Horn,Edmund SCHÜNGEL,Adrian Herde. Владелец: EVATEC AG. Дата публикации: 2023-10-11.

Measuring device and method for measuring parameters of a piezoelectric crystal onto which a thin film of material is deposited as well as thin-film deposition systems with such a device and a method for controlling such systems

Номер патента: WO2022117294A1. Автор: Peter Horn,Edmund SCHÜNGEL,Adrian Herde. Владелец: EVATEC AG. Дата публикации: 2022-06-09.

Thin film deposition in a high aspect ratio feature

Номер патента: US11139186B2. Автор: Karl A. Littau,Martin E. McBRIARTY. Владелец: Intermolecular Inc. Дата публикации: 2021-10-05.

Thin film deposition with improved control of precursor

Номер патента: US20240011160A1. Автор: Yen-Yu Chen,Wen-hao Cheng,Hsuan-Chih Chu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-01-11.

Electrostatic chuck and thin film deposition apparatus including the same

Номер патента: US20240322713A1. Автор: Mingoo KANG,Minchul SONG,Junhyeuk KO,Sukha RYU,Sangheon Jeon,Eui Gyu Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

Thin film deposition apparatus and thin film deposition method using the same

Номер патента: US20190242003A1. Автор: Jae-Cheol Lee. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2019-08-08.

Evaporator and thin film deposition system including the same

Номер патента: US20140338599A1. Автор: Hyun-seok Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2014-11-20.

Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same

Номер патента: US8920563B2. Автор: Mu-gyeom Kim,Chang-Mo Park. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-30.

Thin film deposition apparatus and method of forming thin film using the same

Номер патента: US9435020B2. Автор: Sang-youn Kim,Myung-Ki Lee,Sang-Yong Jeong,You-Sung Jeon. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2016-09-06.

Mask for thin film deposition, and fabrication method thereof

Номер патента: US11075340B2. Автор: Shinil Choi,Hongsick PARK,Sanggab Kim,Hyuneok Shin,Sangwoo SOHN,Sangwon Shin. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2021-07-27.

Bias magnetic field control method, magnetic thin film deposition method,chamber, and apparatus

Номер патента: US20220228253A1. Автор: Yujie Geng,Jinguo ZHENG,Yujie Yang,Kuanmao WANG. Владелец: Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2022-07-21.

Thin film deposition systems and deposition methods for forming photovoltaic cells

Номер патента: WO2021072360A1. Автор: Dmitry Poplavskyy,Neil Mackie,Robel Fessehatzion,Ben HICKEY,Jochen Titus. Владелец: Miasole Hi-Tech Corp.. Дата публикации: 2021-04-15.

Mask assembly for thin film deposition and organic light-emitting display apparatus fabricated using the same

Номер патента: US20160369389A1. Автор: Sangshin Lee,Mingoo KANG,Junhyeuk KO. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2016-12-22.

Oxide/organic polymer multilayer thin films deposited by chemical vapor deposition

Номер патента: WO1999057330A9. Автор: Seshu B Desu,John J Senkevich. Владелец: Seshu B Desu. Дата публикации: 2000-02-10.

Method of forming improved interfaces and thin film by using high-density radical

Номер патента: US20240177989A1. Автор: Dong Hwa SHIN,Yong Weon Kim. Владелец: Eq Tech Plus Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-30.

Method for forming improved interface and thin film by using high-density radicals

Номер патента: EP4386814A1. Автор: Dong Hwa SHIN,Yong Weon Kim. Владелец: Eq Tech Plus Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-19.

Chalcogenide-containing precursors, methods of making, and methods of using the same for thin film deposition

Номер патента: US20130267082A1. Автор: Julien Gatineau,Hana ISHII,Mao Minoura. Владелец: LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude. Дата публикации: 2013-10-10.

Source Material Supplying Unit For Thin Film Depositing Apparatus

Номер патента: US20130161416A1. Автор: Sang Hyun Park,Young Kuk Lee,Doo Won Kong,Jin Hwan Kwon,Jea Jung Cha,Byoung Min Park. Владелец: SNU PRECISION CO LTD. Дата публикации: 2013-06-27.

Thin-film deposition apparatus using cathodic arc discharge

Номер патента: US6026763A. Автор: Seung-ho Nam,Jong-Kuk Kim,Byong-lyong Choi. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2000-02-22.

Thin film deposition system

Номер патента: US5427668A. Автор: Tatsuya Sato,Mikio Kinoshita,Wasaburo Ohta. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 1995-06-27.

Thin film deposition

Номер патента: US4424103A. Автор: Barrett E. Cole. Владелец: Honeywell Inc. Дата публикации: 1984-01-03.

System and method for detecting abnormality of thin-film deposition process

Номер патента: US11965237B2. Автор: Yen-Yu Chen,Wen-hao Cheng,Hsuan-Chih Chu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-04-23.

Thin-Film Deposition System

Номер патента: US20090090619A1. Автор: Toru Takashima,Yoshikazu Homma. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2009-04-09.

Thin film transistor and method of manufacturing thin film and thin film transistor

Номер патента: US20080054358A1. Автор: Masakazu Okada,Yuya Hirao. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2008-03-06.

Thin film deposition apparatus with mask roll including multiple mask patterns and method of making organic light emitting device using the apparatus

Номер патента: US09708705B2. Автор: Ki-Hyun Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-07-18.

Thin film deposition method and manufacturing method of electronic device applying the same

Номер патента: US20230268184A1. Автор: Eun Soo Kim,Seung Wook Ryu,Han-Bo-Ram LEE,Sung Hwan Jo,Do Han LEE,Ngoc le TRINH,Abu Saad Aqueel Ahmad Ansari. Владелец: Incheon National University Research and Business Foundation. Дата публикации: 2023-08-24.

New Group 4 organometallic precursor compound with excellent thermal stability, manufacturing method thereof, and thin film formation method using the same.

Номер патента: KR20220039318A. Автор: 조보연,조성일,남궁숙,김마립. Владелец: (주)이지켐. Дата публикации: 2022-03-29.

Thin film deposition apparatus and method of forming thin film using the same

Номер патента: US20140308763A1. Автор: Sang-youn Kim,Myung-Ki Lee,Sang-Yong Jeong,You-Sung Jeon. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2014-10-16.

Liquid tank and thin film deposition apparatus using the same

Номер патента: US20130213299A1. Автор: Heng Liu,Fu-Shun Hu,Chih-Chieh Chu. Владелец: Pinecone Material Inc Taiwan. Дата публикации: 2013-08-22.

Palette modular device for collection and recovery of metals in thin film deposition equipment

Номер патента: US20130008375A1. Автор: Antonio Andrea Gentile,Salvatore Modeo. Владелец: MRS SNC DI GENTILE ANTONIO ANDREA AND MODEO SALVATORE. Дата публикации: 2013-01-10.

A palette system for thin film deposition facilities for collecting and recovering deposited materials

Номер патента: EP2547806A1. Автор: Antonio Andrea Gentile,Salvatore Modeo. Владелец: Mrs SNC Di Gentile Antonio Andrea&Modeo Salvatore. Дата публикации: 2013-01-23.

A palette system for thin film deposition facilities for collecting and recovering deposited materials

Номер патента: WO2011114223A1. Автор: Antonio Andrea Gentile,Salvatore Modeo. Владелец: MRS S.N.C. DI GENTILE ANTONIO ANDREA & MODEO SALVATORE. Дата публикации: 2011-09-22.

Thin film deposition apparatus

Номер патента: KR20110054829A. Автор: 한창희,이기훈,조병철. Владелец: 주식회사 아토. Дата публикации: 2011-05-25.

Thin film deposition apparatus

Номер патента: KR101635085B1. Автор: 한창희,이기훈,조병철. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2016-07-01.

Method and apparatus for tuning film properties during thin film deposition

Номер патента: US12029129B2. Автор: Lizhong Sun,Xiao Dong Yang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-07-02.

Thin film deposition system

Номер патента: US3701682A. Автор: James G Evans,William W Gartman,Harold A Allen. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 1972-10-31.

System for sensing mis-operation, Low pressure chemical vapor deposition apparatus and A method for controlling the same

Номер патента: KR101115222B1. Автор: 안병록. Владелец: 주식회사 엘지실트론. Дата публикации: 2012-02-14.

System for sensing mis-operation, low pressure chemical vapor deposition apparatus and a method for controlling the same

Номер патента: KR20110099491A. Автор: 안병록. Владелец: 주식회사 엘지실트론. Дата публикации: 2011-09-08.

Method for depositing amorphous silicon thin film by chemical vapor deposition

Номер патента: WO2010032978A2. Автор: Chang Auck Choi,Byoung Gon Yu,Woo Seok Yang,Sang Hoon Cheon,Seong Mok Cho,Ho Jun Ryu. Владелец: Electronics and Telecommunications Research Institute. Дата публикации: 2010-03-25.

Method for depositing amorphous silicon thin film by chemical vapor deposition

Номер патента: WO2010032978A3. Автор: Chang Auck Choi,Byoung Gon Yu,Woo Seok Yang,Sang Hoon Cheon,Seong Mok Cho,Ho Jun Ryu. Владелец: Electronics and Telecommunications Research Institute. Дата публикации: 2013-01-03.

Thin Film Deposition Apparatus, Plasma Generation Apparatus, And Thin Film Deposition Method

Номер патента: KR101854738B1. Автор: 이정락,도재철,노승완,허승회. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2018-06-20.

SUBSTRATE SUPPORTING PLATE, THIN FILM DEPOSITION APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND THIN FILM DEPOSITION METHOD

Номер патента: US20210054519A1. Автор: CHOI Seung Woo,Yoo Yong Min,SHON Jong Won,Kang Dong Seok. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-25.

SUBSTRATE SUPPORTING PLATE, THIN FILM DEPOSITION APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND THIN FILM DEPOSITION METHOD

Номер патента: US20170271191A1. Автор: CHOI Seung Woo,Yoo Yong Min,SHON Jong Won,Kang Dong Seok. Владелец: . Дата публикации: 2017-09-21.

Thin film manufacturing apparatus and thin film deposition method using the same

Номер патента: KR101145118B1. Автор: 김재호. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2012-05-15.

Apparatus, method, and recording medium storing command for controlling thin-film deposition process

Номер патента: US20230279538A1. Автор: Young Kyun Noh. Владелец: Ivworks Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-07.

Low thermal budget chemical vapor deposition processing

Номер патента: US20080119059A1. Автор: Yuji Maeda,R. Suryanarayanan Iyer,Jacob W. Smith. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-05-22.

Deposition apparatus for the formation of polycrystalline materials on mobile substrates

Номер патента: EP1937867A4. Автор: Stanford R Ovshinsky. Владелец: Energy Conversion Devices Inc. Дата публикации: 2009-07-29.

Formation of low pressure chemical vapor deposited tantalum oxide film with few leakage current

Номер патента: JPH10200074A. Автор: Tsai-Fu Chen,Shi-Chung Sun,喜仲 孫,再富 陳. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 1998-07-31.

Metal alkoxide compound, thin film forming raw material, and thin film production method

Номер патента: US20240352044A1. Автор: Atsushi Sakurai,Akihiro Nishida,Masako HATASE,Nana OKADA. Владелец: Adeka Corp. Дата публикации: 2024-10-24.

Apparatus and method for manufacturing thin film solar cell, and thin film solar cell

Номер патента: US20110126902A1. Автор: Masashi Kikuchi,Atsushi Masuda. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2011-06-02.

Mask plate and thin-film encapsulation method

Номер патента: US20200303675A1. Автор: Xiao DU,YungSheng CHEN. Владелец: Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-09-24.

Gas supply system, gas supply method, method of cleaning thin film forming apparatus, thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: TW200832543A. Автор: Hitoshi Kato,Mitsuhiro Okada,Ken Nakao,Manabu Honma,Tsuneyuki Okabe,Tomoki Haneishi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-08-01.

Thin film forming apparatus cleaning method, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: JP4974815B2. Автор: 充弘 岡田,覚 水永,大和 戸根川,俊治 西村. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-07-11.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP4883085B2. Автор: 周雄 間宮,正信 鈴木,清 大石,一良 工藤,大志 山下. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2012-02-22.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: WO2008001723A1. Автор: Kiyoshi Oishi,Ichiro Kudo,Masanobu Suzuki,Chikao Mamiya,Daishi Yamashita. Владелец: KONICA MINOLTA HOLDINGS, INC.. Дата публикации: 2008-01-03.

Prevention of low pressure chemical vapor deposition silicon dioxide undercutting and flaking

Номер патента: CA1166129A. Автор: Bernard M. Kemlage. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 1984-04-24.

Low pressure chemical vapor deposition of silicon dioxide with oxygen enhancement of the chlorosilane- nitrous oxide reaction

Номер патента: CA1166128A. Автор: Bernard M. Kemlage. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 1984-04-24.

Thin film deposition preparation device and method

Номер патента: US20190186015A1. Автор: Fei Zhang,Jie Xiong,Xiaohui Zhao,Yanrong LI,Bowan TAO,Chaoren LI. Владелец: University of Electronic Science and Technology of China. Дата публикации: 2019-06-20.

Thin film deposition preparation device and method

Номер патента: US20170191163A1. Автор: Fei Zhang,Jie Xiong,Xiaohui Zhao,Yanrong LI,Bowan TAO,Chaoren LI. Владелец: University of Electronic Science and Technology of China. Дата публикации: 2017-07-06.

Manufacturing method for gate electrode and thin film transistor and display panel

Номер патента: US20220037476A1. Автор: Wei Li,En-Tsung Cho,Yuming XIA. Владелец: Beihai HKC Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2022-02-03.

Manufacturing method for gate electrode and thin film transistor and display panel

Номер патента: US11901420B2. Автор: Wei Li,En-Tsung Cho,Yuming XIA. Владелец: Beihai HKC Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-13.

Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method

Номер патента: US20110186820A1. Автор: Un-Cheol Sung,Jung-Yeon Kim. Владелец: Samsung Mobile Display Co Ltd. Дата публикации: 2011-08-04.

Thin film deposition apparatus including deposition blade

Номер патента: US09593408B2. Автор: Jung-Min Lee,Choong-ho Lee. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-03-14.

Mask for depositing a thin film and a thin film deposition method using the same

Номер патента: US20160236222A1. Автор: Woong-Sik Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2016-08-18.

Mask for depositing a thin film and a thin film deposition method using the same

Номер патента: US9931661B2. Автор: Woong-Sik Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2018-04-03.

Mask for depositing a thin film and a thin film deposition method using the same

Номер патента: US20140370196A1. Автор: Woong-Sik Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-18.

Solid precursor delivery method using liquid solvent for thin film deposition

Номер патента: US09869018B2. Автор: Chi-Ming Yang,Chung-Chieh Lee,Lin-Jung Wu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-01-16.

Package structure for semiconductor device and preparation method thereof

Номер патента: US12040241B2. Автор: CHEN Liu,Yuming Zhang,Hongliang LV. Владелец: Xidian University. Дата публикации: 2024-07-16.

Method and apparatus for low temperature, low pressure chemical vapor deposition of epitaxial silicon layers

Номер патента: CA1328796C. Автор: Bernard Steele Meyerson. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 1994-04-26.

Package Structure for Semiconductor Device and Preparation Method Thereof

Номер патента: US20220319940A1. Автор: CHEN Liu,Yuming Zhang,Hongliang LV. Владелец: Xidian University. Дата публикации: 2022-10-06.

LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)장치

Номер патента: KR930002838Y1. Автор: 김희석,김윤기,박문규,손정하. Владелец: 김광호. Дата публикации: 1993-05-22.

Oxide deposition method

Номер патента: US4810673A. Автор: Dean W. Freeman. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 1989-03-07.

Low pressure chemical vapor deposition apparatus

Номер патента: KR100190288B1. Автор: 홍성현,이영복. Владелец: 윤종용. Дата публикации: 1999-06-01.

Low pressure chemical vapor deposition equipment

Номер патента: KR950023944U. Автор: 황철주. Владелец: 황철주. Дата публикации: 1995-08-23.

Vertical Low Pressure Chemical Vapor Deposition System with Plasma

Номер патента: KR960029486A. Автор: 황철주. Владелец: 황철주. Дата публикации: 1996-08-17.

LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)장치

Номер патента: KR920010375U. Автор: 김희석,김윤기,박문규,손정하. Владелец: 삼성전자 주식회사. Дата публикации: 1992-06-17.

Bell-shaped furnace for low pressure chemical vapor deposit ion equipment

Номер патента: KR200177068Y1. Автор: 송명호. Владелец: 현대반도체주식회사. Дата публикации: 2000-05-01.

Low pressure chemical vapor deposition of metal silicide

Номер патента: JPS62267472A. Автор: ピーター・ジェイ・ガッツィ. Владелец: Varian Associates Inc. Дата публикации: 1987-11-20.

Vertical Semiconductor Low Pressure Chemical Vapor Deposition Device

Номер патента: KR980005395A. Автор: 양정식. Владелец: 엘지반도체 주식회사. Дата публикации: 1998-03-30.

Novel coating method of complex 3d structures using low pressure chemical vapor deposition

Номер патента: US20240102167A1. Автор: William C. West,Matthew R. Dickie,Harold Frank GREER,Billy Chun-Yip Li,Su C. Chi. Владелец: California Institute of Technology CalTech. Дата публикации: 2024-03-28.

Oxide semiconductor thin film and thin film transistor

Номер патента: US09768316B2. Автор: Eiichiro Nishimura,Tokuyuki Nakayama,Masashi Iwara. Владелец: SUMITOMO METAL MINING CO LTD. Дата публикации: 2017-09-19.

Amorphous oxide and thin film transistor

Номер патента: US09947803B2. Автор: Hideo Hosono,Masahiro Hirano,Hiromichi Ota,Toshio Kamiya,Kenji Nomura. Владелец: Tokyo Institute of Technology NUC. Дата публикации: 2018-04-17.

Method of forming copper interconnections and thin films using chemical vapor deposition with catalyst

Номер патента: KR100465982B1. Автор: 고원용,이지화,박형상. Владелец: 지니텍 주식회사. Дата публикации: 2005-01-13.

Thin film deposition apparatus and thin film deposition method

Номер патента: US20210102287A1. Автор: Kyu Jin Choi,Kwang Woon Lee,Sung Ha CHOI,Kang Il Lee,Min Hyuk IM. Владелец: Eugene Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-04-08.

Thin film deposition apparatus and thin film deposition method

Номер патента: KR101857482B1. Автор: 강흥석,채준형. Владелец: 채준형. Дата публикации: 2018-06-20.

Thin film forming device for solar cell and thin film forming method

Номер патента: US20130295751A1. Автор: Kenichi Hara,Masaki Narushima,Takamasa Kato. Владелец: University of Yamanashi NUC. Дата публикации: 2013-11-07.

Physical vapor deposition vacuum chamber, Method of the physical vapor deposition, and Thin film device and Liquid crystal display thereby

Номер патента: KR100453315B1. Автор: 나카타유키히코,보우차스아포스톨로스. Владелец: 샤프 가부시키가이샤. Дата публикации: 2004-10-15.

Substrate supporting plate, thin film deposition apparatus including the same, and thin film deposition method

Номер патента: US11965262B2. Автор: Yong Min Yoo,Seung Woo Choi,Dong Seok Kang,Jong Won SHON. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-04-23.

Substrate supporting plate, thin film deposition apparatus including the same, and thin film deposition method

Номер патента: US20240158942A1. Автор: Yong Min Yoo,Seung Woo Choi,Dong Seok Kang,Jong Won SHON. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-05-16.

High-purity hafnium, target and thin film comprising high-purity hafnium, and process for producing high-purity hafnium

Номер патента: EP1930451B1. Автор: Yuichiro Nippon Mining & Metals Co. Ltd. SHINDO. Владелец: Nippon Mining and Metals Co Ltd. Дата публикации: 2011-01-05.

Oxide for semiconductor layer and sputtering target of thin film transistor, and thin film transistor

Номер патента: TW201220498A. Автор: Toshihiro Kugimiya,Shinya Morita,Aya Miki,Yumi Iwanari,Satoshi Yasuno. Владелец: Kobe Steel Ltd. Дата публикации: 2012-05-16.

Thin film forming apparatus and thin film forming method and thin film forming system

Номер патента: CN100380592C. Автор: 伊藤宪和,高木朋子,上田仁. Владелец: IHI Corp. Дата публикации: 2008-04-09.

Thin film forming apparatus and thin film forming method and thin film forming system

Номер патента: EP1557871A1. Автор: N. Ishikawajima-Harima Heavy Ind. Co. Ltd. ITO,T. Ishikawajima-Harima Heavy Ind. Co. Ltd TAKAGI,M. Ishikawajima-Harima Heavy Ind. Co. Ltd. UEDA. Владелец: IHI Corp. Дата публикации: 2005-07-27.

Thin film forming method and thin film forming appartus

Номер патента: US20150354062A1. Автор: Yuichi Ito,Kazuya Yamamoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-12-10.

Source supplying unit, method for supplying source, and thin film depositing apparatus

Номер патента: WO2010110615A3. Автор: Jong Ha Lee,Kyung Bin Bae,Hyung Seok Yoon,Whang Sin Cho,Jin Haon Kwon,Jun Seo Rho,You Hyun Kim. Владелец: SNU PRECISION CO., LTD. Дата публикации: 2010-12-09.

Source supplying unit, method for supplying source, and thin film depositing apparatus

Номер патента: EP2412005A2. Автор: Jong Ha Lee,Kyung Bin Bae,Hyung Seok Yoon,Whang Sin Cho,Jin Haon Kwon,Jun Seo Rho,You Hyun Kim. Владелец: SNU PRECISION CO LTD. Дата публикации: 2012-02-01.

Source supplying unit, method for supplying source, and thin film depositing apparatus

Номер патента: EP2412005A4. Автор: Jong Ha Lee,Kyung Bin Bae,Hyung Seok Yoon,Whang Sin Cho,Jin Haon Kwon,Jun Seo Rho,You Hyun Kim. Владелец: SNU PRECISION CO LTD. Дата публикации: 2013-11-20.

Rotation evaporator for thin film deposition and thin film deposition apparatus using the same

Номер патента: TW200807785A. Автор: Kyong-Ho Kim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2008-02-01.

Aluminum alloy film, method of producing the same, and thin film transistor

Номер патента: US11935936B2. Автор: Ryouta Nakamura,Yasuhiko Akamatsu,Tomohiro Nagata,Junichi Nitta,Motoshi Kobayashi,Yasuo Nakadai,Yuusuke UJIHARA. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2024-03-19.

Oxide semiconductor thin film, manufacturing method of oxide semiconductor thin film, and thin film transistor using the same

Номер патента: TWI640492B. Автор: 西村英一郎,松村文彦,中山徳行,白木真菜. Владелец: 日商住友金屬礦山股份有限公司. Дата публикации: 2018-11-11.

Oxide semiconductor target, oxide semiconductor film and method for producing same, and thin film transistor

Номер патента: US09837543B2. Автор: Hideko Fukushima,Hiroyuki Uchiyama. Владелец: Hitachi Metals Ltd. Дата публикации: 2017-12-05.

Thin film formation apparatus and thin film formation method employing the apparatus

Номер патента: EP1420081B1. Автор: KATSUSHI Kishimoto,Yasushi Fujioka,Hiroyuki Fukuda,Katsuhiko Nomoto,Yusuke Fukuoka. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2010-12-15.

Precursor solution for thin film deposition and thin film forming method using same

Номер патента: US11972941B2. Автор: Dong Hyun Kim,Chang Sung Hong,Yong Joo Park,Sang Kyung Lee,In Chun HWANG,Tae Hoon Oh. Владелец: SK Tri Chem Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-30.

Shower-head assembly and thin film deposition apparatus and method having the same

Номер патента: KR101554334B1. Автор: 김영준,한창희,류동호. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2015-09-18.

Oxide for semiconductor layer of thin film transistor, sputtering target, and thin film transistor

Номер патента: US20130009111A1. Автор: Shinya Morita,Takeaki Maeda,Aya Miki,Yasuaki Terao,Satoshi Yasuno,Toshihiro Kugiyama. Владелец: Kobe Steel Ltd. Дата публикации: 2013-01-10.

Oxide Semiconductor Sputtering Target, Method Of Manufacturing Thin-Film Transistors Using The Same, And Thin Film Transistor Manufactured Using The Same

Номер патента: US20130320336A1. Автор: HAN Jin Woo,LEE Seungju,Ha Jinjoo,Oh Joo Hye,Cho Johann,Park Ju Ok,Sohn In Sung,Lee Hyungrok. Владелец: SAMSUNG CORNING PRECISION MATERIALS CO., LTD.. Дата публикации: 2013-12-05.

NOVEL COMPOUND, THIN FILM-FORMING MATERIAL, AND THIN FILM MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20180051372A1. Автор: NISHIDA Akihiro,ENZU Masaki,YOSHINO Tomoharu,SUGIURA Nana. Владелец: ADEKA CORPORATION. Дата публикации: 2018-02-22.

Oxide semiconductor thin film and thin film transistor

Номер патента: US20160163865A1. Автор: Eiichiro Nishimura,Tokuyuki Nakayama,Masashi WARA. Владелец: SUMITOMO METAL MINING CO LTD. Дата публикации: 2016-06-09.

Precursor solution for thin film deposition and thin film forming method using same

Номер патента: US20200270750A1. Автор: Sang Ho Kim,Chang Sung Hong,Yong Joo Park,Sang Kyung Lee,Han Sol OH,In Chun HWANG. Владелец: SK Tri Chem Co Ltd. Дата публикации: 2020-08-27.

Thin film forming method and thin film forming appartus

Номер патента: US20150354062A1. Автор: Yuichi Ito,Kazuya Yamamoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-12-10.

Crystal oxide thin films, laminates and thin film transistors

Номер патента: KR102428977B1. Автор: 가즈요시 이노우에,마사토시 시바타,에미 가와시마,마사시 오야마. Владелец: 이데미쓰 고산 가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-08-03.

Method of manufacturing semiconductor active layer, method of manufacturing thin film transistor using the same and thin film transistor having semiconductor active layer

Номер патента: KR100889688B1. Автор: 박진성,김민규,신현수,이헌정,정재경,양희원,정종한,안태경,모연곤. Владелец: 삼성모바일디스플레이주식회사. Дата публикации: 2009-03-19.

Thin-film manufacturing method and thin-film manufacturing apparatus

Номер патента: TW201213593A. Автор: Yohei Uchida,Takeshi Masuda,Koukou Suu,Masahiko Kajinuma,Takuya Ideno,Nobuhiro Odajima. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2012-04-01.

Laminate structure including oxide semiconductor thin film layer, and thin film transistor

Номер патента: CN103474469A. Автор: 笘井重和,矢野公规,江端一晃,松崎滋夫,霍间勇辉. Владелец: Idemitsu Kosan Co Ltd. Дата публикации: 2013-12-25.

Crystal oxide thin films, laminates and thin film transistors

Номер патента: KR20210144707A. Автор: 가즈요시 이노우에,마사토시 시바타,에미 가와시마,마사시 오야마. Владелец: 이데미쓰 고산 가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-11-30.

Oxide for semiconductor layer of thin film transistor, sputtering target, and thin-film transistor

Номер патента: CN103270602A. Автор: 钉宫敏洋,森田晋也,三木绫,安野聪,岸智弥. Владелец: Kobe Steel Ltd. Дата публикации: 2013-08-28.

Thin film manufacturing method and thin film manufacturing apparatus

Номер патента: JPWO2012039107A1. Автор: 洋平 内田,健 増田,弘綱 鄒,雅彦 梶沼,増田　健,梶沼　雅彦,琢也 出野,暢洋 小田島. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2014-02-03.

Method for manufacturing novel compound, raw material for thin film formation, and thin film

Номер патента: EP3312187A1. Автор: Akihiro Nishida,Masaki Enzu,Tomoharu Yoshino,Nana SUGIURA. Владелец: Adeka Corp. Дата публикации: 2018-04-25.

Precursor solution for thin film deposition and thin film forming method using same

Номер патента: WO2019098639A1. Автор: 김상호,이상경,박용주,오한솔,황인천,홍창성. Владелец: 에스케이트리켐 주식회사. Дата публикации: 2019-05-23.

Thin film production process and thin film production device

Номер патента: WO2012039107A1. Автор: 洋平 内田,弘綱 鄒,増田　健,梶沼　雅彦,琢也 出野,暢洋 小田島. Владелец: 株式会社アルバック. Дата публикации: 2012-03-29.

Laminate structure including oxide semiconductor thin film layer, and thin film transistor

Номер патента: KR101258802B1. Автор: 시게카즈 도마이,시게오 마츠자키,고키 야노,가즈아키 에바타,유키 츠루마. Владелец: 이데미쓰 고산 가부시키가이샤. Дата публикации: 2013-04-26.

Substrate conveying roller, thin film manufacturing device, and thin film manufacturing method

Номер патента: WO2013076922A1. Автор: 本田　和義,岡崎　禎之. Владелец: パナソニック株式会社. Дата публикации: 2013-05-30.

Substrate conveying roller, thin film manufacturing device, and thin film manufacturing method

Номер патента: CN103370439A. Автор: 本田和义,冈崎祯之. Владелец: Matsushita Electric Industrial Co Ltd. Дата публикации: 2013-10-23.

Method of manufacturing semiconductor active layer, method of manufacturing thin film transistor using the same and thin film transistor having semiconductor active layer

Номер патента: US20090020753A1. Автор: Jin-Seong Park,Min-Kyu Kim,Yeon-Gon Mo,Hyun-Soo Shin,Tae-kyung Ahn,Jae-Kyeong Jeong,Jong-Han Jeong,Hui-Won Yang,Hun jung Lee. Владелец: Samsung Mobile Display Co Ltd. Дата публикации: 2009-01-22.

Alkoxide compound, thin film forming material and thin film forming method

Номер патента: DE112005000134T5. Автор: Atsushi Sakurai,Hiroki Sato. Владелец: Adeka Corp. Дата публикации: 2007-02-15.

The semiconductor layer oxide of thin-film transistor and sputtering target material, and thin-film transistor

Номер патента: CN103229303B. Автор: 安秉斗,李制勋,钉宫敏洋,朴在佑,森田晋也,三木绫,安野聪. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2016-01-20.

Thin film fabrication method and thin film fabrication apparatus

Номер патента: US6872289B2. Автор: Manabu Tagami,Hideki Satou,Shigeru Mizuno,Makoto Satou. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2005-03-29.

Thin-film-formation-substrate manufacturing method and thin-film substrate

Номер патента: WO2013030885A1. Автор: 孝啓 川島,尾田　智彦. Владелец: パナソニック株式会社. Дата публикации: 2013-03-07.

Precursor for chemical vapor deposition and thin film formation process using the same

Номер патента: US20040086643A1. Автор: Hiroki Sato,Kazuhisa Onozawa. Владелец: Asahi Denka Kogyo KK. Дата публикации: 2004-05-06.

Thin film forming apparatus and thin film forming method using the same

Номер патента: US09627619B2. Автор: Duckjung Lee,Kyuhwan Hwang,Jiyoung Choung. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-18.

THIN FILM DEPOSITION APPARATUS AND THIN FILM DEPOSITION METHOD USING THE SAME

Номер патента: US20190242003A1. Автор: LEE Jae-Cheol. Владелец: . Дата публикации: 2019-08-08.

Thin film semiconductor device, manufacturing method of thin film semiconductor device, liquid crystal display device, manufacturing method of liquid crystal display device, electronic device, manufacturing method of electronic device and thin film deposition method

Номер патента: KR100274494B1. Автор: 미츠토시 미야사카. Владелец: 야스카와 히데아키. Дата публикации: 2001-01-15.

Organic light emitting display apparatus and thin film deposition mask for manufacturing the same

Номер патента: US9929218B2. Автор: Jiho Park,DeokKyeong Seong,SeongBoo Jeong. Владелец: LG Display Co Ltd. Дата публикации: 2018-03-27.

Organic light emitting display apparatus and thin film deposition mask for manufacturing the same

Номер патента: US20160163775A1. Автор: Jiho Park,DeokKyeong Seong,SeongBoo Jeong. Владелец: LG Display Co Ltd. Дата публикации: 2016-06-09.

Organic light emitting display apparatus and thin film deposition mask for manufacturing the same

Номер патента: US09929218B2. Автор: Jiho Park,DeokKyeong Seong,SeongBoo Jeong. Владелец: LG Display Co Ltd. Дата публикации: 2018-03-27.

Thin film semiconductor device, thin film semiconductor device manufacturing method, liquid crystal display device, liquid crystal display device manufacturing method, electronic device, electronic device manufacturing method, and thin film semiconductor device , liquid crystal displays, fabrication processes for liquid crystal displays, electronic devices. fabrication processes for electronic devies, and thin film deposition processes)

Номер патента: KR970706616A. Автор: 미츠토시 미야사카. Владелец: 세코에푸손 가부시키가이샤. Дата публикации: 1997-11-03.

METAL OXIDE THIN FILM, ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE ELEMENT INCLUDING THE THIN FILM, SOLAR CELL, AND THIN FILM FABRICATION METHOD

Номер патента: US20190172605A1. Автор: HOSONO Hideo,Ito Kazuhiro,Toda Yoshitake,Watanabe Satoru,Miyakawa Naomichi,Ito Setsuro,Watanabe Toshinari,HAYASHI Katsuro. Владелец: JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY. Дата публикации: 2019-06-06.

Molybdenum oxide based sintered body, metal oxide thin film using the sintered body, and thin film transistors and displa devices comprising the thin films

Номер патента: KR20230041149A. Автор: 양승호,박재성,이효원,진승현,황병진,장봉중,이승이,전봉준. Владелец: 엘티메탈 주식회사. Дата публикации: 2023-03-24.

Molybdenum oxide based sintered body, metal oxide thin film using the sintered body, and thin film transistors and displa devices comprising the thin films

Номер патента: KR20230049562A. Автор: 양승호,박재성,이효원,진승현,황병진,윤은섭,장봉중,이승이,전봉준. Владелец: 엘티메탈 주식회사. Дата публикации: 2023-04-13.

THIN FILM FORMING APPARATUS AND THIN FILM FORMING METHOD USING THE SAME

Номер патента: US20160064670A1. Автор: Hwang Kyuhwan,Choung Jiyoung,Lee Duckjung. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-03.

Thin film forming apparatus and thin film forming apparatus cleaning method

Номер патента: JP4272486B2. Автор: 一秀 長谷部,充弘 岡田,弘道 小番. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2009-06-03.

Mixer, thin film manufacturing apparatus, and thin film manufacturing method

Номер патента: JPWO2003048413A1. Автор: 健 増田,雅彦 梶沼,紅コウ 鄒,増田　健,梶沼　雅彦,鄒　紅コウ,貴一 山田,山田　貴一,正紀 植松,植松　正紀. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2005-04-14.

A Feeding Apparatus of Linear Type Evaporator and Thin-film Deposition Apparatus Having the Same

Номер патента: KR101421436B1. Автор: 이재호. Владелец: 주식회사 선익시스템. Дата публикации: 2014-07-23.

Method for connecting thin-film solar cells and thin-film solar module

Номер патента: CA2739012A1. Автор: Alexander Pfeuffer. Владелец: Malibu GmbH and Co KG. Дата публикации: 2010-04-22.

Vertical low-pressure chemical vapor deposition furnace

Номер патента: US20010018894A1. Автор: Ching-Yu Chang. Владелец: Macronix International Co Ltd. Дата публикации: 2001-09-06.

Plasma deposition apparatus and deposition method utilizing same

Номер патента: US7923076B2. Автор: Chun-Hung Lin,Chia-Chiang Chang,Chin-Jyi Wu,Shin-Chih Liaw. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2011-04-12.

METAL ALKOXIDE COMPOUND, THIN FILM FORMING RAW MATERIAL, AND THIN FILM PRODUCTION METHOD

Номер патента: US20200140463A1. Автор: Sakurai Atsushi,NISHIDA Akihiro,HATASE Masako,OKADA Nana. Владелец: ADEKA CORPORATION. Дата публикации: 2020-05-07.

Method of forming thin films, device for forming thin films, and thin film forming process monitoring method

Номер патента: RU2324765C2. Автор: Тосиаки КАКЕМУРА,Хирото КАСИМА,Манабу ЦУДЗИНО. Владелец: Топпан Принтинг Ко., Лтд.. Дата публикации: 2008-05-20.

Thin film deposition source, deposition apparatus and deposition method using the same

Номер патента: US20140154403A1. Автор: Jong Woo Lee. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2014-06-05.

Thin film deposition apparatus

Номер патента: US20240200181A1. Автор: Jung-Min Lee,Choong-ho Lee. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-20.

Thin film deposition apparatus

Номер патента: US09873937B2. Автор: Jung-Min Lee,Choong-ho Lee. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2018-01-23.

Thin film deposition apparatus

Номер патента: US11920233B2. Автор: Jung-Min Lee,Choong-ho Lee. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-05.

Thin film deposition method for wafer

Номер патента: CA2051529C. Автор: Toru Tatsumi,Junro Sakai,Ken-Ichi Aketagawa. Владелец: Anelva Corp. Дата публикации: 1999-08-24.

Low pressure chemical vapor deposition apparatus

Номер патента: KR960002545Y1. Автор: 이승희. Владелец: 금성일렉트론 주식회사. Дата публикации: 1996-03-27.

Low-pressure chemical vapor deposition cavity

Номер патента: CN106399972A. Автор: 吕耀安. Владелец: WUXI HI-NANO TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2017-02-15.

Low pressure chemical vapor depositing system for fabricating a semiconductor device

Номер патента: KR0134742Y1. Автор: 박상훈,이창식. Владелец: 김주용. Дата публикации: 1999-03-20.

THIN FILM VAPOR DEPOSITION METHOD AND THIN FILM VAPOR DEPOSITION APPARATUS

Номер патента: US20130287949A1. Автор: PARK Ju-Hwan,Cho Byung-Chul,Yi In-Hwan. Владелец: . Дата публикации: 2013-10-31.

Low Pressure Chemical Vapor Deposition Equipment

Номер патента: KR940023545U. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 1994-10-22.

A furnace for low pressure chemical vapor deposition

Номер патента: KR100340910B1. Автор: 이주형. Владелец: 박종섭. Дата публикации: 2002-06-20.

Thin-film dielectric and thin-film capacitor element

Номер патента: US09947469B2. Автор: Masahito Furukawa,Masanori Kosuda,Saori Takeda. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2018-04-17.

Metal oxide thin film, organic electroluminescence element including the thin film, solar cell, and thin film fabrication method

Номер патента: US12100529B2. Автор: Kazuhiro Ito,Hideo Hosono,Satoru Watanabe,Setsuro Ito,Toshinari Watanabe,Yoshitake Toda,Naomichi Miyakawa,Katsuro Hayashi. Владелец: JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY. Дата публикации: 2024-09-24.

Thin film deposition system capable of physical vapor deposition and chemical vapor deposition simultaneously

Номер патента: WO2016118598A1. Автор: Nobuhiko Kobayashi. Владелец: The Regents of the University of California. Дата публикации: 2016-07-28.

Supply system of compound for chemical vapor deposition and thin - film manufacturing system having the same compound supply system

Номер патента: US20020099619A1. Автор: Koji Okamoto. Владелец: Tanaka Kikinzoku Kogyo KK. Дата публикации: 2002-07-25.

Vapor deposition apparatus and thin film device manufacturing method

Номер патента: JP4503701B2. Автор: 一郎 塩野,友松 姜,博光 本多,尊則 村田. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2010-07-14.

Thin film deposition system capable of physical vapor deposition and chemical vapor deposition simultaneously

Номер патента: US20180002810A1. Автор: Nobuhiko Kobayashi. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 2018-01-04.

Sputtering target material and thin film manufactured using the material

Номер патента: MY156642A. Автор: Sawada Toshiyuki,Kishida Atsushi. Владелец: Sanyo Special Steel Co Ltd. Дата публикации: 2016-03-15.

Fine grained, non banded, refractory metal sputtering targets with a uniformly random crystallographic orientation, method for making such film, and thin film based devices and products made therefrom

Номер патента: US09783882B2. Автор: Stefan Zimmermann,Richard Wu,Prabhat Kumar,Steven A. Miller,Olaf Schmidt-Park,Shuwei Sun. Владелец: HC Starck Inc. Дата публикации: 2017-10-10.

Thin film deposition apparatus and thin film deposition method

Номер патента: KR102088356B1. Автор: 이민진,이호철,이진선,한규민,허진. Владелец: (주)씨앤아이테크놀로지. Дата публикации: 2020-03-12.

PRECEDENT SOLUTIONS OF NANOCOMPOSITES APPLIED FROM THE SOLUTION, METHODS FOR PRODUCING THIN FILMS AND THIN FILMS OBTAINED BY THESE METHODS

Номер патента: RU2013140463A. Автор: Эльмира РЯБОВА. Владелец: Адвенира Энтерпрайзис, Инк.. Дата публикации: 2015-03-10.

Gas delivering apparatus for chemical vapor deposition

Номер патента: US6123776A. Автор: Kuen-Jian Chen,Horng-Bor Lu. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2000-09-26.

Thin film deposition system capable of physical vapor deposition and chemical vapor deposition simultaneously

Номер патента: US20180002810A1. Автор: KOBAYASHI Nobuhiko. Владелец: . Дата публикации: 2018-01-04.

Method for preparing halftone phase shift mask blank, halftone phase shift mask blank, halftone phase shift mask, and thin film forming apparatus

Номер патента: US20180059532A1. Автор: Yukio Inazuki. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2018-03-01.

Thin-film thickness measurer and thin-film depositing apparatus including the same

Номер патента: US20170097226A1. Автор: Jintae Kim,Jaeyoung Park,Jongwook Kim,Jeonggeun Yoo,Jihoon SEO,Panmok Son,Donggyu Yang,Yongjoon Mook,Kyoungho YANG. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-06.

Magnetic thin film deposition chamber and thin film deposition apparatus

Номер патента: US20190244754A1. Автор: WEI Xia,Peijun Ding,Hougong Wang,Tongwen ZHANG,Yujie Yang. Владелец: Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2019-08-08.

Magnetic thin film deposition chamber and thin film deposition apparatus

Номер патента: SG11201903540XA. Автор: WEI Xia,Peijun Ding,Hougong Wang,Tongwen ZHANG,Yujie Yang. Владелец: Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2019-05-30.

Thin film manufacturing apparatus and thin film deposition method using the same

Номер патента: KR101200372B1. Автор: 김재호. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2012-11-12.

Reduce the chemical synthesizing method of low-pressure chemical synthesis foil leakage current

Номер патента: CN107502937B. Автор: 杨飞,张玉红,杨富国. Владелец: Foshan University. Дата публикации: 2019-05-14.

Thin film forming apparatus and thin film forming method using same

Номер патента: KR19980071462A. Автор: 소네 가쯔호. Владелец: 미따라이 후지오. Дата публикации: 1998-10-26.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP2515731B2. Автор: 喜夫 本間,俊二 笹部,助芳 恒川. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1996-07-10.

Thin film manufacturing apparatus and thin film manufacturing method

Номер патента: CN112575312A. Автор: 郑耿豪. Владелец: Changxin Memory Technologies Inc. Дата публикации: 2021-03-30.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: US9469897B2. Автор: Iwao Suzuki,Yoshimasa Chikama. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2016-10-18.

Thin-film forming apparatus and thin-film forming method

Номер патента: TWI226379B. Автор: Arichika Ishida. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2005-01-11.

Gas injection unit and thin film deposition apparatus and method using the same

Номер патента: JP2013516080A. Автор: ヒョンス パク. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2013-05-09.

THIN FILM FORMING METHOD AND THIN FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130216710A1. Автор: Suu Koukou,Masuda Takeshi,Kajinuma Masahiko,Ideno Takuya,Odajima Nobuhiro,Uchida Yohei. Владелец: ULVAC, INC.. Дата публикации: 2013-08-22.

Thin film dielectric and thin film capacitor element

Номер патента: JP6623569B2. Автор: 正仁 古川,正則 小須田,早織 武田. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2019-12-25.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP4414428B2. Автор: 啓太郎 原田,正暢 楠,政好 横尾,祥暢 高野. Владелец: Tohoku Seiki Ind Ltd. Дата публикации: 2010-02-10.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: KR101068549B1. Автор: 모토시 코바야시,요시쿠니 호리시타,히데노리 요다,시게미쯔 사토우,토시오 나카지마,큐조 나카무라,타카시 코마쯔. Владелец: 가부시키가이샤 알박. Дата публикации: 2011-09-30.

Solution derived nanocomposite precursor solutions, methods for making thin films and thin films made by such methods

Номер патента: CA2825214A1. Автор: Elmira Ryabova. Владелец: Advenira Enterprises Inc. Дата публикации: 2012-08-09.

Thin film forming method and thin film forming device

Номер патента: KR101147348B1. Автор: 준야 키요타,마코토 아라이,타카시 코마쯔,유이찌 오이시. Владелец: 가부시키가이샤 알박. Дата публикации: 2012-05-22.

Solid electrolyte, preparation method thereof and thin film battery comprising same

Номер патента: KR101047865B1. Автор: 황호성,김지민,이기창,남상철,박호영,임영창,박기백,안근완. Владелец: 지에스나노텍 주식회사. Дата публикации: 2011-07-08.

Mask frame assembly for thin film deposition and manufacturing method thereof

Номер патента: US09682400B2. Автор: Jun Young Kim. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-06-20.

Thin-film deposition apparatus

Номер патента: US20240218561A1. Автор: Motoshi Sakai,Yeontae Kim,Suhwan PARK,Sangwoo Bae,Junbum Park,Wondon Joo,Janghwi LEE,Hunyong PARK,Jaeho Jin. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-07-04.

System and method for dynamically adjusting thin-film deposition parameters

Номер патента: US20220228265A1. Автор: Chung-Liang Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2022-07-21.

Low pressure chemical vapor deposition apparatus including a process gas heating subsystem

Номер патента: US5782980A. Автор: Michael B. Allen,Dennis C. Swartz,Patrick B. Lee. Владелец: Advanced Micro Devices Inc. Дата публикации: 1998-07-21.

Apparatus for low pressure chemical vapor deposition

Номер патента: KR102368157B1. Автор: 이상곤. Владелец: 주식회사 제이엔케이. Дата публикации: 2022-03-02.

Apparatus for low pressure chemical vapor deposition

Номер патента: KR102421233B1. Автор: 이상곤. Владелец: 주식회사 제이엔케이. Дата публикации: 2022-07-18.

Thin film deposition apparatus and thin film deposition method using the same

Номер патента: KR970059323A. Автор: 박원석,정현진,박승빈,우성일. Владелец: 김광호. Дата публикации: 1997-08-12.

Vanadium compound, raw material for thin film formation and thin film manufacturing method

Номер патента: KR102280110B1. Автор: 마코토 오카베,아키히로 니시다,도모하루 요시노. Владелец: 가부시키가이샤 아데카. Дата публикации: 2021-07-20.

Method and apparatus for low temperature, low pressure chemical vapor deposition of epitaxial silicon layers

Номер патента: US5298452A. Автор: Bernard S. Meyerson. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 1994-03-29.

Thin film deposition method and thin film deposition apparatus

Номер патента: US7291357B2. Автор: Koichi Shintomi,Hiroyuki Abe,Koji Masuda,Tetsuro Wada,Atsushi Hiraizumi,Kazuyou Mizuno. Владелец: Furukawa Electric Co Ltd. Дата публикации: 2007-11-06.

Thin film deposition method and thin film deposition apparatus

Номер патента: US20030180454A1. Автор: Koichi Shintomi,Hiroyuki Abe,Koji Masuda,Tetsuro Wada,Atsushi Hiraizumi,Kazuyou Mizuno. Владелец: Furukawa Electric Co Ltd. Дата публикации: 2003-09-25.

Crystalline oxide semiconductor thin film, method for producing crystalline oxide semiconductor thin film, and thin film transistor

Номер патента: US20180219098A1. Автор: Shigekazu Tomai,Kazuyoshi Inoue,Futoshi Utsuno,Yuki Tsuruma,Kazuaki Ebata. Владелец: Idemitsu Kosan Co Ltd. Дата публикации: 2018-08-02.

CRYSTALLINE OXIDE SEMICONDUCTOR THIN FILM, METHOD FOR PRODUCING CRYSTALLINE OXIDE SEMICONDUCTOR THIN FILM, AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20180219098A1. Автор: INOUE Kazuyoshi,Ebata Kazuaki,Tomai Shigekazu,UTSUNO Futoshi,TSURUMA Yuki. Владелец: IDEMITSU KOSAN CO., LTD.. Дата публикации: 2018-08-02.

Thin film manufacturing apparatus and thin film manufacturing apparatus using neural network

Номер патента: WO2019130159A1. Автор: 手塚祐朗,豊高耕平,栗城和貴. Владелец: 株式会社半導体エネルギー研究所. Дата публикации: 2019-07-04.

Oxide for semiconductor layer of thin-film transistor, sputtering target, and thin-film transistor

Номер патента: US20130248855A1. Автор: Toshihiro Kugimiya,Shinya Morita,Jae Woo Park,Je Hun Lee,Gun Hee Kim,Aya Miki,Satoshi Yasuno,Byung Du Ahn. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2013-09-26.

Semiconductor thin film and thin film device

Номер патента: KR100411897B1. Автор: 요시미마사시,후지하라다카후미. Владелец: 가네가후치 가가쿠고교 가부시키가이샤. Дата публикации: 2003-12-18.

Deposition prevention plate and method for manufacturing the same, method for recycling material, and thin film deposition apparatus

Номер патента: US20200340103A9. Автор: Peng Xu,Jie Liu,Shengkai Pan,Yongkang QIAO. Владелец: Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-10-29.

Deposition prevention plate and method for manufacturing the same, method for recycling material, and thin film deposition apparatus

Номер патента: US20190352772A1. Автор: Peng Xu,Jie Liu,Shengkai Pan,Yongkang QIAO. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2019-11-21.

Thin film deposition source, deposition apparatus and deposition method using the same

Номер патента: US9309588B2. Автор: Jong Woo Lee. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2016-04-12.

Thin film deposition apparatus

Номер патента: EP1540032B1. Автор: Robert Knight,Michael Watson,Brian Halsall,Christopher George,Timothy Jolly. Владелец: Oxford Instruments Plasma Technology Ltd. Дата публикации: 2006-11-22.

Thin film deposition apparatus

Номер патента: WO2004016820A3. Автор: Robert Knight,Michael Watson,Brian Halsall,Christopher George,Timothy Jolly. Владелец: Oxford Instr Plasma Technology. Дата публикации: 2004-04-01.

Thin film deposition apparatus

Номер патента: AU2003251052A1. Автор: Robert Knight,Michael Watson,Brian Halsall,Christopher George,Timothy Jolly. Владелец: Oxford Instruments Plasma Technology Ltd. Дата публикации: 2004-03-03.

Thin film deposition apparatus

Номер патента: WO2004016820A2. Автор: Robert Knight,Michael Watson,Brian Halsall,Christopher George,Timothy Jolly. Владелец: Oxford Instruments Plasma Technology Limited. Дата публикации: 2004-02-26.

Thin film deposition apparatus

Номер патента: EP1540032A2. Автор: Robert Knight,Michael Watson,Brian Halsall,Christopher George,Timothy Jolly. Владелец: Oxford Instruments Plasma Technology Ltd. Дата публикации: 2005-06-15.

Aluminum Floride Thin Film Deposition Method

Номер патента: US20100078311A1. Автор: Cheng-Chung Lee,Ming-Chung LIU,Bo-Huei Liao. Владелец: National Central University. Дата публикации: 2010-04-01.

High throughput thin film deposition and substrate handling method and apparatus for optical disk processing

Номер патента: US20030106791A1. Автор: Young Park. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-06-12.

Mask extension welding device for thin film deposition

Номер патента: US20170106472A1. Автор: Jeongwon HAN. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-20.

Systems and methods of monitoring thin film deposition

Номер патента: US20030041654A1. Автор: John Larson,Mark Hueschen,Richard Karlquist,Herbert Ko,Kent Carey. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-03-06.

Method of determining a time to clean a low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) system

Номер патента: US6099902A. Автор: Tang Yu,Eddie Chen,Jumn-Min Fam. Владелец: United Silicon Inc. Дата публикации: 2000-08-08.

Apparatus And Method for Coolant Supply into Plenum of Low Pressure Chemical Vapor Deposition Equipment

Номер патента: KR100442472B1. Автор: 배남호,민대홍. Владелец: 동부전자 주식회사. Дата публикации: 2004-07-30.

Low pressure chemical vapor deposition system byproduct removal device

Номер патента: KR940027591U. Автор: 최재규. Владелец: 금성일렉트론 주식회사. Дата публикации: 1994-12-10.

Method and apparatus for low pressure chemical vapor deposition

Номер патента: EP0193419A1. Автор: John M. Pierce,William I. Lehrer. Владелец: Fairchild Semiconductor Corp. Дата публикации: 1986-09-03.

Filter of low pressure chemical vapor deposition system

Номер патента: KR200169714Y1. Автор: 차동열. Владелец: 현대반도체주식회사. Дата публикации: 2000-02-01.

Low pressure chemical vapor deposition equipment with hydrogen chloride cleaning function

Номер патента: CN104498903B. Автор: 李轶,丁波,陈瀚,侯金松. Владелец: SHANGHAI MICRO-SEMI WORLD Co Ltd. Дата публикации: 2017-08-29.

Low pressure chemical vapor deposition device

Номер патента: KR970046634U. Автор: 이승희. Владелец: 엘지반도체주식회사. Дата публикации: 1997-07-31.

Low pressure chemical vapor depositing system

Номер патента: KR0134164Y1. Автор: 이승희. Владелец: 문정환. Дата публикации: 1999-03-20.

Thin film manufacturing apparatus and thin film manufacturing method

Номер патента: EP2166131A4. Автор: Takayuki Sekine,Hitoshi Sakamoto,Yuzuru Ogura,Keeyoung Jun,Yoshiyuki Ooba. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2010-08-11.

Precursor selection method for chemical vapor deposition techniques

Номер патента: US20080243460A1. Автор: Timothy P. Holme,Masayuki Sugawara,Friedrick B. Prinz. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-10-02.

Metal Mask for Thin Film Deposition and Thin Film Deposition Method Using the Same

Номер патента: KR20140087823A. Автор: 홍성재. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2014-07-09.

Substrate transport roller, thin film manufacturing apparatus, and thin film manufacturing method

Номер патента: JP5895179B2. Автор: 和義 本田,禎之 岡崎,本田　和義,大輔 末次,紀幸 内田,岡崎　禎之,末次　大輔,則晶 天羽. Владелец: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd. Дата публикации: 2016-03-30.

THIN-FILM FORMING METHOD AND THIN-FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130224381A1. Автор: Suu Koukou,Masuda Takeshi,Kajinuma Masahiko,Ideno Takuya,Odajima Nobuhiro,Uchida Yohei. Владелец: ULVAC, INC. Дата публикации: 2013-08-29.

Substrate conveyance roller, thin film manufacturing device and thin film manufacturing method

Номер патента: US20130330472A1. Автор: Kazuyoshi Honda,Noriyuki Uchida,Sadayuki Okazaki,Daisuke Suetsugu,Noriaki Amo. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2013-12-12.

THIN FILM MANUFACTURING DEVICE AND THIN FILM MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20180066361A1. Автор: NAKAZUMI Makoto,NARA Kei,NISHI Yasutaka,NAMIHIRA Takao,NAKAMURA Yusui,TAKAMURA Norimitsu. Владелец: . Дата публикации: 2018-03-08.

PROCESS AND METHOD FOR IN-SITU DRY CLEANING OF THIN FILM DEPOSITION REACTORS AND THIN FILM LAYERS

Номер патента: US20150218695A1. Автор: Odedra Rajesh. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-06.

Organic semiconductor thin film and method of manufacturing the same and thin film transistor and electronic device

Номер патента: US20170331045A1. Автор: Jie Xu,Zhenan Bao,Jong Won Chung,Sangyoon Lee. Владелец: Leland Stanford Junior University. Дата публикации: 2017-11-16.

Silicon-based nanowire, preparation method thereof, and thin film transistor

Номер патента: US11860541B2. Автор: Xue Dong,Guangcai Yuan,Feng Guan. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-02.

Silicon-based nanowire, preparation method thereof, and thin film transistor

Номер патента: US20210240080A1. Автор: Xue Dong,Guangcai Yuan,Feng Guan. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2021-08-05.

Precursor for chemical vapor deposition and thin film formation process using the same

Номер патента: EP1420024A1. Автор: Hiroki Sato,Kazuhisa Onozawa. Владелец: Asahi Denka Kogyo KK. Дата публикации: 2004-05-19.

Low dielectric constant material and thin film manufacturing method thereof

Номер патента: TW201221683A. Автор: Chih-Hung Chen,Cheng-Jye Chu. Владелец: Nanmat Technology Co Ltd. Дата публикации: 2012-06-01.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP4366450B2. Автор: 和義 本田,泰治 篠川,昌裕 山本,遊馬 神山,智文 柳. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2009-11-18.

METHOD FOR MANUFACTURING METAL CHALCOGENIDE THIN FILM AND THIN FILM MANUFACTURED THEREBY

Номер патента: US20170073809A1. Автор: Choi Minseok,KIM YOUNGCHAN,LEE Changgu. Владелец: . Дата публикации: 2017-03-16.

Method for manufacturing metal chalcogenide thin film and thin film manufactured thereby

Номер патента: WO2015126087A1. Автор: 이창구,김영찬,최민석. Владелец: 성균관대학교 산학협려단. Дата публикации: 2015-08-27.

Method of manufacturing thin-film polymer multi-layer capacitor and thin-film polymer multi-layer capacitor

Номер патента: US9947477B2. Автор: Tomonao Kako,Shigeya Tomimoto. Владелец: Rubycon Corp. Дата публикации: 2018-04-17.

Apparatus for laser assisted thin film deposition

Номер патента: US5490912A. Автор: Ii William Mclean,Bruce E. Warner. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 1996-02-13.

Vapor deposition apparatus and thin film manufacturing method

Номер патента: JP4286496B2. Автор: 幹夫 浅田,敬自 内田,悌二 高橋. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2009-07-01.

Thin film depositing apparatus and thin film deposition method using the same

Номер патента: CN103866237A. Автор: 姜声钟. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2014-06-18.

Evaporation source assembly, thin film deposition apparatus and thin film deposition method

Номер патента: TW201439349A. Автор: Chin-Chih Lin,Hao-Yu Chou,Chun-Yun Huang. Владелец: Shanghai Hehui Optoelectronics Ltd. Дата публикации: 2014-10-16.

Thin-film mask, thin-film mask device, thin-film mask manufacturing method, thin-film mask device manufacturing method and thin-film method

Номер патента: JPWO2020032149A1. Автор: 村田　佳則,細田　哲史,哲史 細田,佳則 村田. Владелец: DAI NIPPON PRINTING CO LTD. Дата публикации: 2021-05-13.

Thin-film mask, thin-film mask manufacturing method and thin-film mask manufacturing equipment

Номер патента: JP6904718B2. Автор: 元嗣 成谷. Владелец: Japan Display Inc. Дата публикации: 2021-07-21.

Thin-film mask packing body and thin-film mask packing method

Номер патента: JP6969382B2. Автор: 永 知加雄 池,池 卓 己 大,田 司 向,部 武 渡. Владелец: DAI NIPPON PRINTING CO LTD. Дата публикации: 2021-11-24.

Method for growing antimony-based thin film material by evaporating and hydrothermal two-step growth and thin film solar cell

Номер патента: CN112968128A. Автор: 曹宇,周静,姜磊,李海明,冯新文,郭洪武,张俊双,站文华. Владелец: Chifeng Power Supply Co Of State Grid East Inner Mongolia Electric Power Co ltd. Дата публикации: 2021-06-15.

Low-pressure chemical-mechanical polishing method for surface of copper wiring in ultra-large scale integrated circuit

Номер патента: WO2012009937A1. Автор: 刘玉岭,田军,刘效岩. Владелец: 河北工业大学. Дата публикации: 2012-01-26.

Oxide semiconductors and thin film transistors comprising the same

Номер патента: US8450732B2. Автор: Chang-Jung Kim,Sang-Wook Kim,Sun-Il Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2013-05-28.

Oxide semiconductors and thin film transistors comprising the same

Номер патента: WO2008156312A3. Автор: Chang-Jung Kim,Sang-Wook Kim,Sun-Il Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2009-02-12.

Method of fabricating optical sensor device and thin film transistor device

Номер патента: US09698180B2. Автор: Pei-Ming Chen,Shin-Shueh Chen. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2017-07-04.

Oxide semiconductors and thin film transistors comprising the same

Номер патента: US7935964B2. Автор: Chang-Jung Kim,Young-soo Park,Eun-ha Lee,Jae-Chul Park. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2011-05-03.

Severing wire or ribbon material adjacent an attachment point, such as a solder, bond or weld connection, particularly in semiconductor and thin film structures

Номер патента: US4099663A. Автор: Günter Schmid,Klaus Brill. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 1978-07-11.

Organic light-emitting display device and thin-film transistor array substrate

Номер патента: GB2613932A. Автор: Dae Kim Jang,Su Kim Kyung. Владелец: LG Display Co Ltd. Дата публикации: 2023-06-21.

Vapor-deposition mask, vapor-deposition mask manufacturing method, and thin-film pattern forming method

Номер патента: KR102078888B1. Автор: 미찌노부 미즈무라,시게또 스기모또,고이찌 가지야마,슈지 구도,에리꼬 기무라,마허 아지즈 해니,요시따까 가지야마. Владелец: 브이 테크놀로지 씨오. 엘티디. Дата публикации: 2020-02-19.

Method and apparatus for forming an epitaxial titanium silicide film by low pressure chemical vapor deposition

Номер патента: US6019839A. Автор: Johanes Swenberg,Vedapuram S. Achutharaman. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2000-02-01.

Low pressure chemical vapor deposition device quartz tube transfer device

Номер патента: KR960019073U. Автор: 정경철. Владелец: 엘지반도체주식회사. Дата публикации: 1996-06-19.

Apparatus and method for manufacturing a light-emitting device using a neutral particle beam

Номер патента: US20140017827A1. Автор: Suk Jae Yoo,Seong Bong Kim. Владелец: Korea Basic Science Institute KBSI. Дата публикации: 2014-01-16.

A kind of method for improving low-pressure chemical vapor phase deposition polysilicon membrane quality

Номер патента: CN108149216A. Автор: 贺贤汉,施炜青. Владелец: Shanghai Shenhe Thermo Magnetics Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-12.

THIN FILM DEPOSITING APPARATUS AND THIN FILM DEPOSITION METHOD USING THE SAME

Номер патента: US20140170315A1. Автор: Kang Seong-Jong. Владелец: . Дата публикации: 2014-06-19.

Semiconductor thin film, manufacturing method thereof, and thin film transistor

Номер патента: JP5386084B2. Автор: 一吉 井上,公規 矢野,幸朗 島根,忠夫 渋谷,正浩 吉仲. Владелец: Idemitsu Kosan Co Ltd. Дата публикации: 2014-01-15.

Conductive film forming method, thin film transistor, panel with thin film transistor and thin film transistor manufacturing method

Номер патента: EP2091072A4. Автор: Masaki Takei,Noriaki Tani,Satoru Ishibashi,Hirohisa Takahashi,Sadayuki Ukishima,Satoru Takasawa. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2015-07-15.

Conductive film forming method, thin film transistor, thin film transistor panel, and thin film transistor manufacturing method

Номер патента: JPWO2008044757A1. Автор: 谷　典明,典明 谷,悟 高澤,暁 石橋,禎之 浮島,高橋　明久,明久 高橋,応樹 武井,石橋　暁,浮島　禎之. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2010-02-18.

Compositions for thin-film capacitive device, high-dielectric constant insulating film, thin-film capacitance device, and thin-film multilayer ceramic capacitor

Номер патента: US20040245561A1. Автор: Hiroshi Funakubo,Yukio Sakashita. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2004-12-09.

Conductive film forming method, thin film transistor, panel with thin film transistor and thin film transistor manufacturing method

Номер патента: KR20090045255A. Автор: 사토루 이시바시,사다유키 우키시마,히로히사 다카하시,사토루 다카사와,노리아키 타니,마사키 다케이. Владелец: 울박, 인크. Дата публикации: 2009-05-07.

Metal(ⅱ)-alkanolamine derivatives, preparing method thereof, the use and thin film deposition method using the same

Номер патента: KR100410807B1. Автор: 최지윤,신구,맹정은. Владелец: 신구. Дата публикации: 2003-12-18.

Metal(ⅱ)-alkanolamine derivatives, preparing method thereof, the use and thin film deposition method using the same

Номер патента: KR20020051717A. Автор: 최지윤,신구,맹정은. Владелец: 신구. Дата публикации: 2002-06-29.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP5206411B2. Автор: 周雄 間宮,一良 工藤,大志 山下. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2013-06-12.

Semiconductor thin film method for producing same and thin film transistor

Номер патента: KR101263538B1. Автор: 가즈요시 이노우에,다다오 시부야,고끼 야노,유끼오 시마네,마사히로 요시나까. Владелец: 이데미쓰 고산 가부시키가이샤. Дата публикации: 2013-05-13.

Metal compound, thin film forming raw material, and thin film manufacturing method

Номер патента: JPWO2005063685A1. Автор: 直樹 山田,桜井　淳,淳 桜井,山田　直樹. Владелец: Adeka Corp. Дата публикации: 2007-07-19.

Manufacturing method for the conductive polymer thin film of simultaneously inducing the self-assembly and thin film of the conductive polymer

Номер патента: KR20170131135A. Автор: 김용재,안치원,전환진. Владелец: 한국과학기술원. Дата публикации: 2017-11-29.

Method for depositing thin film and thin film deposition system having separate jet orifices for spraying purge gas

Номер патента: US20050241580A1. Автор: Sung Na,Hea Park. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2005-11-03.

Zns nano particle thin film deposited metamaterial antenna for notch frequency application

Номер патента: WO2021064742A1. Автор: Kumaresh Sarmah,Sivaranjan Goswami,Angana Sarma,Kumar Kandarpa SARMA,Sunandan Baruah. Владелец: Sarma Kumar Kandarpa. Дата публикации: 2021-04-08.

System and method based on low-pressure chemical vapor deposition for fabricating perovskite film

Номер патента: AU2015304774A1. Автор: Yabing Qi,Matthew Ryan LEYDEN. Владелец: Okinawa Inst Science & Tech School Corp. Дата публикации: 2017-03-09.

System and method based on low-pressure chemical vapor deposition for fabricating perovskite film

Номер патента: EP3183376A1. Автор: Yabing Qi,Matthew Ryan LEYDEN. Владелец: Okinawa Inst Science & Tech School Corp. Дата публикации: 2017-06-28.

Apparatus and method for creating highly-functional meta-materials from luminescing nanoparticles

Номер патента: US20240282274A1. Автор: David Wyatt. Владелец: Pixeldisplay Inc. Дата публикации: 2024-08-22.

Composition, electronic device, and thin film transistor

Номер патента: US09988472B2. Автор: Eun Kyung Lee,Jiyoung JUNG,Jeong Il Park,Ajeong CHOI. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2018-06-05.

Semiconductor thin film, manufacturing method thereof, and thin film transistor

Номер патента: JP5395994B2. Автор: 一吉 井上,公規 矢野,信夫 田中. Владелец: Idemitsu Kosan Co Ltd. Дата публикации: 2014-01-22.

Perovskite thin film low-pressure chemical deposition equipment and using method thereof, and application

Номер патента: AU2017314804B2. Автор: Buyi YAN,Jizhong YAO. Владелец: Hangzhou Microquanta Semiconductor Co ltd. Дата публикации: 2018-09-13.

Thin film transistor and thin film transistor array and electronic device

Номер патента: US20210043860A1. Автор: Zhenan Bao,Jinyoung Oh,Youngjun YUN,Xuzhou YAN,Hung-Chin Wu. Владелец: Leland Stanford Junior University. Дата публикации: 2021-02-11.

Metal oxide thin film pattern forming composition and its manufacturing method, metal oxide thin film pattern forming method, electronic component and optical part manufacturing method, and thin film forming method

Номер патента: KR100294581B1. Автор: 오기카쯔미,요네자와타다시,소야마노부유키,카게야마켄수케. Владелец: 후지무라 마사지카, 아키모토 유미. Дата публикации: 2001-09-17.

THIN-FILM PLANARIZATION METHOD, PLANARIZED THIN-FILM FORMATION METHOD, AND THIN-FILM FORMATION VARNISH

Номер патента: US20170213979A1. Автор: OTANI Naoki. Владелец: NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES, LTD.. Дата публикации: 2017-07-27.

Thin-film planarization method, planarized thin-film formation method, and thin-film formation varnish

Номер патента: US10128444B2. Автор: Naoki Otani. Владелец: Nissan Chemical Corp. Дата публикации: 2018-11-13.

Thin-film planarization method, planarized thin-film formation method, and thin-film formation varnish

Номер патента: KR20170013289A. Автор: 나오키 오타니. Владелец: 닛산 가가쿠 고교 가부시키 가이샤. Дата публикации: 2017-02-06.

Composition for forming ferroelectric thin film, method for forming the thin film, and thin film formed by the method

Номер патента: JP2013136502A. Автор: 信幸 曽山,Nobuyuki Soyama,英章 桜井,Jun Fujii,Hideaki Sakurai,順 藤井. Владелец: Mitsubishi Materials Corp. Дата публикации: 2013-07-11.

Method for forming dielectric thin film, and thin film capacitor comprising the dielectric thin film

Номер патента: EP2474505A4. Автор: Toshiaki Watanabe,Nobuyuki Soyama,Hideaki Sakurai. Владелец: Mitsubishi Materials Corp. Дата публикации: 2013-03-20.

Thin-film planarization method, planarized thin-film formation method, and thin-film formation varnish

Номер патента: KR102483085B1. Автор: 나오키 오타니. Владелец: 닛산 가가쿠 가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-12-30.

Thin-film transistor and thin-film transistor substrate and production methods for them and liquid crystal display unit using these and related device and method, and, sputtering target and transparent conductive film formed by using this and transparent electrode and related device and method

Номер патента: KR101101456B1. Автор: 시게카즈 도마이,가즈요시 이노우에,마사토 마쓰바라. Владелец: 이데미쓰 고산 가부시키가이샤. Дата публикации: 2012-01-03.

Thin film removing apparatus and thin film removing method

Номер патента: KR100954895B1. Автор: 고바야시신지,고가노리히사. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2010-04-27.

POLYMER AND ORGANIC THIN FILM AND THIN FILM TRANSISTOR AND ELECTRONIC DEVICE

Номер патента: US20210036229A1. Автор: Park Jeong il,Kuzumoto Yasutaka,YUN Youngjun,LEE DON-WOOK,JUNG Jiyoung. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.. Дата публикации: 2021-02-04.

MIXTURE, THIN FILM, AND ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE INCLUDING MIXTURE AND THIN FILM

Номер патента: US20170077421A1. Автор: KIM JongSoo,SON Jhunmo,JEON Soonok,HUH Dalho,LEE Namheon,SIM Myungsun,IHN Sooghang,KIM Joonghyuk,KANG Hosuk,SON Youngmok. Владелец: . Дата публикации: 2017-03-16.

COATING LIQUID FOR FORMING SULFIDE SEMICONDUCTOR, SULFIDE SEMICONDUCTOR THIN FILM, AND THIN FILM SOLAR CELL

Номер патента: US20150107673A1. Автор: Hayakawa Akinobu,ITO Kazushi,OHARA Shunji,Sun Ren-de. Владелец: . Дата публикации: 2015-04-23.

COMPOUND AND ORGANIC THIN FILM AND THIN FILM TRANSISTOR AND ELECTRONIC DEVICE

Номер патента: US20200168806A1. Автор: Lee Eunkyung,LEE DON-WOOK,PARK Jeong II. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.. Дата публикации: 2020-05-28.

Silicon-based nanowire, preparation method thereof, and thin film transistor

Номер патента: US20210240080A1. Автор: Xue Dong,Guangcai Yuan,Feng Guan. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2021-08-05.

COMPOSITION, THIN FILM, AND ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE INCLUDING COMPOSITION AND THIN FILM

Номер патента: US20190305229A1. Автор: KIM JongSoo,SON Jhunmo,JEON Soonok,HUH Dalho,LEE Namheon,SIM Myungsun,IHN Sooghang,KIM Joonghyuk,KANG Hosuk,SON Youngmok. Владелец: . Дата публикации: 2019-10-03.

ORGANIC SEMICONDUCTOR THIN FILM AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AND THIN FILM TRANSISTOR AND ELECTRONIC DEVICE

Номер патента: US20170331045A1. Автор: Chung Jong Won,Bao Zhenan,Xu Jie,LEE Sangyoon. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-16.

Alkali-developable curable composition, insulating thin film using the same, and thin film transistor

Номер патента: KR101800015B1. Автор: 마사히토 이데,다카오 마나베,마코토 세이노. Владелец: 카네카 코포레이션. Дата публикации: 2017-11-21.

Mixture, thin film, and organic light emitting device including mixture and thin film

Номер патента: US10297764B2. Автор: Jhunmo SON,Youngmok SON,Namheon Lee,Soonok JEON,Jongsoo Kim,Joonghyuk Kim,Myungsun Sim,Sooghang IHN,Hosuk KANG,Dalho HUH. Владелец: Samsung SDI Co Ltd. Дата публикации: 2019-05-21.

Coating liquid for forming sulfide semiconductor, sulfide semiconductor thin film, and thin film solar cell

Номер патента: EP2849215A4. Автор: Shunji Ohara,Akinobu Hayakawa,Ren-De Sun,Kazushi Ito. Владелец: Sekisui Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2015-11-11.

Method of manufacturing thin film solar cell and thin film solar cell

Номер патента: KR101029385B1. Автор: 부르크하르트 슈파이트,실케 볼프,볼프강 만슈타트,에벨리네 루디기어-포이크트. Владелец: 쇼오트 아게. Дата публикации: 2011-04-15.

Raw material composition for the production of chemically resistant material fiber and thin films

Номер патента: RU2741984C1. Автор: Александр Геннадьевич Новицкий,Павел Анатольевич Петров. Владелец: Общество с ограниченной ответственностью «БАЗОВЫЕ МИНЕРАЛ ТЕХНОЛОГИИ». Дата публикации: 2021-02-01.

Anhydride compound, polyimide, and thin film

Номер патента: US20230101144A1. Автор: Jeng-Yu Tsai,Chen-Hsi Cheng,Chih-Ming Hu,Jyh-Long Jeng,Yi-Syuan WANG,Chi-En KUAN. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2023-03-30.

Chitosan scaffolds and thin films for the expansion of human neural stem cells

Номер патента: WO2023183769A1. Автор: Yang Zhou,Miqin Zhang,Yoshiki Ando,Fei-Chien CHANG,Matthew Michael JAMES. Владелец: UNIVERSITY OF WASHINGTON. Дата публикации: 2023-09-28.

Thin-film transistor substrate manufacturing method and thin-film transistor substrate manufactured with same

Номер патента: US20170256421A1. Автор: Yang Liu. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-09-07.

Thin-film transistor substrate manufacturing method and thin-film transistor substrate manufactured with same

Номер патента: US9881811B2. Автор: Yang Liu. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-01-30.

Surface tension modification using silane with hydrophobic functional group for thin film deposition

Номер патента: US09698263B2. Автор: Hsiang-Hsiang Ko,Wen-Chu Hsiao,Ying-Min Chou,Lai-Wan CHONG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-07-04.

Method for selective thin film deposition

Номер патента: US20170352691A1. Автор: Carolyn Rae Ellinger. Владелец: Eastman Kodak Co. Дата публикации: 2017-12-07.

Multiple step thin film deposition method for high conformality

Номер патента: US09859403B1. Автор: Praneet Adusumilli,Domingo A. Ferrer,Nicolas L. Breil,Neal A. Makela. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2018-01-02.

Metal organic complexes for improved smoothness and uniformity of thin films deposited from nanocolloids via electrophoresis

Номер патента: WO2013063090A3. Автор: Bing Liu,Kevin V. Hagedorn. Владелец: IMRA AMERICA, INC.. Дата публикации: 2014-03-13.

Multiple step thin film deposition method for high conformality

Номер патента: US20180026118A1. Автор: Praneet Adusumilli,Domingo A. Ferrer,Nicolas L. Breil,Neal A. Makela. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2018-01-25.

Anti freeze valve apparatus and semiconductor processing device including the same and manufacturing method thereof

Номер патента: US20230136985A1. Автор: Ki Bong Kim,Jin Se PARK,Myung Seok Cha. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-05-04.

Array substrate and manufacturing method thereof, display device and thin film transistor

Номер патента: US9653608B2. Автор: Heecheol KIM,Seungjin Choi,Youngsuk Song,Seongyeol Yoo. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2017-05-16.

Silicon thin film deposition for photovoltaic device applications

Номер патента: US20100255627A1. Автор: Kunio Masumo,Christopher R. Cording,Matthew SPENCER. Владелец: AGC Flat Glass North America Inc. Дата публикации: 2010-10-07.

Improved silicon thin film deposition for photovoltaic device applications

Номер патента: EP2417633A1. Автор: Kunio Masumo,Christopher R. Cording,Matthew SPENCER. Владелец: AGC Flat Glass North America Inc. Дата публикации: 2012-02-15.

Improved silicon thin film deposition for photovoltaic device applications

Номер патента: WO2010118105A1. Автор: Kunio Masumo,Christopher R. Cording,Matthew SPENCER. Владелец: AGC Flat Glass North America, Inc.. Дата публикации: 2010-10-14.

Improved silicon thin film deposition for photovoltaic device applications

Номер патента: SG174479A1. Автор: Kunio Masumo,Christopher R Cording,Matthew SPENCER. Владелец: Agc Flat Glass Na Inc. Дата публикации: 2011-10-28.

Thin film deposition apparatus, physical vapor deposition device, and thin film deposition method

Номер патента: CN114045468B. Автор: 王燕,李成,赵巍胜,汪建,程厚义,艾梅尔,杜寅昌,姚宇暄,许人友. Владелец: Hefei Innovation Research Institute of Beihang University. Дата публикации: 2022-07-19.

Substrate for ceramic thin film and thin film device

Номер патента: WO2024120850A2. Автор: Manfred Schweinzger,Federica Benes,Marius Steffens. Владелец: TDK Electronics AG. Дата публикации: 2024-06-13.

Polyimides and thin films, electronic articles and capacitors comprising these, and methods of making them

Номер патента: US20110267739A1. Автор: Gary William Yeager,Norberto Silvi,Patricia Chapman Irwin,Robert Colin Mctigue. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2011-11-03.

Thin Film Deposition Apparatus and Thin Film Deposition Method

Номер патента: KR101365467B1. Автор: 김정형,신용현,이주인,유신재. Владелец: 한국표준과학연구원. Дата публикации: 2014-02-24.

Thin film deposition apparatus and thin film deposition system

Номер патента: KR20150045805A. Автор: 조생현. Владелец: (주)브이앤아이솔루션. Дата публикации: 2015-04-29.

Thin film deposition apparatus and thin film deposition system comprising same

Номер патента: WO2010128811A2. Автор: 윤형석,강창호,배경빈. Владелец: 에스엔유 프리시젼 주식회사. Дата публикации: 2010-11-11.

Organic material nozzle, crucible assembly for depositing organic thin film and thin film deposition apparatus with the same

Номер патента: KR20120090650A. Автор: 김효주,김영학. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2012-08-17.

Conductive wet coating composition and thin-film prepared therefrom

Номер патента: US20070181856A1. Автор: Jong-Jin Park,Jae-Hwan Kim. Владелец: Samsung SDI Co Ltd. Дата публикации: 2007-08-09.

Optical film thickness meter and thin film forming apparatus provided with optical film thickness meter

Номер патента: TW201109617A. Автор: you-song Jiang,Kyokuyo Sai,Yohei Hinata,Yoshiyuki Otaki. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2011-03-16.

Thin-film planarization method, planarized thin-film formation method, and thin-film formation varnish

Номер патента: EP3151298A4. Автор: Naoki Otani. Владелец: Nissan Chemical Corp. Дата публикации: 2017-12-13.

Ferrite substrate for thin-film inductors, thin-film common mode filter using the substrate, and thin-film common mode filter array using the substrate

Номер патента: US7425376B2. Автор: Shigeru Shoji,Akira Sato,Kazumitsu Tanaka,Yukio Kawaguchi,Toshikazu Tanishima. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2008-09-16.

Manufacturing method for vapor deposition device and thin-film device

Номер патента: EP2302093A4. Автор: Takanori Murata,Ichiro Shiono,Ekishu Nagae,Yousong Jiang,Hiromitsu Honda. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2011-11-30.

Silver alloy, sputtering target material thereof, and thin film thereof

Номер патента: US20070110968A1. Автор: ATSUSHI Watanabe. Владелец: Furuya Metal Co Ltd. Дата публикации: 2007-05-17.

THIN FILM FORMING APPARATUS AND THIN FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20140021037A1. Автор: Chikama Yoshimasa,SUZUKI Iwao. Владелец: SHARP KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2014-01-23.

Thin film manufacturing apparatus and thin film manufacturing method

Номер патента: JPWO2017191796A1. Автор: 孔 木村. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2018-10-25.

Evaporation apparatus and thin film depositing apparatus and method for feeding source of the same

Номер патента: KR101068597B1. Автор: 윤형석,강창호,권현구,손성관. Владелец: 에스엔유 프리시젼 주식회사. Дата публикации: 2011-09-30.

Thin-film forming apparatus and thin-film forming method of using it

Номер патента: KR101562664B1. Автор: 김상열,공두원,박일준,임일환. Владелец: 에이피시스템 주식회사. Дата публикации: 2015-10-26.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: TW201809327A. Автор: 木村孔. Владелец: 愛發科股份有限公司. Дата публикации: 2018-03-16.

Baffle mechanism, thin film deposition device and thin film deposition method

Номер патента: CN103243302B. Автор: 张斌. Владелец: EverDisplay Optronics Shanghai Co Ltd. Дата публикации: 2015-07-08.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JPWO2009072242A1. Автор: 和義 本田,本田　和義,泰治 篠川,昌裕 山本,遊馬 神山,智文 柳,篠川　泰治,山本　昌裕. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2011-04-21.

Point source assembly for thin film deposition devices and thin film deposition devices employing the same

Номер патента: US20120312236A1. Автор: Joseph D. LoBue. Владелец: HelioVolt Corp. Дата публикации: 2012-12-13.

Thin Film Formation Method and Thin Film Formation Apparatus

Номер патента: US20130081942A1. Автор: Hinata Yohei,Sai Kyokuyo,Otaki Yoshiyuki,Shiono Ichiro,Jiang Yousong. Владелец: SHINCRON CO., LTD.. Дата публикации: 2013-04-04.

METHOD OF MANUFACTURING THIN-FILM POLYMER MULTI-LAYER CAPACITOR AND THIN-FILM POLYMER MULTI-LAYER CAPACITOR

Номер патента: US20170025224A1. Автор: Kako Tomonao,TOMIMOTO Shigeya. Владелец: . Дата публикации: 2017-01-26.

Polymer compound for forming organic gate insulator of thin-film transistor and thin-film transistor using the same

Номер патента: KR101685035B1. Автор: 이미혜,김진수,김윤호,가재원,장광석,위두영. Владелец: 한국화학연구원. Дата публикации: 2016-12-12.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JPH07122132B2. Автор: 英雄 黒川,力 三谷,裕一 中上. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 1995-12-25.

Display structure having opaque, light-blocking layer arranged between colour filter (CF) and thin-film transistor (TFT) layers

Номер патента: GB2499492A. Автор: Jun Qi,Dinesh C Mathew,Keith J Hendren,Victor H Yin,Thomas Wilson Jr,Adam T Garelli. Владелец: Apple Inc. Дата публикации: 2013-08-21.

Organic zinc precursor and ZnO thin-film deposition by MOCVD

Номер патента: US7514586B2. Автор: Chrong-Ching Lee,Ren-Bor Lin. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2009-04-07.

Novel organic zinc precursor and ZnO thin-film deposition by MOCVD

Номер патента: US20060198957A1. Автор: Chrong-Ching Lee,Ren-Bor Lin. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2006-09-07.

METHOD OF MANUFACTURING SUBSTRATE HAVING THIN FILM THEREABOVE, METHOD OF MANUFACTURING THIN-FILM-DEVICE SUBSTRATE, THIN-FILM SUBSTRATE, AND THIN-FILM-DEVICE SUBSTRATE

Номер патента: US20140167049A1. Автор: KAWASHIMA Takahiro,ODA Tomohiko. Владелец: Panasonic Corporation. Дата публикации: 2014-06-19.

Thin film comprising zinc and nitrogen method of fabricating the same, and thin film transistor comprising the same

Номер патента: KR102071768B1. Автор: 박진성,이현모,정현준,옥경철. Владелец: 한양대학교 산학협력단. Дата публикации: 2020-01-31.

Fabricating method of polycrystalline silicon thin film, polycrystalline silicon thin film fabricated using the same, and thin film transistor comprising the same

Номер патента: KR100946808B1. Автор: 노재상,홍원의. Владелец: 주식회사 엔씰텍. Дата публикации: 2010-03-11.

Method for Preparing Metal Doped Transparent Conductive Oxide Thin Film and Thin Film Transistor Using the Same

Номер патента: KR100999501B1. Автор: 정우석,유민기,추혜용,황치선,정승묵. Владелец: 한국전자통신연구원. Дата публикации: 2010-12-09.

Thin-film mask, thin-film mask device, thin-film mask manufacturing method, thin-film mask device manufacturing method and thin-film method

Номер патента: JP6939732B2. Автор: 宏樹 古庄,洋 島崎,知加雄 池永,千秋 初田,謙太朗 関. Владелец: DAI NIPPON PRINTING CO LTD. Дата публикации: 2021-09-22.

Automatic Thin Film Peeling Machine and Thin Film Peeling Method Thereof

Номер патента: US20180295727A1. Автор: Ching-Chih Chang. Владелец: Tomort Automation Co Ltd. Дата публикации: 2018-10-11.

Method of manufacturing low temperature polycrystalline silicon thin film and thin film transistor, thin film transistor, display panel and display device

Номер патента: US09842735B2. Автор: Chao Liu,Lei Chen,Yujun Zhang,Yanan NIU,Zengsheng He. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2017-12-12.

Thin film analyzing device and thin film analyzing method

Номер патента: US20210262951A1. Автор: Yuji Yamada,Sho Kato,Yuki WAKISAKA,Takumi NISHIOKA. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2021-08-26.

Thin film processing method and thin film processing apparatus

Номер патента: US20040009632A1. Автор: Hiroshi Tanabe,Akihiko Taneda. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2004-01-15.

Thin film transistor, display device, and thin film transistor manufacturing method

Номер патента: US11955559B2. Автор: Shigeru Ishida,Takao Matsumoto,Yoshiaki Matsushima,Nobutake Nodera,Ryohei Takakura,Satoru Utsugi,Satoshi Michinaka. Владелец: Sakai Display Products Corp. Дата публикации: 2024-04-09.

Method of manufacturing thin film transistor, method of manufacturing display apparatus and thin film transistor substrate

Номер патента: US11980083B2. Автор: Seung-Ha Choi,Kap Soo Yoon,Keum Hee LEE,Woo Geun Lee,Jiyun HONG,Joongeol KIM. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-07.

Thin film analyzing device and thin film analyzing method

Номер патента: US11508630B2. Автор: Yuji Yamada,Sho Kato,Yuki WAKISAKA,Takumi NISHIOKA. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2022-11-22.

METHOD OF MANUFACTURING LOW TEMPERATURE POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILM AND THIN FILM TRANSISTOR, THIN FILM TRANSISTOR, DISPLAY PANEL AND DISPLAY DEVICE

Номер патента: US20170004970A1. Автор: LIU CHAO,Chen Lei,Zhang Yujun,Niu Yanan,He Zengsheng. Владелец: BOE Technology Group Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-01-05.

Method for producing silicon oxide thin film or silicon oxynitride compound thin film and thin film obtained by this method

Номер патента: JP5305476B2. Автор: 俊英 鎌田,聖 植村. Владелец: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST. Дата публикации: 2013-10-02.

Preparation method for low temperature polysilicon thin film and thin film transistor, thin film transistor , display panel and display device

Номер патента: EP3267468A4. Автор: Chao Liu,Lei Chen,Yujun Zhang,Yanan NIU,Zengsheng He. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2018-10-31.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP3883929B2. Автор: 勉 上山,出 井関,克之 町田,億 久良木,昇男 佐藤. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2007-02-21.

Method of manufacturing thin film transistor, method of manufacturing display apparatus and thin film transistor substrate

Номер патента: KR20200130778A. Автор: 최승하,이우근,윤갑수,홍지윤,김준걸,이금희. Владелец: 삼성디스플레이 주식회사. Дата публикации: 2020-11-20.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: KR100566790B1. Автор: 이세키이즈루,우에야마츠토무,사토노리오,마치다가츠유키,큐라기하카루. Владелец: 니폰 덴신 덴와 가부시끼가이샤. Дата публикации: 2006-04-03.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: US20060113021A1. Автор: Norio Sato,Katsuyuki Machida,Hakaru Kyuragi,Tsutomu Ueyama,Izuru Iseki. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2006-06-01.

MANUFACTURING METHOD OF THIN FILM TRANSISTOR AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20160013294A1. Автор: Wu Tao,GUO Jian,HOU Xuecheng. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-14.

OXIDE SEMICONDUCTOR THIN-FILM AND THIN-FILM TRANSISTOR CONSISTED THEREOF

Номер патента: US20200027993A1. Автор: Wang Lei,Xu Hua,Chen Weifeng,Xu Miao,Peng Junbiao,WU Weijing. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-23.

POLY-SILICON THIN FILM AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME, AND THIN FILM TRANSISTOR AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

Номер патента: US20190096926A1. Автор: Liu Jun,SU Tongshang. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-28.

THIN FILM TRANSISTOR, DISPLAY DEVICE, AND THIN FILM TRANSISTOR MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20190140102A1. Автор: MICHINAKA SATOSHI,NODERA NOBUTAKE,MATSUMOTO TAKAO,MATSUSHIMA YOSHIAKI,ISHIDA SHIGERU,TAKAKURA RYOHEI,UTSUGI SATORU. Владелец: Sakai Display Products Corporation. Дата публикации: 2019-05-09.

METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20180204957A1. Автор: NODERA NOBUTAKE,MATSUMOTO TAKAO,MATSUSHIMA YOSHIAKI,ISHIDA SHIGERU,UTSUGI SATORU,Takakura Ryouhei. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-19.

THIN FILM ANALYZING DEVICE AND THIN FILM ANALYZING METHOD

Номер патента: US20210262951A1. Автор: YAMADA Yuji,Kato Sho,WAKISAKA Yuki,NISHIOKA Takumi. Владелец: Kioxia Corporation. Дата публикации: 2021-08-26.

Method and system for preparing thin-film transistor and thin-film transistor, and array substrate

Номер патента: WO2015007055A1. Автор: 杨晓峰,魏小丹,张同局,倪水滨. Владелец: 成都京东方光电科技有限公司. Дата публикации: 2015-01-22.

Oxide semiconductor thin-film and thin-film transistor consisted thereof

Номер патента: US11677031B2. Автор: Miao Xu,Lei Wang,HUA Xu,Junbiao Peng,Weifeng Chen,WEIJING Wu. Владелец: South China University of Technology SCUT. Дата публикации: 2023-06-13.

Driver for driving display panel and method for reading / writing in memory thereof and thin film transistor liquid crystal display using the same

Номер патента: US20080170050A1. Автор: Heng-Sheng Chou,Chun-Hung Huang,Ying-Chi Wang. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2008-07-17.

Integrated array of optical fibers and thin film optical detectors, and method for fabricating the same

Номер патента: US4017962A. Автор: John P. Palmer. Владелец: General Dynamics Corp. Дата публикации: 1977-04-19.

Dielectric thin film, dielectric thin film element and thin film capacitor

Номер патента: US9324497B2. Автор: Takayoshi Sasaki,Minoru Osada,Takafumi Okamoto. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2016-04-26.

Vacuum system of low pressure chemical vapor deposition equipment

Номер патента: KR200182140Y1. Автор: 장문수. Владелец: 아남반도체주식회사. Дата публикации: 2000-05-15.

Low temperature poly-silicon thin film transistor and manufacturing method thereof

Номер патента: US20150179460A1. Автор: Xiangyang Xu. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2015-06-25.

Method for producing thin film transistor and thin film transistor

Номер патента: US20180061643A1. Автор: Kazuto Nakamura,Yoshihiro Sakata,Ryomei Omote,Hirotaka Shigeno,Hideaki Nada,Hayato NAKAYA. Владелец: Nissha Printing Co Ltd. Дата публикации: 2018-03-01.

Polycrystalline silicon thin film and method thereof, optical film, and thin film transistor

Номер патента: US20170186611A1. Автор: Dong Li,Zheng Liu,Chunping Long,Xiaoyong Lu,Shuai ZHANG. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2017-06-29.

Polycrystalline silicon thin film and method thereof, optical film, and thin film transistor

Номер патента: WO2017028543A1. Автор: Dong Li,Zheng Liu,Chunping Long,Xiaoyong Lu,Shuai ZHANG. Владелец: BOE Technology Group Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-02-23.

Crystalline oxide thin film, laminate, and thin-film transistor

Номер патента: EP4418330A1. Автор: Koji Yamaguchi,Nobuhiro Iwase,Daichi Sasaki,Yuki Tsuruma,Emi Kawashima. Владелец: Idemitsu Kosan Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-21.

Crosslinked nanoparticle thin film, preparation method thereof, and thin film optoelectronic device having the same

Номер патента: US11778891B2. Автор: SONG Chen,LEI QIAN,Chaoyu XIANG,Yixing YANG,Weiran Cao. Владелец: TCL Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-03.

Manufacturing method of low temperature polysilicon, low temperature polysilicon film and thin film transistor

Номер патента: US20150194502A1. Автор: Xueyan TIAN. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2015-07-09.

Thin film transistor, and thin film transistor array panel and organic light emitting diode display including the same

Номер патента: US09634071B2. Автор: Sang-Min Hong,Sea-Hee LIM. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-25.

Thin Film Deposition Apparatus, Plasma Generation Apparatus, And Thin Film Deposition Method

Номер патента: KR102010762B1. Автор: 이정락,도재철,노승완,허승회. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2019-08-14.

Semiconductor oxide thin film, preparation method thereof and thin film transistor comprising semiconductor oxide thin film

Номер патента: CN110690107B. Автор: 张伟,王磊,李民,邹建华,徐苗,陶洪,张献忠. Владелец: Guang Zhou New Vision Opto Electronic Technology Co ltd. Дата публикации: 2020-05-12.

Method of controlling electric conductivity of metal oxide thin film and thin film transistor including the metal oxide film having the controlled electric conductivity

Номер патента: US10217871B2. Автор: Jin Seo Kim,Sang Yeon Lee,Hyungtak Seo. Владелец: Ajou University Industry Academic Cooperation Foundation. Дата публикации: 2019-02-26.

Method of Fabricating Thin, Crystalline Silicon Film and Thin Film Transistors

Номер патента: US20240234142A9. Автор: Ramesh kumar Harjivan Kakkad. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-07-11.

Thin film transistor and method of manufacturing the same and thin film transistor panel and electronic device

Номер патента: EP3588596A1. Автор: Jiyoung JUNG,Jeong Il Park,Joo Young Kim,Byong Gwon Song. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2020-01-01.

Crystalline semiconductor thin film and manufacturing method thereof, and thin film transistor and manufacturing method thereof

Номер патента: JP4495805B2. Автор: 幸治 鈴木,雅人 平松. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2010-07-07.

Method for manufacturing thin film transistor and thin film transistor

Номер патента: US20210328040A1. Автор: Tianyu Huang. Владелец: Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-10-21.

Crosslinked nanoparticle thin film and preparation method therefor, and thin film optoelectronic device

Номер патента: EP3611756A1. Автор: SONG Chen,LEI QIAN,Chaoyu XIANG,Yixing YANG,Weiran Cao. Владелец: TCL Corp. Дата публикации: 2020-02-19.

POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILM AND METHOD THEREOF, OPTICAL FILM, AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20170186611A1. Автор: Li Dong,LIU ZHENG,Zhang Shuai,Long Chunping,Lu Xiaoyong. Владелец: . Дата публикации: 2017-06-29.

Method For Manufacturing Thin-Film Transistor Substrate And Thin-Film Transistor Substrate Manufactured With Same

Номер патента: US20150129863A1. Автор: Chihyuan Tseng,Wenhui Li. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2015-05-14.

Laser annealing device and thin film crystallization method using same

Номер патента: US20210057218A1. Автор: Dong-Min Lee,Ji-Hwan Kim,Jongoh Seo,Byung Soo SO. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2021-02-25.

Method of crystalizing amorphous silicon layer, method of manufacturing thin film transistor using the same, and thin film transistor using the manufacturing method

Номер патента: TW201135808A. Автор: Seung-Kyu Park,Dong-Hyun Lee,Byoung-Keon Park,Jin-Wook Seo,Ki-Yong Lee,Yun-Mo CHUNG,Jong-Ryuk Park,Tak-Young Lee,Kil-won Lee,Byung-Soo So,Yong-Duck Son,Jae-Wan Jung,Min-Jae Jeong. Владелец: Samsung Mobile Display Co Ltd. Дата публикации: 2011-10-16.

Tellurium oxide, and thin film transistor comprising same as channel layer

Номер патента: US20230352539A1. Автор: Jae Kyeong Jeong,Tai Kyu KIM. Владелец: Industry University Cooperation Foundation Hanyand University. Дата публикации: 2023-11-02.

Thin film forming device and thin film removing device

Номер патента: TW483031B. Автор: Yoichi Honda,Shunichi Yahiro. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2002-04-11.

Method for manufacturing thin film transistor, and thin film transistor thereof

Номер патента: US09620606B2. Автор: Zongze HE. Владелец: Beijing BOE Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-11.

Thin Film Transistor, Manufacturing Method Thereof and Thin Film Transistor Array Substrate

Номер патента: US20150249161A1. Автор: SU CHIH-YU. Владелец: . Дата публикации: 2015-09-03.

Thin film transistor, preparation method thereof and thin film transistor array

Номер патента: CN110998857A. Автор: 李刘中,林子平. Владелец: Chongqing Kangjia Photoelectric Technology Research Institute Co Ltd. Дата публикации: 2020-04-10.

OXIDE SEMICONDUCTOR THIN FILM, MANUFACTURING METHOD FOR OXIDE SEMICONDUCTOR THIN FILM, AND THIN FILM TRANSISTOR USING OXIDE SEMICONDUCTOR THIN FILM

Номер патента: US20190081182A1. Автор: Nakayama Tokuyuki,NISHIMURA Eiichiro,MATSUMURA Fumihiko,SHIRAKI Mana. Владелец: SUMITOMO METAL MINING CO., LTD.. Дата публикации: 2019-03-14.

Method of manufacturing thin film solar cell using micro wave, and thin film deposition apparatus for the same

Номер патента: KR101362890B1. Автор: 임건묵. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2014-02-17.

Crystalline oxide semiconductor thin film, and method of forming the same and thin film transistor and method of manufacturing the same and display panel and electronic device

Номер патента: US11682680B2. Автор: Soon Ho Choi,Suhui LEE,Chae Yeon HWANG. Владелец: ADRC Co. Дата публикации: 2023-06-20.

Crystalline oxide semiconductor thin film, and method of forming the same and thin film transistor and method of manufacturing the same and display panel and electronic device

Номер патента: US20220208807A1. Автор: Soon Ho Choi,Suhui LEE,Chae Yeon HWANG. Владелец: ADRC Co. Дата публикации: 2022-06-30.

Method of fabricating thin, crystalline silicon film and thin film transistors

Номер патента: US11791159B2. Автор: Ramesh kumar Harjivan Kakkad. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-10-17.

Method of evaluating thin-film transistor, method of manufacturing thin-film transistor, and thin-film transistor

Номер патента: US20160197198A1. Автор: Toru Saito,Eiji Takeda. Владелец: Joled Inc. Дата публикации: 2016-07-07.

Method of Fabricating Thin, Crystalline Silicon Film and Thin Film Transistors

Номер патента: US20230420254A1. Автор: Ramesh kumar Harjivan Kakkad. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-12-28.

Silicone film and manufacturing method thereof, and thin-film transistor and manufacturing method thereof

Номер патента: KR100218500B1. Автор: 이주형,진용석,배병성,정병후,황장원. Владелец: 윤종용. Дата публикации: 1999-09-01.

Method of Fabricating Thin, Crystalline Silicon Film and Thin Film Transistors

Номер патента: US20230420253A1. Автор: Ramesh kumar Harjivan Kakkad. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-12-28.

OXIDE FOR SEMICONDUCTOR LAYER OF THIN-FILM TRANSISTOR, SEMICONDUCTOR LAYER OF THIN-FILM TRANSISTOR HAVING SAID OXIDE, AND THIN-FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20170053800A1. Автор: Kugimiya Toshihiro,Tao Hiroaki,Morita Shinya,Miki Aya,Yasuno Satoshi,Park Jae Woo,Lee Je Hun,Ahn Byung Du,Kim Gun Hee. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-23.

Method of evaluating thin-film transistor, method of manufacturing thin-film transistor, and thin-film transistor

Номер патента: US20160197198A1. Автор: Toru Saito,Eiji Takeda. Владелец: Joled Inc. Дата публикации: 2016-07-07.

Oxide for semiconductor layer for thin film transistor, semiconductor layer for thin film transistor which comprises said oxide, and thin film transistor

Номер патента: KR20140033348A. Автор: 신야 모리타,아야 미키,도시히로 구기미야,사토시 야스노,재우 박,제훈 이,병두 안,건희 김,히로아키 다오. Владелец: 가부시키가이샤 고베 세이코쇼. Дата публикации: 2014-03-18.

Oxide for semiconductor layer for thin film transistor, semiconductor layer for thin film transistor which comprises said oxide, and thin film transistor

Номер патента: KR101509115B1. Автор: 신야 모리타,아야 미키,도시히로 구기미야,사토시 야스노,재우 박,제훈 이,병두 안,건희 김,히로아키 다오. Владелец: 삼성디스플레이 주식회사. Дата публикации: 2015-04-07.

Dielectric thin film, dielectric thin film element, and thin film capacitor

Номер патента: WO2013005468A1. Автор: 実 長田,佐々木　高義,貴史 岡本. Владелец: 独立行政法人物質・材料研究機構. Дата публикации: 2013-01-10.

Method for manufacturing thin film of graphene having bandgap and thin film transistor having the thin film of graphene manufactured by the method

Номер патента: KR20170056390A. Автор: 이성주,전재호,가정원,서교. Владелец: 성균관대학교산학협력단. Дата публикации: 2017-05-23.

Exposure method, manufacturing method of device, and thin film sheet

Номер патента: US20160240423A1. Автор: Kentaro Matsunaga,Kazuhiro Segawa. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2016-08-18.

Methods of fabricating crystalline silicon film and thin film transistors

Номер патента: WO2007004096A3. Автор: Ramesh Kakkad. Владелец: Ramesh Kakkad. Дата публикации: 2007-07-26.

Exposure method, manufacturing method of device, and thin film sheet

Номер патента: US10054856B2. Автор: Kentaro Matsunaga,Kazuhiro Segawa. Владелец: Toshiba Memory Corp. Дата публикации: 2018-08-21.

THIN FILM MANUFACTURING APPARATUS AND THIN FILM MANUFACTURING APPARATUS USING NEURAL NETWORK

Номер патента: US20210073610A1. Автор: Tezuka Sachiaki,KURIKI Kazutaka,Toyotaka Kouhei. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-11.

METHOD OF CONTROLLING ELECTRIC CONDUCTIVITY OF METAL OXIDE THIN FILM AND THIN FILM TRANSISTOR INCLUDING THE METAL OXIDE FILM HAVING THE CONTROLLED ELECTRIC CONDUCTIVITY

Номер патента: US20170092772A1. Автор: KIM Jin Seo,LEE Sang Yeon,Seo Hyungtak. Владелец: Industry-Academic Cooperation Foundation of Ajou University. Дата публикации: 2017-03-30.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP3948930B2. Автор: 勉 上山,出 井関. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2007-07-25.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: US20050230035A1. Автор: Tsutomu Ueyama,Izuru Iseki. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2005-10-20.

Method of crystallizing a silicon film and thin film transistor and fabricating method thereof using the same

Номер патента: US6387779B1. Автор: Jonghoon Yi,Sanggul Lee. Владелец: LG Philips LCD Co Ltd. Дата публикации: 2002-05-14.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: US20030079829A1. Автор: Tsutomu Ueyama,Izuru Iseki. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2003-05-01.

Ultra-thin THz thin film circuits processing method and thin film circuit with localized metallic support

Номер патента: CN107863317A. Автор: 王进,马子腾,许延峰. Владелец: CETC 41 Institute. Дата публикации: 2018-03-30.

Substrate supporting apparatus and thin film deposition apparatus comprising the same

Номер патента: KR20120040802A. Автор: 이명진,박상기,박창균. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2012-04-30.

Method of Fabricating Thin, Crystalline Silicon Film and Thin Film Transistors

Номер патента: US20240136182A1. Автор: Ramesh kumar Harjivan Kakkad. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-04-25.

Method for crystallizing silicon film and thin film transistor and fabricating method using the same

Номер патента: US6710411B2. Автор: Dae-Gyu Moon. Владелец: LG Philips LCD Co Ltd. Дата публикации: 2004-03-23.

Method for manufacturing light-absorption layer for solar cell, method for manufacturing thin film solar cell using the same, and thin film solar cell using the same

Номер патента: US20130025671A1. Автор: Jae-Min Hong,Jung Ah Lim,Yong-Won Song,Hak-Sung Kim,Hong Thomas HAHN. Владелец: Korea Advanced Institute of Science and Technology KAIST. Дата публикации: 2013-01-31.

METHOD OF FORMING THIN FILM INTERCONNECT AND THIN FILM INTERCONNECT

Номер патента: US20130214412A1. Автор: Mori Satoru. Владелец: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION. Дата публикации: 2013-08-22.

THIN FILM FORMING DEVICE FOR SOLAR CELL AND THIN FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20130295751A1. Автор: Hara Kenichi,Narushima Masaki,Kato Takamasa. Владелец: . Дата публикации: 2013-11-07.

SUBSTRATE CONVEYING ROLLER, THIN FILM MANUFACTURING DEVICE, AND THIN FILM MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20140057448A1. Автор: HONDA Kazuyoshi,Okazaki Sadayuki. Владелец: Panasonic Corporation. Дата публикации: 2014-02-27.

METHOD OF MANUFACTURING A THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE AND THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE

Номер патента: US20210005757A1. Автор: Li Wei,ZHAO ZHENYU. Владелец: . Дата публикации: 2021-01-07.

METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE AND THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE MANUFACTURED BY THE METHOD

Номер патента: US20150008429A1. Автор: ITO Kazuatsu,KITAKADO Hidehito. Владелец: SHARP KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2015-01-08.

Thin film transistor, and thin film transistor array panel and organic light emitting diode display including the same

Номер патента: US20150014637A1. Автор: Sang-Min Hong,Sea-Hee LIM. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2015-01-15.

METHOD FOR PRODUCING AMORPHOUS OXIDE THIN FILM AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20140103341A1. Автор: TANAKA Atsushi,SUZUKI Masayuki,Shimoda Tatsuya,UMEDA Kenichi. Владелец: FUJIFILM Corporation. Дата публикации: 2014-04-17.

METHOD FOR PRODUCING THIN FILM TRANSISTOR AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20180061643A1. Автор: Omote Ryomei,Nakamura Kazuto,Sakata Yoshihiro,NADA Hideaki,SHIGENO Hirotaka,NAKAYA Hayato. Владелец: NISSHA PRITING CO., LTD.. Дата публикации: 2018-03-01.

THIN-FILM TRANSISTOR SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD AND THIN-FILM TRANSISTOR SUBSTRATE MANUFACTURED WITH SAME

Номер патента: US20180082856A1. Автор: Liu Yang. Владелец: . Дата публикации: 2018-03-22.

METHOD FOR PRODUCING THIN FILM TRANSISTOR, AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20180114862A1. Автор: Omote Ryomei,Sakata Yoshihiro,NADA Hideaki,SHIGENO Hirotaka,OKUMURA Shuzo. Владелец: . Дата публикации: 2018-04-26.

Method For Manufacturing Thin-Film Transistor Substrate And Thin-Film Transistor Substrate Manufactured With Same

Номер патента: US20150129863A1. Автор: LI Wenhui,Tseng Chihyuan. Владелец: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.. Дата публикации: 2015-05-14.

MANUFACTURING METHOD OF THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE AND THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE MANUFACTURED BY USING THE SAME

Номер патента: US20200127127A1. Автор: Jin Peng. Владелец: Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd.. Дата публикации: 2020-04-23.

METHODS OF FORMING OXIDE THIN FILM AND ELECTRICAL DEVICES AND THIN FILM TRANSISTORS USING THE METHODS

Номер патента: US20140239292A1. Автор: Kim Hyun Jae,RIM You Seung,SHIN Hyun Soo. Владелец: INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION YONSEI UNIVERSITY. Дата публикации: 2014-08-28.

METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR ARRAY SUBSTRATE AND THIN FILM TRANSISTOR ARRAY SUBSTRATE FOR THE SAME

Номер патента: US20160247839A1. Автор: Dai Tianming. Владелец: . Дата публикации: 2016-08-25.

Method of Fabricating Thin, Crystalline Silicon Film and Thin Film Transistors

Номер патента: US20200234956A1. Автор: Kakkad Ramesh kumar Harjivan. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-23.

THIN FILM ACTIVATION METHOD USING ELECTRICAL ENERGY AND THIN FILM TRANSISTOR FABRICATION METHOD

Номер патента: US20160260821A1. Автор: Kim Hyun Jae,Park Jeong Woo,KIM Wongi,JUNG Tae Soo,Lee HeeSoo,TAK Young Jun,YOON Doo Hyun. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-08.

Thin-film transistor substrate manufacturing method and thin-film transistor substrate manufactured with same

Номер патента: US20170256421A1. Автор: Yang Liu. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-09-07.

Method for manufacturing thin film transistor and thin film transistor

Номер патента: US20210328040A1. Автор: Tianyu Huang. Владелец: Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-10-21.

METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR, AND THIN FILM TRANSISTOR THEREOF

Номер патента: US20160284809A1. Автор: He Zongze. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-29.

LASER IRRADIATION DEVICE, THIN-FILM TRANSISTOR AND THIN-FILM TRANSISTOR MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20190311899A1. Автор: MIZUMURA Michinobu. Владелец: . Дата публикации: 2019-10-10.

Method of Fabricating Thin, Crystalline Silicon Film and Thin Film Transistors

Номер патента: US20200357638A1. Автор: Kakkad Ramesh kumar Harjivan. Владелец: . Дата публикации: 2020-11-12.

method for manufacturing thin film transistors based on titanium oxides as active layer and thin film transistors thereof

Номер патента: KR101482944B1. Автор: 박재우,한성원. Владелец: 한국과학기술원. Дата публикации: 2015-01-16.

Oxide for semiconductor layer of thin-film transistor, sputtering target, and thin-film transistor

Номер патента: KR101407402B1. Автор: 박재우,안병두,이제훈,신야 모리타,아야 미키,사토시 야스노,토시히로 쿠기미야,유미 이와나리,야스아키 테라오. Владелец: 가부시키 가이샤 고베세이코쇼. Дата публикации: 2014-06-13.

Crystalline semiconductor thin film and method of manufacturing the same and thin film transistor and method of manufacturing the same

Номер патента: KR100384499B1. Автор: 스즈키고지,히라마츠마사토. Владелец: 가부시끼가이샤 도시바. Дата публикации: 2003-05-22.

Semiconductor device using thin film transistor and thin film transistor

Номер патента: KR19980087561A. Автор: 순페이 야마자키,히데토 오누마. Владелец: 한도타이 에네루기 겐큐쇼 주식회사. Дата публикации: 1998-12-05.

Liquid-phase composition for preparing semiconductor and preparing methods of semiconductor thin film and thin film transistor using the same

Номер патента: KR101511932B1. Автор: 배병수,박형진,남윤용. Владелец: 한국과학기술원. Дата публикации: 2015-04-13.

Thin film transistor channel and thin film transistor using the same

Номер патента: KR102470955B1. Автор: 김상태,김성근,최지원,강종윤,백승협,김진상,백인환. Владелец: 한국과학기술연구원. Дата публикации: 2022-11-28.

METHOD FOR MANUFACTURING STRUCTURED THIN FILM AND THIN FILM OBTAINED BY SUCH A METHOD

Номер патента: FR2872958A1. Автор: Beatrice Drevet,Maud Vinet,Jean Charles Barbe,Carine Jahan. Владелец: Commissariat a lEnergie Atomique CEA. Дата публикации: 2006-01-13.

METHOD AND STRUCTURE FOR THIN FILM ADDRESSED LIQUID CRYSTAL VISUALIZATION DEVICES AND THIN FILM TRANSISTORS.

Номер патента: FR2585863A1. Автор: Donald Earl Castleberry,George Edward Possin,Harold George Parks,William Weidman Piper. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 1987-02-06.

METHOD FOR MANUFACTURING STRUCTURED THIN FILM AND THIN FILM OBTAINED BY SUCH A METHOD

Номер патента: FR2872958B1. Автор: Beatrice Drevet,Maud Vinet,Jean Charles Barbe,Carine Jahan. Владелец: Commissariat a lEnergie Atomique CEA. Дата публикации: 2008-05-02.

Method and apparatus for producing thin film, and thin film transistor and method of producing same

Номер патента: TW495995B. Автор: Mikihiko Nishitani,Masashi Goto. Владелец: Matsushita Electric Ind Co Ltd. Дата публикации: 2002-07-21.

Thin-film transistor manufacturing method and thin-film transistor

Номер патента: KR101133827B1. Автор: 마사노리 하시모토,신 아사리,타로 모리무라,타루 키쿠치,카즈야 사이토,큐조 나카무라. Владелец: 가부시키가이샤 아루박. Дата публикации: 2012-04-06.

Manufacturing method of semiconductor chip by thin film technology and thin film semiconductor chip

Номер патента: JP5305655B2. Автор: カイザー シュテファン,ハーン ベルトルト,ヘルレ フォルカー,プレスル アンドレアス. Владелец: OSRAM Opto Semiconductors GmbH. Дата публикации: 2013-10-02.

Precursor solution for forming photosensitive thin film and thin film pattern forming method using same

Номер патента: JPH1097069A. Автор: Katsumi Ogi,勝実 小木,Hiroto Uchida,信幸 曽山,Nobuyuki Soyama,寛人 内田,Kensuke Kageyama,謙介 影山,Larry D Mcmillan,De Araujo Carlos A Paz,ラリー・ディー・マクミラン,Michael C Scott,マイケル・シー・スコット,カルロス・エイ・パズデアラウジョ. Владелец: Symetrix Corp. Дата публикации: 1998-04-14.

Method for doping semiconductor layer, method for producing thin film semiconductor element and thin film semiconductor device

Номер патента: CN1251307C. Автор: 町田晓夫,碓井节夫,达拉姆·P·戈塞恩. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2006-04-12.

Oxide for semiconductor layer of thin-film transistor, sputtering target, and thin-film transistor

Номер патента: KR20130018300A. Автор: 박재우,안병두,이제훈,신야 모리타,아야 미키,사토시 야스노,토시히로 쿠기미야,유미 이와나리,야스아키 테라오. Владелец: 가부시키 가이샤 고베세이코쇼. Дата публикации: 2013-02-20.

Oxide for semiconductor layer of thin-film transistor, sputtering target, and thin-film transistor

Номер патента: US8907334B2. Автор: Toshihiro Kugimiya,Shinya Morita,Jae Woo Park,Je Hun Lee,Aya Miki,Yumi Iwanari,Yasuaki Terao,Satoshi Yasuno,Byung Du Ahn. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-09.

Manufacturing methods of thin film solar cell and thin film solar cell module

Номер патента: EP2256829B1. Автор: Seung-Yeop Myong,Boung-Kwon Lim. Владелец: KISCO Co. Дата публикации: 2012-06-06.

Thin film transistor, and thin film transistor array panel and organic light emitting diode display including the same

Номер патента: KR102136992B1. Автор: 홍상민,임세희. Владелец: 삼성디스플레이 주식회사. Дата публикации: 2020-07-24.

Method and apparatus for fabricating a thin film and thin film transistor and method of fabricating same

Номер патента: US6913986B2. Автор: Mikihiko Nishitani,Masashi Goto. Владелец: Matsushita Electric Industrial Co Ltd. Дата публикации: 2005-07-05.

A kind of manufacturing method and thin film transistor (TFT) of thin film transistor (TFT)

Номер патента: CN110120367A. Автор: 李治朝,刘凌枫. Владелец: InfoVision Optoelectronics Kunshan Co Ltd. Дата публикации: 2019-08-13.

Laser irradiation device, thin-film transistor and thin-film transistor manufacturing method

Номер патента: WO2018092218A1. Автор: 隆夫 松本,水村　通伸,伸武 野寺,吉明 松島,優数 田中. Владелец: 株式会社ブイ・テクノロジー. Дата публикации: 2018-05-24.

Method for making semiconductor apparatus and semiconductor apparatus obtained by the method, method for making thin film transistor substrate and thin film transistor substrate obtained by the method, and method for making display apparatus and display apparatus obtained by the method

Номер патента: US20120205657A1. Автор: Naoki HAYASHI,Toshiaki Arai. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2012-08-16.

Method of producing display device, display device, method of producing thin-film transistor substrate, and thin film transistor substrate

Номер патента: US20150076502A1. Автор: Hiroshi Sagawa,Naobumi Toyomura. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2015-03-19.

Method of producing display device, display device, method of producing thin-film transistor substrate, and thin-film transistor substrate

Номер патента: US8034672B2. Автор: Hiroshi Sagawa,Naobumi Toyomura. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2011-10-11.

Display Device and Thin Film Transistor Array Substrate and Thin Film Transistor thereof

Номер патента: US20110095285A1. Автор: Fang-An Shu,Henry Wang,Tung-Liang Lin,Wei-Chou Lan,Lee-Tyng Chen. Владелец: Prime View International Co Ltd. Дата публикации: 2011-04-28.

Thin film transistor substrate, manufacturing method thereof, liquid crystal display panel and liquid crystal display equipment

Номер патента: US5889573A. Автор: Yasuo Tanaka,Akira Sasano,Toshihisa Tsukada,Hideaki Yamamoto,Ken Tsutsui,Haruo Matsumaru,Yuka Matsukawa,Kazuo Shirahashi. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1999-03-30.

Process for the fabrication of thin-film device and thin-film device

Номер патента: US20070090404A1. Автор: Akihiko Asano,Tomoatsu Kinoshita. Владелец: Individual. Дата публикации: 2007-04-26.

Manufacturing method of thin film transistor array panel and thin film transistor array panel

Номер патента: US09806100B2. Автор: Jong Chan Lee,Joon-Hwa Bae,Woong Hee Jeong,In Sun Hwang. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-31.

Integrated micro-inverter and thin film solar module and manufacturing process

Номер патента: US09755099B2. Автор: Markus Schmidt,Hans-Juergen Eickelmann,Hartmut Kuehl,Ruediger Kellman. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2017-09-05.

Thin film characteristic measuring apparatus and method and thin film processing apparatus and method

Номер патента: TW201104215A. Автор: Takashi Uda,Takashi Tokuda. Владелец: Nihon Micronics Kk. Дата публикации: 2011-02-01.

Thin film inductor element and thin film variable inductor element

Номер патента: US20240145147A1. Автор: Shunsuke Fukami,Jun'ichi Ieda,Yuta Yamane. Владелец: Tohoku University NUC. Дата публикации: 2024-05-02.

Transparent electrode for thin film solar cell, substrate having transparent electrode for thin film solar cell and thin film solar cell using same, and production method for transparent electrode for thin film solar cell

Номер патента: EP2600410B1. Автор: Yuko Tawada,Takashi Fujibayashi. Владелец: Kaneka Corp. Дата публикации: 2020-09-30.

Method for manufacturing thin film transistor, and thin film transistor

Номер патента: US20190386030A1. Автор: Songshan LI. Владелец: Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2019-12-19.

Method of manufacturing thin film capacitor and thin film capacitor

Номер патента: US20130071555A1. Автор: Yoshihiko Yano,Yasunobu Oikawa. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2013-03-21.

Method of manufacturing thin film capacitor and thin film capacitor

Номер патента: US20130071554A1. Автор: Yoshihiko Yano,Yasunobu Oikawa. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2013-03-21.

Thin film transistor, thin film transistor array, and thin film transistor production method

Номер патента: EP4181214A4. Автор: Noriaki Ikeda. Владелец: Toppan Inc. Дата публикации: 2024-01-03.

Thin film transistor and thin film transistor substrate

Номер патента: US20160190341A1. Автор: Kuo-Lung Fang,Yi-Chun Kao,Hsin-Hua Lin,Chih-Lung Lee,Po-Li Shih. Владелец: Hon Hai Precision Industry Co Ltd. Дата публикации: 2016-06-30.

Thin film transistor and thin film transistor array panel including the same

Номер патента: US12087865B2. Автор: Chong Sup Chang,Dong Jo Kim,Sang Ho Park,Jae Neung Kim,Yoon Ho KHANG,Dae Ho Kim,Sang Gab Kim,Yu-gwang Jeong,Yong Su LEE,Myoung Geun CHA,Se Hwan Yu,Hyun Jae NA. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-10.

Thin film transistor and thin film transistor array panel including the same

Номер патента: US09768309B2. Автор: Chong Sup Chang,Dong Jo Kim,Sang Ho Park,Jae Neung Kim,Yoon Ho KHANG,Dae Ho Kim,Sang Gab Kim,Yu-gwang Jeong,Yong Su LEE,Myoung Geun CHA,Se Hwan Yu,Hyun Jae NA. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-09-19.

Thin film active element group, thin film active element array, organic light emitting device, display apparatus, and thin film active element manufacturing method

Номер патента: US20100258803A1. Автор: Tomonori Matsumuro. Владелец: Sumitomo Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2010-10-14.

Method for producing thin film transistor and thin film transistor

Номер патента: US20110068338A1. Автор: Tadashi Masuda,Satoru Ishibashi,Satoru Takasawa. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2011-03-24.

Display device having transmission hole passing through substrate and thin-film encapsulation layer and manufacturing method thereof

Номер патента: US11380739B2. Автор: Kihyun Kim,Younggil PARK,Hyunsang SEO. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2022-07-05.

THIN FILM DEPOSITION APPARATUS AND THIN FILM DEPOSITION METHOD USING THE SAME

Номер патента: US20150056370A1. Автор: LEE Jae-Cheol. Владелец: Samsung Display Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-02-26.

Laser annealing apparatus, and fabrication methods of polycrystalline silicon thin film and thin film transistor

Номер патента: US10872767B2. Автор: Jingshuai WANG. Владелец: Ordos Yuansheng Optoelectronics Co Ltd. Дата публикации: 2020-12-22.

An integrated micro-inverter and thin film solar module and manufacturing process

Номер патента: WO2015022109A1. Автор: Markus Schmidt,Hans-Juergen Eickelmann,Ruediger Kellmann,Hartmut Kuehl. Владелец: IBM Deutschland GmbH. Дата публикации: 2015-02-19.

Thin film transistor, thin film transistor array, and thin film transistor production method

Номер патента: EP4181214A1. Автор: Noriaki Ikeda. Владелец: Toppan Inc. Дата публикации: 2023-05-17.

Laser annealing apparatus, and fabrication methods of polycrystalline silicon thin film and thin film transistor

Номер патента: US20180151360A1. Автор: Jingshuai WANG. Владелец: Ordos Yuansheng Optoelectronics Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-31.

Thin-film solar cell manufacturing method and thin-film solar cell

Номер патента: EP3226310A1. Автор: Wei Guo,LU Wang,Qingrong Ren. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-04.

Thin-film transistor, liquid crystal display panel, and thin-film transistor manufacturing method

Номер патента: US20180097117A1. Автор: Xiaobo Hu. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-04-05.

Electromechanical systems device with segmented electrodes and thin film transistors for increasing stable range

Номер патента: WO2017044236A1. Автор: Bing Wen,Edward Keat Leem Chan,Tallis Young CHANG. Владелец: QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.. Дата публикации: 2017-03-16.

Thin film transistor device, method of manufacturing the same, and thin film transistor substrate and display having the same

Номер патента: TW200403861A. Автор: Yoshio Kurosawa,Kazushige Hotta. Владелец: Fujitsu Display Tech. Дата публикации: 2004-03-01.

Process for the fabrication of thin-film device and thin-film device

Номер патента: TW200426431A. Автор: Akihiko Asano,Tomoatsu Kinoshita. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2004-12-01.

Process for the fabrication of thin-film device and thin-film device

Номер патента: TWI291572B. Автор: Akihiko Asano,Tomoatsu Kinoshita. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2007-12-21.

Display panel and thin film transistor array substrate

Номер патента: US10451945B2. Автор: Peng Du. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2019-10-22.

THIN FILM TRANSISTOR, METHOD OF MANUFACTURING THE THIN FILM TRANSISTOR AND THIN FILM TRANSISTOR, METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR AND FLAT PANEL DISPLAY HAVING THE THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20170092704A1. Автор: Khang Yoon-Ho,Park Sang-Ho,Na Hyun-Jae,KIM Dae-Ho,CHA Myoung-Geun. Владелец: . Дата публикации: 2017-03-30.

OXIDE SEMICONDUCTOR THIN FILM, PRODUCTION METHOD THEREOF, AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20150287830A1. Автор: Nakayama Tokuyuki. Владелец: . Дата публикации: 2015-10-08.

CROSSLINKED NANOPARTICLE THIN FILM, PREPARATION METHOD THEREOF, AND THIN FILM OPTOELECTRONIC DEVICE HAVING THE SAME

Номер патента: US20200313089A1. Автор: CHEN Song,YANG Yixing,Qian Lei,XIANG Chaoyu,Cao Weiran. Владелец: . Дата публикации: 2020-10-01.

CROSSLINKED NANOPARTICLE THIN FILM, PREPARATION METHOD THEREOF, AND THIN FILM OPTOELECTRONIC DEVICE HAVING THE SAME

Номер патента: US20220367812A1. Автор: CHEN Song,YANG Yixing,Qian Lei,XIANG Chaoyu,Cao Weiran. Владелец: . Дата публикации: 2022-11-17.

X-ray thin film inspection apparatus and thin film inspection apparatus and method for patterned wafer

Номер патента: US7258485B2. Автор: Asao Nakano,Takao Kinefuchi,Hiroshi Motono,Atsunori Kiku. Владелец: Rigaku Corp. Дата публикации: 2007-08-21.

A ceramic substrate for a thin film electronic component, manufacturing method thereof, and thin film electronic component using the same

Номер патента: DE102004048678A1. Автор: Seiji Nagoya Ichiyanagi,Jun Nagoya Otsuka,Manabu Nagoya Sato. Владелец: NGK Spark Plug Co Ltd. Дата публикации: 2005-06-30.

Display panel and manufacturing method thereof, and display device

Номер патента: US20190207039A1. Автор: Qi Yao,Feng Zhang,Zhiyong Liu,Shengguang Ban,Haixu Li,Zhanfeng CAO. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2019-07-04.

TRANSPARENT ELECTRODE FOR THIN FILM SOLAR CELL, SUBSTRATE HAVING TRANSPARENT ELECTRODE FOR THIN FILM SOLAR CELL AND THIN FILM SOLAR CELL USING SAME, AND PRODUCTION METHOD FOR TRANSPARENT ELECTRODE FOR THIN FILM SOLAR CELL

Номер патента: US20130118580A1. Автор: FUJIBAYASHI Takashi,Tawada Yuko. Владелец: KANEKA CORPORATION. Дата публикации: 2013-05-16.

METHOD FOR PRODUCING CIS-BASED THIN FILM, CIS-BASED THIN FILM PRODUCED BY THE METHOD AND THIN-FILM SOLAR CELL INCLUDING THE THIN FILM

Номер патента: US20140020736A1. Автор: Lee Doh-Kwon,KO Min Jae,KIM Hong Gon,Kim Jin Young,KIM Bong Soo,JEONG Da Woon. Владелец: KOREA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY. Дата публикации: 2014-01-23.

Method for manufacturing thin film transistor, and thin film transistor, including forming an organic light-emitting device

Номер патента: US10818704B2. Автор: Songshan LI. Владелец: Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-10-27.

Method for manufacturing thin film transistor, and thin film transistor

Номер патента: US20230317826A1. Автор: WEI Liu,Guangcai Yuan,Dongfang Wang,ce Ning,Hongda Sun,Fengjuan LIU,Yuhang LU. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-05.

Manufacturing method of thin film capacitor and thin film capacitor

Номер патента: US20190279823A1. Автор: Kenichi Yoshida,Kazuhiro Yoshikawa,Michihiro Kumagae,Norihiko Matsuzaka,Junki NAKAMOTO. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2019-09-12.

THIN FILM PIEZOELECTRIC ELEMENT, THIN FILM PIEZOELECTRIC ACTUATOR, AND THIN FILM PIEZOELECTRIC SENSOR; AND HARD DISK DRIVE, AND INKJET PRINTER

Номер патента: US20150207057A1. Автор: SAKUMA Hitoshi,MAEJIMA Kazuhiko. Владелец: . Дата публикации: 2015-07-23.

Prepared method of thin film transistor and thin film transistor driving back panel and thin film transistor driving back panel

Номер патента: CN103094205A. Автор: 王磊,周雷,李民,徐华,彭俊彪,徐苗,王琅,罗东向,庞佳威. Владелец: GUANGZHOU NEW VISION OPTOELECTRONIC CO Ltd. Дата публикации: 2013-05-08.

Manufacturing method for cigs thin film type absorber layer, manufacturing method for thin film solar cell using thereof and thin film solar cell

Номер патента: KR20200081939A. Автор: 조아라,박주형,조준식,김기환,안승규,정인영,유진수,곽지혜,안세진,윤재호,어영주,신동협. Владелец: 한국에너지기술연구원. Дата публикации: 2020-07-08.

OXIDE FOR SEMICONDUCTOR LAYER OF THIN-FILM TRANSISTOR, SEMICONDUCTOR LAYER OF THIN-FILM TRANSISTOR HAVING SAID OXIDE, AND THIN-FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20130341617A1. Автор: Kugimiya Toshihiro,Tao Hiroaki,Morita Shinya,Miki Aya,Yasuno Satoshi,Park Jae Woo,Lee Je Hun,Ahn Byung Du,Kim Gun Hee. Владелец: . Дата публикации: 2013-12-26.

METHOD FOR MANUFACTURING CONDUCTIVE POLYMER THIN FILM HAVING SEMICONDUCTOR CHARACTERISTIC AND THIN-FILM TRANSISTOR COMPRISING CONDUCTIVE POLYMER THIN FILM HAVING SEMICONDUCTOR CHARACTERISTIC

Номер патента: US20200212305A1. Автор: Kim Felix Sunjoo,Kim Dong Uk. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-02.

METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM SOLAR CELL, DEVICE FOR MANUFACTURING THIN FILM SOLAR CELL, AND THIN FILM SOLAR CELL INCLUDING BUFFER LAYER MANUFACTURED BY THE METHOD

Номер патента: US20140338751A1. Автор: Kim Hyun-Chul. Владелец: Samsung SDI Co., Ltd.. Дата публикации: 2014-11-20.

INK DROPLET VOLUME MEASURING APPARATUS AND INK DROPLET VOLUME MEASURING METHOD USING THE SAME, AND THIN FILM LAYER FORMING APPARATUS USING THE MEASURING APPARATUS, AND MANUFACTURING METHOD OF DISPLAY APPARATUS USING THE THIN FILM LAYER FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200395543A1. Автор: Han Jeongwon. Владелец: . Дата публикации: 2020-12-17.

Magnetoresistive thin film magnetic element, method of manufacturing the same, and thin film magnetic head including the magnetoresistive thin film magnetic element

Номер патента: JP3607850B2. Автор: 直也 長谷川. Владелец: Alps Electric Co Ltd. Дата публикации: 2005-01-05.

Sensor thin film transistor and thin film transistor substrate having the same, method for manufacturing thin film transistor substrate

Номер патента: KR101441429B1. Автор: 전형일,황태형,니클린. Владелец: 삼성디스플레이 주식회사. Дата публикации: 2014-09-18.

Method for manufacturing conducting polymer thin film having semiconducting property and thin film transistor including conducting polymer thin film having semiconducting property

Номер патента: KR101918851B1. Автор: 김동욱,김선주. Владелец: 중앙대학교 산학협력단. Дата публикации: 2018-11-14.

Processes for Producing Thin-Film Sensors, Thin-Film Sensors and Thin-Film Sensor Modules

Номер патента: US20100245030A1. Автор: Shinichi Inoue,Makoto Ikeda,Minoru Isshiki,Mitsuhiro Wada,Jae-Won Lim,Joon Woon Bae. Владелец: Tohoku University NUC. Дата публикации: 2010-09-30.

Process of making a thin-film photovoltaic device and thin-film photovoltaic device

Номер патента: WO2007071663A1. Автор: Volker Probst,Thomas Niesen. Владелец: Shell Erneuerbare Energien GmbH. Дата публикации: 2007-06-28.

Thin-film type solar cell and method of manufacturing the same, and thin-film type solar cell module and power generation system using the thin-film type solar cell

Номер патента: DE102009058794A1. Автор: Chang Kyun Seongnam-si Park,Hyung Dong Yongin-si Kang. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2011-03-17.

Thin-film transistor and thin-film transistor manufacturing method

Номер патента: US20130134429A1. Автор: Tatsuya Yamada. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2013-05-30.

Thin film capacitor having a dielectric layer having a through hole whose inner surface has first and second tapered surfaces, circuit board incorporating the same, and thin film capacitor manufacturing method

Номер патента: US11676767B2. Автор: Kazuhiro Yoshikawa,Tatsuo Namikawa,Hitoshi Saita,Akiyasu Iioka,Yuuki Aburakawa. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2023-06-13.

Thin Film Transistor Manufacturing Method and Thin Film Transistor

Номер патента: US20130015446A1. Автор: Chengming He,Shijian Qin. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2013-01-17.

Method for manufacturing light absorption layer of thin film solar cell and thin film solar cell using the same

Номер патента: US20170033258A1. Автор: Young Joo Eo,Ki Hwan Kim,Ara Cho,Jihye Gwak,Kyung Hoon YOON,Jae Ho Yun,Kee Shik Shin,Jun Sik Cho,Joo Hyung Park,Se Jin AHN,Seoung Kyu AHN,Jin Su You. Владелец: Korea Institute of Energy Research KIER. Дата публикации: 2017-02-02.

Composite metal oxide semiconductor and thin-film transistor made therefrom and its application

Номер патента: US11984510B2. Автор: Miao Xu,Lei Wang,HUA Xu,Junbiao Peng,Weifeng Chen,WEIJING Wu. Владелец: South China University of Technology SCUT. Дата публикации: 2024-05-14.

Thin film transistor, display device using the same, and thin film transistor manufacturing method

Номер патента: US20120018728A1. Автор: Eiichi Satoh. Владелец: Individual. Дата публикации: 2012-01-26.

Thin film capacitor, circuit board incorporating the same, and thin film capacitor manufacturing method

Номер патента: US20210272757A1. Автор: Kazuhiro Yoshikawa,Tatsuo Namikawa,Hitoshi Saita,Akiyasu Iioka,Yuuki Aburakawa. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2021-09-02.

Mother thin film transistor array substrate and thin film transistor array substrate fabricated therefrom

Номер патента: US20100308331A1. Автор: Tsau-Hua Hsieh,Charles Chien,Shang-Yu Huang. Владелец: Innolux Display Corp. Дата публикации: 2010-12-09.

Doped metal oxide semiconductor and thin-film transistor made therefrom and its application

Номер патента: US11894467B2. Автор: Miao Xu,Lei Wang,HUA Xu,Junbiao Peng,Weifeng Chen,WEIJING Wu. Владелец: South China University of Technology SCUT. Дата публикации: 2024-02-06.

Light detection device with integrated photodiode and thin film transistor

Номер патента: US09985061B2. Автор: Shigeyasu Mori,Tadayoshi Miyamoto,Kazuatsu Ito,Atsushi Tomyo,Kazuhide Tomiyasu. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2018-05-29.

LASER ANNEALING APPARATUS, AND FABRICATION METHODS OF POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILM AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20180151360A1. Автор: WANG Jingshuai. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-31.

METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR, METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY APPARATUS AND THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE

Номер патента: US20200358040A1. Автор: CHOI Seung-Ha,LEE Woo Geun,YOON Kap Soo,Kim Joongeol,Hong Jiyun,LEE Keum Hee. Владелец: . Дата публикации: 2020-11-12.

X-ray thin film inspection apparatus and thin film inspection apparatus and method for patterned wafer

Номер патента: US20060088139A1. Автор: Asao Nakano,Takao Kinefuchi,Hiroshi Motono,Atsunori Kiku. Владелец: Rigaku Corp. Дата публикации: 2006-04-27.

Thin-film forming apparatus, protective film forming apparatus for use in an organic electronic device and thin-film forming method of using it

Номер патента: KR101737057B1. Автор: 이재승,정태훈,구찬회,서문선. Владелец: 에이피시스템 주식회사. Дата публикации: 2017-05-18.

Coupling detector based on thick film and thin film integration and implementation method thereof

Номер патента: CN115598427B. Автор: 胡小龙,王韧. Владелец: Sichuan SIP Electronic Technology Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-14.

Oxide semiconductor, thin film transistor including the same and thin film transistor display panel including the same

Номер патента: US20120112181A1. Автор: Chang Jung Kim,Jae Woo Park,Je-Hun Lee,Byung-Du Ahn,Sang Wook Kim,Joo-Han Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2012-05-10.

Method for manufacturing thin film transistor and thin film transistor manufactured by the same, and active matrix substrate

Номер патента: US20130026462A1. Автор: Masahiko Suzuki,Tsuyoshi Inoue,Michiko Takei,Yoshimasa Chikama,Okifumi Nakagawa,Yoshifumi Ohta,Yuuji Mizuno,Yoshiyuki Harumoto. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2013-01-31.

OXIDE FOR SEMICONDUCTOR LAYER OF THIN-FILM TRANSISTOR, SPUTTERING TARGET, AND THIN-FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20130119324A1. Автор: Iwanari Yumi,Kugimiya Toshihiro,Morita Shinya,Miki Aya,Yasuno Satoshi,Park Jae Woo,Lee Je Hun,Ahn Byung Du. Владелец: . Дата публикации: 2013-05-16.

METHOD OF MANUFACTURING A THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE AND THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE MANUFACTURED BY THE SAME

Номер патента: US20130187155A1. Автор: Miyamoto Mitsunobu. Владелец: SHARP KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2013-07-25.

SEMICONDUCTOR THIN FILM, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20130221348A1. Автор: YANO Koki,INOUE Kazuyoshi,SHIMANE Yukio,SHIBUYA Tadao,YOSHINAKA Masahiro. Владелец: IDEMITSU KOSAN CO., LTD.. Дата публикации: 2013-08-29.

LAMINATE STRUCTURE INCLUDING OXIDE SEMICONDUCTOR THIN FILM LAYER, AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20130221351A1. Автор: YANO Koki,Ebata Kazuaki,Tomai Shigekazu,Matsuzaki Shigeo,TSURUMA Yuki. Владелец: . Дата публикации: 2013-08-29.

OXIDE FOR SEMICONDUCTOR LAYER OF THIN-FILM TRANSISTOR, SPUTTERING TARGET, AND THIN-FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20130240802A1. Автор: Kugimiya Toshihiro,Morita Shinya,Miki Aya,Yasuno Satoshi,Park Jae Woo,Lee Je Hun,Ahn Byung Du. Владелец: . Дата публикации: 2013-09-19.

OXIDE FOR SEMICONDUCTOR LAYER OF THIN-FILM TRANSISTOR, SPUTTERING TARGET, AND THIN-FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20130270109A1. Автор: Kugimiya Toshihiro,Morita Shinya,Miki Aya,Yasuno Satoshi,Kishi Tomoya. Владелец: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.). Дата публикации: 2013-10-17.

METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM CAPACITOR AND THIN FILM CAPACITOR OBTAINED BY THE SAME

Номер патента: US20130299943A1. Автор: Sakurai Hideaki,Guegan Guillaume,Watanabe Toshiaki,Soyama Nobuyuki. Владелец: . Дата публикации: 2013-11-14.

Method for fabricating thin-film semiconductor device and thin-film semiconductor device

Номер патента: US20140048807A1. Автор: Arinobu Kanegae,Kenichirou Nishida. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2014-02-20.

METHOD FOR FABRICATING THIN-FILM SEMICONDUCTOR DEVICE AND THIN-FILM SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20140048813A1. Автор: NISHIDA Kenichirou,KANEGAE Arinobu. Владелец: Panasonic Corporation. Дата публикации: 2014-02-20.

Method for Producing a Thin-Film Semiconductor Body and Thin-Film Semiconductor Body

Номер патента: US20140061694A1. Автор: Biebersdorf Andreas,Butendeich Rainer,Leirer Christian,Vogl Anton,Rumbolz Christian. Владелец: OSRAM Opto Semiconductors GmbH. Дата публикации: 2014-03-06.

Method for Manufacturing Thin-Film Transistor Active Device and Thin-Film Transistor Active Device Manufactured with Same

Номер патента: US20140084285A1. Автор: Chen Polin,Chiang Chenglung. Владелец: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.. Дата публикации: 2014-03-27.

THIN FILM TRANSISTOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AND THIN FILM TRANSISTOR ARRAY PANEL AND ELECTRONIC DEVICE

Номер патента: US20210013435A1. Автор: Kim Joo Young,PARK Jeong II,JUNG Jiyoung,SONG Byong Gwon. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.. Дата публикации: 2021-01-14.

THIN FILM TRANSISTOR AND THIN FILM TRANSISTOR ARRAY PANEL INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20150021591A1. Автор: Chung Bo-Yong,KIM Jung-bae,LEE Hae-Yeon,In Hai-Jung. Владелец: Samsung Display Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-01-22.

METHOD FOR MANUFACTURING LIGHT ABSORPTION LAYER OF THIN FILM SOLAR CELL AND THIN FILM SOLAR CELL USING THE SAME

Номер патента: US20170033258A1. Автор: Gwak Jihye,Cho Ara,Kim Ki Hwan,Yoon Kyung Hoon,Eo Young Joo,Ahn Se Jin,Ahn Seoung Kyu,Cho Jun Sik,Park Joo Hyung,You Jin Su,Yun Jae Ho,Shin Kee Shik. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-02.

METHOD FOR MANUFACTURING THIN-FILM TRANSISTOR ARRAY SUBSTRATE AND THIN-FILM TRANSISTOR ARRAY SUBSTRATE

Номер патента: US20200035709A1. Автор: XU Hongyuan,ZHU Maoxia. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-30.

THIN FILM TRANSISTOR, AND THIN FILM TRANSISTOR ARRAY PANEL AND ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20160049451A1. Автор: Hong Sang-Min,LIM Sea-Hee. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-18.

Method for Producing a Thin-Film Semiconductor Body and Thin-Film Semiconductor Body

Номер патента: US20160049550A1. Автор: Biebersdorf Andreas,Butendeich Rainer,Leirer Christian,Vogl Anton,Rumbolz Christian. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-18.

METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR, AND THIN FILM TRANSISTOR THEREOF

Номер патента: US20140131712A1. Автор: He Zongze. Владелец: . Дата публикации: 2014-05-15.

method for manufacturing thin-film solar modules, and thin-film solar modules which are obtainable according to this method

Номер патента: US20150068578A1. Автор: Volker Probst. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2015-03-12.

METHOD OF PRODUCING DISPLAY DEVICE, DISPLAY DEVICE, METHOD OF PRODUCING THIN-FILM TRANSISTOR SUBSTRATE, AND THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE

Номер патента: US20150076502A1. Автор: Sagawa Hiroshi,Toyomura Naobumi. Владелец: . Дата публикации: 2015-03-19.

THIN-FILM TRANSISTOR, LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL, AND THIN-FILM TRANSISTOR MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20180097117A1. Автор: HU Xiaobo. Владелец: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.. Дата публикации: 2018-04-05.

METHOD FOR PRODUCING A THIN FILM SOLAR CELL MODULE AND THIN FILM SOLAR CELL MODULE

Номер патента: US20180102451A1. Автор: Mathiasson Johan,MENDE Patrick,VOGL Markus,LUNDBERG Juhan,LUNDBERG Olle. Владелец: BEIJING APOLLO DING RONG SOLAR TECHNOLOGY CO. LTD.. Дата публикации: 2018-04-12.

MANUFACTURING METHOD OF THIN FILM TRANSISTOR ARRAY PANEL AND THIN FILM TRANSISTOR ARRAY PANEL

Номер патента: US20170104015A1. Автор: HWANG In Su,Lee Jong Chan,JEONG Woong Hee,BAE Joon-Hwa. Владелец: . Дата публикации: 2017-04-13.

Method for Manufacturing Thin-Film Transistor and Thin-Film Transistor Manufactured with Same

Номер патента: US20150137112A1. Автор: Cheng Yangling,Hsiao Hsiangchih. Владелец: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.. Дата публикации: 2015-05-21.

THIN-FILM TRANSISTOR DEVICE AND THIN-FILM TRANSISTOR DISPLAY APPARATUS

Номер патента: US20140217398A1. Автор: CHOU Cheng-Hsu,CHEN YU-CHUN,CHANG Ting-Chang,Chang Jung-Fang,Hsieh Tien-Yu. Владелец: . Дата публикации: 2014-08-07.

METHOD FOR MANUFACTURING THIN-FILM TRANSISTOR AND THIN-FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20190131322A1. Автор: Nishiki Hirohiko,ITO Kazuatsu. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-02.

CARBON NANOTUBE INTERLAYER, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND THIN FILM TRANSISTOR USING THE SAME

Номер патента: US20170141319A1. Автор: NOH Yong Young. Владелец: DONGGUK UNIVERSITY INDUSTRAY-ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION. Дата публикации: 2017-05-18.

ORGANIC SEMICONDUCTOR THIN FILM, AND THIN FILM TRANSISTOR AND ELECTRONIC DEVICE INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20200136070A1. Автор: Bao Zhenan,Xu Jie,YUN Youngjun. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-30.

THIN FILM TRANSISTOR AND THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE

Номер патента: US20160190341A1. Автор: Lee Chih-Lung,LIN HSIN-HUA,KAO YI-CHUN,Fang Kuo-Lung,SHIH PO-LI. Владелец: . Дата публикации: 2016-06-30.

METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM SOLAR CELL AND THIN FILM SOLAR CELL MANUFACTURED BY THE METHOD

Номер патента: US20140290730A1. Автор: Kim Hyun-Chul,CHA Si-Young,KIM Jeong-Hoon,Ahn Sang-Hyuck. Владелец: Samsung SDI Co., Ltd.. Дата публикации: 2014-10-02.

METHOD OF MANUFACTURING THIN-FILM TRANSISTOR, METHOD OF MANUFACTURING ORGANIC LIGHT-EMITTING DISPLAY DEVICE INCLUDING THE SAME, AND THIN-FILM TRANSISTOR AND ORGANIC LIGHT-EMITTING DISPLAY DEVICE MANUFACTURED USING THE METHODS

Номер патента: US20140312320A1. Автор: Yang Hui-Won,Choi Chaun-Gi. Владелец: Samsung Display Co., Ltd.. Дата публикации: 2014-10-23.

THIN FILM TRANSISTOR AND THIN FILM TRANSISTOR ARRAY

Номер патента: US20150243682A1. Автор: LI QUN-QING,JIN YUAN-HAO,FAN SHOU-SHAN. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-27.

THIN FILM CAPACITOR, CIRCUIT BOARD INCORPORATING THE SAME, AND THIN FILM CAPACITOR MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20210265116A1. Автор: Yoshikawa Kazuhiro,Namikawa Tatsuo,ABURAKAWA Yuuki,SAITA Hitoshi,MATSUTANI Atsuo,Iioka Akiyasu. Владелец: TDK Corporation. Дата публикации: 2021-08-26.

METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR, AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20170243891A1. Автор: Seo Jong Hyun. Владелец: Industry-University Cooperation Foundation Korea Aerospace University. Дата публикации: 2017-08-24.

ARRAY SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, DISPLAY DEVICE AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20160260843A1. Автор: Song Youngsuk,Choi Seungjin,Yoo Seongyeol,KIM Heecheol. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-08.

THIN FILM PACKAGE STRUCTURE AND THIN FILM PACKAGE METHOD OF ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY

Номер патента: US20200243785A1. Автор: Yin Xuebing. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-30.

OXIDE SEMICONDUCTOR THIN FILM AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20150279943A1. Автор: Nakayama Tokuyuki. Владелец: . Дата публикации: 2015-10-01.

METHOD FOR PRODUCING A THIN FILM SOLAR CELL MODULE AND THIN FILM SOLAR CELL MODULE

Номер патента: US20160276511A1. Автор: Mathiasson Johan,MENDE Patrick,VOGL Markus,LUNDBERG Juhan,LUNDBERG Olle. Владелец: BEIJING APOLLO DING RONG SOLAR TECHNOLOGY CO., LTD .. Дата публикации: 2016-09-22.

PIXEL CIRCUIT AND DRIVING METHOD THEREOF, AND THIN FILM TRANSISTOR BACKBOARD

Номер патента: US20150287360A1. Автор: Wu Zhongyuan,YIN Jingwen,Wang Lirong. Владелец: BOE Technology Group Co., Ltd.. Дата публикации: 2015-10-08.

OXIDE SEMICONDUCTOR, OXIDE SEMICONDUCTOR THIN FILM, AND THIN FILM TRANSISTOR INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20140374741A1. Автор: CHO Young-Mi,Kang Il-Joon. Владелец: Samsung Display Co., Ltd.. Дата публикации: 2014-12-25.

MANUFACTURING METHOD OF THIN-FILM TRANSISTOR ARRAY SUBSTRATE AND THIN-FILM TRANSISTOR ARRAY SUBSTRATE THEREOF

Номер патента: US20160300852A1. Автор: Chai Chongchul,Kim Sunghwan,Park Junhyun,Shin Kyoungju. Владелец: . Дата публикации: 2016-10-13.

METHOD FOR MANUFACTURING THIN-FILM SOLAR CELL AND THIN-FILM SOLAR CELL

Номер патента: US20160343893A1. Автор: Wang Lu,GUO Wei,REN Qingrong. Владелец: BOE Technology Group Co., Ltd.. Дата публикации: 2016-11-24.

MANUFACTURING METHOD OF THIN FILM TRANSISTOR AND THIN FILM TRANSISTOR , ARRAY SUBSTRATE

Номер патента: US20160351813A1. Автор: Liu Jing,Qiu Yun,Feng Xiang,Wei Xiangdong. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-01.

Thin film encapsulation structure and thin film encapsulation method

Номер патента: US20200343474A1. Автор: Rui Wang. Владелец: Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-10-29.

THIN FILM TRANSISTOR AND THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20160380064A1. Автор: Kim Sunghwan,Park Junhyun,Song Seyoung,Shin Kyoungju. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-29.

Manufacturing method of thin film solar cell and thin film solar cell

Номер патента: US20200381578A1. Автор: YUAN Li,Liang Yang,Yun Zhao,Bin SUI,Weicang Zhang,Wenjin Zhang. Владелец: Truwin Opto Electronics Ltd. Дата публикации: 2020-12-03.

METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR, AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20190386030A1. Автор: LI Songshan. Владелец: Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd.. Дата публикации: 2019-12-19.

Giant magneto-resistive effect element, magneto-resistive effect type head, thin-film magnetic memory and thin-film magnetic sensor

Номер патента: US20020172840A1. Автор: Shoji Terada,Atsushi Matsuzono,Hiroaki Ono. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2002-11-21.

Giant magneto-resistive effect element, magneto-resistive effect type head, thin-film magnetic memory and thin-film magnetic sensor

Номер патента: US6714390B2. Автор: Shoji Terada,Atsushi Matsuzono,Hiroaki Ono. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2004-03-30.

Manufacturing method of thin film solar cell light absorber with controlled selenium and sulfer ration and thin film solar cell comprising therof

Номер патента: KR101939114B1. Автор: 김대환,강진규,양기정,손대호. Владелец: 재단법인대구경북과학기술원. Дата публикации: 2019-01-17.

METAL WIRING, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND THIN FILM TRANSISTOR AND DISPLAY DEVICE USING THE METAL WIRING

Номер патента: JP4613271B2. Автор: 良弘 和泉,義雅 近間,敏 川島,貴治 橋本. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2011-01-12.

Manufacturing Method Of Thin Film Solar Cell And Thin Film Solar Cell By Same The Method

Номер патента: KR20200115740A. Автор: 김대환,강진규,김영일,양기정,손대호,김세윤,이상주,박시내,안광석,김삼미. Владелец: 재단법인대구경북과학기술원. Дата публикации: 2020-10-08.

Method for manufacturing interconnects in a thin film photovoltaic module and thin film photovoltaic module

Номер патента: EP2442361A3. Автор: Wilhelm Stein. Владелец: Wilhelm Stein. Дата публикации: 2017-05-03.

Photosensitive resin and thin film panel comprising pattern made of the photosensitive resin and method for manufacturing the thin film panel

Номер патента: KR101209049B1. Автор: 이희국,김규영,유코야코. Владелец: 스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤. Дата публикации: 2012-12-07.

Thin film device and thin film inductor

Номер патента: CN1967740A. Автор: 政井琢. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2007-05-23.

Method for producing a thin film solar cell module and thin film solar cell module

Номер патента: CN105830225A. Автор: 约翰·马蒂亚松,马库斯·福格尔,尤汉·伦德贝格,奥利·伦德贝格,帕特里克·蒙德. Владелец: APOLLO PREC KUNMING YUANHONG Ltd. Дата публикации: 2016-08-03.

The production method and thin film transistor base plate of thin film transistor base plate

Номер патента: CN110233156A. Автор: 卢马才. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2019-09-13.

Manufacturing methods of thin film solar cell and thin film solar cell module

Номер патента: US7939444B2. Автор: Seung-Yeop Myong,Boung-Kwon Lim. Владелец: KISCO Co. Дата публикации: 2011-05-10.

Method of manufacturing thin-film solar cell and thin-film solar cell

Номер патента: JP3360919B2. Автор: 浩昭 森川,智 有本,幹雄 出口,吉竜 川間,茂 三井,英郎 直本,哲 濱本,久雄 隈部. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2003-01-07.

Preparation method of thin film transistor and thin film transistor

Номер патента: CN113299559A. Автор: 袁广才,宁策,王东方,刘威,刘凤娟,孙宏达,卢昱行. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2021-08-24.

Method for fabricating thin film transistor and thin film transistor by thereof

Номер патента: KR101035661B1. Автор: 최성환,한민구. Владелец: 서울대학교산학협력단. Дата публикации: 2011-05-23.

Method for fabricating metal line and thin film transistor plate using the same, and thin film transistor plate fabricated by the same

Номер патента: KR20060128520A. Автор: 정창오,이제훈,배양호,조범석,닝홍롱. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2006-12-14.

Manufacturing method of thin film transistor substrate for liquid crystal display device using four masks and thin film transistor substrate for liquid crystal display device

Номер патента: KR100315914B1. Автор: 송준호. Владелец: 삼성전자 주식회사. Дата публикации: 2002-12-26.

Thin film transistor and thin film transistor array panel including the same

Номер патента: KR20150011219A. Автор: 김정배,정보용,인해정,이해연. Владелец: 삼성디스플레이 주식회사. Дата публикации: 2015-01-30.

Method for manufacturing and displaying thin film semiconductor device and thin film semiconductor device

Номер патента: KR960701481A. Автор: 마츠토시 미야사카,요지로 마츠에다,사토시 타케나카. Владелец: 야스가와 히데유키. Дата публикации: 1996-02-24.

Manufacturing method of thin film transistor substrate for liquid crystal display device using four masks and thin film transistor substrate for liquid crystal display device

Номер патента: KR100315922B1. Автор: 이창훈,이경남. Владелец: 삼성전자 주식회사. Дата публикации: 2002-12-26.

Manufacture of thin-film transistor and thin-film transistor

Номер патента: JPH118396A. Автор: Joachim Dr Glueck,グリュック ヨアヒム,Sascha Dr Henke,ヘンケ ザーシャ. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 1999-01-12.

Method for fabricating a thin film solar cell with diffusion barrier and Thin film solar cell produced by the same

Номер патента: KR101501742B1. Автор: 심재관,이철로. Владелец: 전북대학교산학협력단. Дата публикации: 2015-03-12.

Manufacturing method for thin film component sheets, substrates with built-in electronic components, and thin film component sheets

Номер патента: JP6756134B2. Автор: 仁 齊田. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2020-09-16.

Oxide insulator thin film and thin film transistor

Номер патента: CN108417620B. Автор: 彭俊彪,兰林锋,李育智. Владелец: South China University of Technology SCUT. Дата публикации: 2021-06-15.

Method for fabricating a thin film transistor and a substrate and thin film transistor manufactured using the same

Номер патента: US6265290B1. Автор: Kyu-Sun Moon,Byung-Hoo Jung. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2001-07-24.

METHOD FOR MANUFACTURING A THIN FILM TRANSISTOR, AND THIN FILM TRANSISTOR

Номер патента: FR2747234B1. Автор: Ki Hyun Lyu. Владелец: LG ELECTRONICS INC. Дата публикации: 2000-07-21.

Thin-film formation device and thin-film formation method

Номер патента: KR102081141B1. Автор: 겐지 미야모토,게이 나라,아키라 미야지,쇼헤이 고이즈미. Владелец: 가부시키가이샤 니콘. Дата публикации: 2020-02-25.

Preparation method and thin film transistor (TFT), the array substrate of thin film transistor (TFT)

Номер патента: CN104637823B. Автор: 刘静,邱云,冯翔,魏向东. Владелец: Ordos Yuansheng Optoelectronics Co Ltd. Дата публикации: 2019-07-16.

Method for producing thin film transistor, and thin film transistor and image display device

Номер патента: WO2011122205A1. Автор: 伊藤　学,典昭 池田,ちひろ 宮▲崎▼. Владелец: 凸版印刷株式会社. Дата публикации: 2011-10-06.

Semiconductor device, manufacturing method thereof, and thin film capacitor

Номер патента: JP3843708B2. Автор: 明信 渋谷,勇三 嶋田,新太郎 山道,透 森,隆雄 山崎. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2006-11-08.

Method for manufacturing thin-film transistor and thin-film transistor manufactured with same

Номер патента: US9171939B2. Автор: Yangling Cheng,Hsiangchih Hsiao. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2015-10-27.

Manufacturing method of thin film transistor and thin film transistor

Номер патента: KR101737034B1. Автор: 서종현,김홍식. Владелец: 한국항공대학교산학협력단. Дата публикации: 2017-05-17.

Method of manufacturing a thin film transistor and thin film transistor

Номер патента: DE4409366C2. Автор: Sa Kyun Rha,Youngil Cheon. Владелец: LG Semicon Co Ltd. Дата публикации: 2003-03-27.

The production method and thin film transistor (TFT) and display device of a kind of thin film transistor (TFT)

Номер патента: CN110098126A. Автор: 高鹏,唐辉,曾柯,王帅毅,李向峰. Владелец: Chengdu CEC Panda Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2019-08-06.

Method for producing a thin film solar battery module and thin film solar battery module

Номер патента: DE112009001168T5. Автор: Hiroto Chigasaki-shi Uchida,Yuko Chigasaki-shi Taguchi,Masashi Chigasaki-shi Ueda,Michihiro Chigasaki-shi Takayama. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2011-04-28.

Method for manufacturing thin film type solar cell, and thin film type solar cell made by the method

Номер патента: CN101772843A. Автор: 洪震,金宰湖,梁昶实. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2010-07-07.

Method for fabricating thin-film semiconductor device and thin-film semiconductor device

Номер патента: US9035385B2. Автор: Arinobu Kanegae,Kenichirou Nishida. Владелец: Joled Inc. Дата публикации: 2015-05-19.

Thin film transistor structure, and thin film transistor and display device provided with said structure

Номер патента: KR101510581B1. Автор: 도시히로 구기미야,제훈 이,병두 안,건희 김,다케아키 마에다,준호 송. Владелец: 가부시키가이샤 고베 세이코쇼. Дата публикации: 2015-04-08.

Manufacturing Method of Thin Film Transistor Board and Thin Film Transistor Liquid Crystal Display

Номер патента: KR100508057B1. Автор: 배병성. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2005-12-01.

Thin film transistor structure, and thin film transistor and display device provided with said structure

Номер патента: CN103493210A. Автор: 钉宫敏洋,前田刚彰. Владелец: Kobe Steel Ltd. Дата публикации: 2014-01-01.

Oxide semiconductor thin film and thin film transistor

Номер патента: JP5966840B2. Автор: 中山　徳行,徳行 中山. Владелец: SUMITOMO METAL MINING CO LTD. Дата публикации: 2016-08-10.

The production method of thin film transistor (TFT), display panel and thin film transistor (TFT)

Номер патента: CN108987470A. Автор: 王磊,李民,邹建华,彭俊彪,徐苗,陶洪. Владелец: South China University of Technology SCUT. Дата публикации: 2018-12-11.

Methods of manufacturing articles and thin film transistors comprising thin film transistors

Номер патента: KR960026961A. Автор: 도다바라푸르 아나드,에단 키츠 하워드,토르시 루사. Владелец: 유진 이. 패처. Дата публикации: 1996-07-22.

The preparation method of thin film transistor (TFT) and thin film transistor (TFT) with conductive isolated island

Номер патента: CN106601621B. Автор: 张建华,许云龙,陈龙龙,杨祥,李喜峰,姜姝,岳致富. Владелец: UNIVERSITY OF SHANGHAI FOR SCIENCE AND TECHNOLOGY. Дата публикации: 2019-04-12.

Preparation method of thin film transistor and thin film transistor

Номер патента: CN113488390A. Автор: 高冬子. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-10-08.

Thin film transistor and thin film transistor array

Номер патента: JP4629997B2. Автор: 英紀 友野,均 近藤,隆徳 田野,浩 藤村. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2011-02-09.

MATRIX SUBSTRATE AND THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY

Номер патента: FR2840106A1. Автор: Seung Kyu Choi,Kwang Soon Park,Chul Woo Im,Sang Moo Song,Cheol Min Woo. Владелец: LG Philips LCD Co Ltd. Дата публикации: 2003-11-28.

Pattern for Measuring the Ohmic Contact Resistor and Thin Film Transistor Substrate and Manufacturing Method Thereof Using the Same

Номер патента: KR101386284B1. Автор: 허승호. Владелец: 엘지디스플레이 주식회사. Дата публикации: 2014-04-17.

Thin-film transistor device and thin-film transistor display apparatus

Номер патента: TWI621270B. Автор: 周政旭,張榮芳,張鼎張,陳禹鈞,謝天宇. Владелец: 群創光電股份有限公司. Дата публикации: 2018-04-11.

A thin film transistor and method for manufacturing thereof and a device for manufacturing liquid crystal display and thin film

Номер патента: KR100327445B1. Автор: 채기성. Владелец: 구본준, 론 위라하디락사. Дата публикации: 2002-03-13.

Thin-film transistor, method of manufacturing thereof and thin-film transistor LCD

Номер патента: CN1319177C. Автор: 田中宏典,筒博司. Владелец: Matsushita Electric Industrial Co Ltd. Дата публикации: 2007-05-30.

Thin film transistor and thin film transistor substrate including the same

Номер патента: US9799740B2. Автор: Sunghwan Kim,Junhyun Park,Kyoungju Shin,SeYoung SONG. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-24.

Single wafer type low pressure chemical vapor deposition apparatus

Номер патента: KR0144799B1. Автор: 황철주. Владелец: 황철주. Дата публикации: 1998-08-17.

Low Pressure Chemical Vapor Deposition System with Plasma

Номер патента: KR960026137A. Автор: 황철주. Владелец: 황철주. Дата публикации: 1996-07-22.

Inspection or observation apparatus and sample inspection or observation method

Номер патента: US20150083908A1. Автор: Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi,Sukehiro Ito,Tomohisa Ohtaki,Mami Konomi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-03-26.

Thin film battery module, thin film battery package, thin film battery package manufacturing device, and thin film battery package manufacturing method

Номер патента: US09728754B2. Автор: Yong Yeon Kim,San Moo Kwon,Soo Tae Choi,Eun Hang Cho,Eun Jong Hwang,Sung Gyu Bang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-08-08.

Beta-phase tantalum thin-film resistor and thin-film magnetic head with the resistor

Номер патента: US20070127161A1. Автор: Masashi Sano,Norio Kiuchi,Kento Edakawa,Nobuyoshi Morizumi. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2007-06-07.

Method for forming positive electrode for thin film lithium-ion rechargeable battery, positive electrode for thin film lithium-ion rechargeable battery, and thin film lithium-ion rechargeable battery

Номер патента: US20170077493A1. Автор: Akiyoshi Suzuki,Shunsuke Sasaki,Masaki Tsushima,Kazutoshi Takahashi,Takehito Jinbo. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2017-03-16.

Soft magnetic thin film and thin film magnetic head using the same

Номер патента: US20030003325A1. Автор: Atsushi Yamaguchi,Tetsuya Mino,Seiji Yari. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2003-01-02.

Structural element having thin film solar cells and thin film antenna elements

Номер патента: EP4452760A2. Автор: Gregory Thane Wyler. Владелец: Wildstar LLC. Дата публикации: 2024-10-30.

Spin valve thin film magnetic element, manufacturing method thereof, and thin film magnetic head including the spin valve thin film magnetic element

Номер патента: JP3657487B2. Автор: 直也 長谷川,芳彦 柿原,賢治 本田. Владелец: Alps Electric Co Ltd. Дата публикации: 2005-06-08.

Thin film battery module, thin film battery package, thin film battery package manufacturing device, and thin film battery package manufacturing method

Номер патента: US20140370364A1. Автор: Yong Yeon Kim,San Moo Kwon,Soo Tae Choi,Eun Hang Cho,Eun Jong Hwang,Sung Gyu Bang. Владелец: GS Energy Corp. Дата публикации: 2014-12-18.

Manufacturing method of thin-film power inductor and thin-film power inductor

Номер патента: US11990273B2. Автор: Quan Zhu,Gan LIU,Leijie Wang,Yangdong YU. Владелец: Hengdian Group DMEGC Magnetics Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-21.

Thin film battery module, thin film battery package, thin film battery package manufacturing device, and thin film battery package manufacturing method

Номер патента: US20140370364A1. Автор: Yong Yeon Kim,San Moo Kwon,Soo Tae Choi,Eun Hang Cho,Eun Jong Hwang,Sung Gyu Bang. Владелец: GS Energy Corp. Дата публикации: 2014-12-18.

Structural element having thin film solar cells and thin film antenna elements

Номер патента: WO2023122350A3. Автор: Gregory Thane Wyler. Владелец: WildStar, LLC. Дата публикации: 2023-07-27.

DIELECTRIC THIN FILM, DIELECTRIC THIN FILM ELEMENT AND THIN FILM CAPACITOR

Номер патента: US20140036410A1. Автор: Sasaki Takayoshi,Osada Minoru,Okamatsu Toshihiro. Владелец: . Дата публикации: 2014-02-06.

COMPOSITION FOR FORMING FERROELECTRIC THIN FILM, METHOD FOR FORMING THIN FILM AND THIN FILM FORMED USING THE SAME METHOD

Номер патента: US20140072819A1. Автор: Sakurai Hideaki,Soyama Nobuyuki,Fujii Jun. Владелец: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION. Дата публикации: 2014-03-13.

METHOD FOR FORMING POSITIVE ELECTRODE FOR THIN FILM LITHIUM-ION RECHARGEABLE BATTERY, POSITIVE ELECTRODE FOR THIN FILM LITHIUM-ION RECHARGEABLE BATTERY, AND THIN FILM LITHIUM-ION RECHARGEABLE BATTERY

Номер патента: US20170077493A1. Автор: Sasaki Shunsuke,JINBO Takehito,Takahashi Kazutoshi,Suzuki Akiyoshi,TSUSHIMA Masaki. Владелец: . Дата публикации: 2017-03-16.

MASKING DEVICE FOR USE IN A LITHIUM DEPOSITION PROCESS IN THE MANUFACTURING OF THIN FILM BATTERIES, APPARATUS CONFIGURED FOR A LITHIUM DEPOSITION PROCESS, METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRODES OF THIN FILM BATTERIES, AND THIN FILM BATTERY

Номер патента: US20180351164A1. Автор: KELLER Stefan,DIEGUEZ-CAMPO Jose Manuel,ZILBAUER Thomas Werner,HELLMICH Anke,JOST Georg. Владелец: . Дата публикации: 2018-12-06.

Spin valve thin film element and thin film magnetic head using the spin valve thin film element

Номер патента: JP3854107B2. Автор: 直也 長谷川,正路 斎藤. Владелец: Alps Electric Co Ltd. Дата публикации: 2006-12-06.

Spin valve thin film magnetic element and thin film magnetic head provided with the spin valve thin film magnetic element

Номер патента: JP3859959B2. Автор: 直也 長谷川. Владелец: Alps Electric Co Ltd. Дата публикации: 2006-12-20.

Spin valve thin film magnetic element and thin film magnetic head provided with the spin valve thin film magnetic element

Номер патента: JP3859960B2. Автор: 直也 長谷川. Владелец: Alps Electric Co Ltd. Дата публикации: 2006-12-20.

THIN FILM FORMING APPARATUS AND THIN FILM FORMING METHOD USING THE SAME

Номер патента: US20140131311A1. Автор: Cha You-Min,Joo Sung-Joong. Владелец: . Дата публикации: 2014-05-15.

Thin film forming apparatus and thin film forming method using the same

Номер патента: TWI602240B. Автор: 朱星中,車裕敏. Владелец: 三星顯示器有限公司. Дата публикации: 2017-10-11.

METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM CAPACITOR AND THIN FILM CAPACITOR

Номер патента: US20130071554A1. Автор: YANO Yoshihiko,OIKAWA Yasunobu. Владелец: TDK Corporation. Дата публикации: 2013-03-21.

METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM CAPACITOR AND THIN FILM CAPACITOR

Номер патента: US20130071555A1. Автор: YANO Yoshihiko,OIKAWA Yasunobu. Владелец: TDK Corporation. Дата публикации: 2013-03-21.

METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM CAPACITOR AND THIN FILM CAPACITOR

Номер патента: US20130128410A1. Автор: YANO Yoshihiko,OIKAWA Yasunobu. Владелец: TDK Corporation. Дата публикации: 2013-05-23.

METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM LITHIUM-ION RECHARGEABLE BATTERY, AND THIN FILM LITHIUM-ION RECHARGEABLE BATTERY

Номер патента: US20140011067A1. Автор: Baba Mamoru,Ye Rongbin,Kikuchi Masashi. Владелец: Mamoru Baba. Дата публикации: 2014-01-09.

THIN-FILM DIELECTRIC AND THIN-FILM CAPACITOR ELEMENT

Номер патента: US20160027587A1. Автор: Furukawa Masahito,TAKEDA Saori,KOSUDA Masanori. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-28.

METHOD OF FABRICATING CATHODE FOR THIN FILM BATTERY USING LASER, CATHODE FABRICATED THEREBY, AND THIN FILM BATTERY INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20160133917A1. Автор: Yoon Seok Jin,KIM Jin Sang,KANG Chong Yun,Choi Ji-won,Baek Seung Hyub,KIM Seong Keun,KWON Beomjin,YIM Haena. Владелец: KOREA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY. Дата публикации: 2016-05-12.

THIN FILM CAPACITOR, CIRCUIT BOARD INCORPORATING THE SAME, AND THIN FILM CAPACITOR MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20210257164A1. Автор: Tomikawa Mitsuhiro,HIRAOKA Masahiro,SAITA Hitoshi. Владелец: TDK Corporation. Дата публикации: 2021-08-19.

MANUFACTURING METHOD OF THIN FILM CAPACITOR AND THIN FILM CAPACITOR

Номер патента: US20190279823A1. Автор: Yoshida Kenichi,Yoshikawa Kazuhiro,KUMAGAE Michihiro,NAKAMOTO Junki,MATSUZAKA Norihiko. Владелец: TDK Corporation. Дата публикации: 2019-09-12.

Soft magnetic thin film and thin film magnetic element using the same

Номер патента: US5750273A. Автор: Hiroshi Tomita,Tetsuo Inoue,Tetsuhiko Mizoguchi,Hiromi Fuke. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1998-05-12.

Thin film inductor processing technology and thin film inductor

Номер патента: CN113539652A. Автор: 高涛,邹松青,彭美华,林素娟. Владелец: Hotland Electronics Shenzhen Co ltd. Дата публикации: 2021-10-22.

Manufacturing process of thin film inductor and thin film inductor

Номер патента: CN110265214B. Автор: 曹亮,王建国,郝涛,梁文海,夏后雨,曾国书,李宗超,黄国原. Владелец: Xiangsheng Technology Xiamen Co ltd. Дата публикации: 2021-04-13.

Spin-valve thin film magnetic element and thin film magnetic head

Номер патента: US20020196590A1. Автор: Naoya Hasegawa,Yosuke Ide,Masamichi Saito,Kenichi Tanaka. Владелец: Alps Electric Co Ltd. Дата публикации: 2002-12-26.

GRAPHENE SYNTHESIS BY SUPPRESSING EVAPORATIVE SUBSTRATE LOSS DURING LOW PRESSURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

Номер патента: US20150050482A1. Автор: Ruoff Rodney S.,Chen Shanshan. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-19.

Processing method for prolonging service life of quartz product for LPCVD (low pressure chemical vapor deposition) process

Номер патента: CN113213736A. Автор: 步东浩. Владелец: Shenyang Diande Technology Co ltd. Дата публикации: 2021-08-06.

Method for producing thin film having high refractive index and high transparency, and thin film produced by the method

Номер патента: US09845394B2. Автор: Koji Mitamura,Manabu Hirata,Kimihiro Matsukawa,Seiji WATASE. Владелец: Daihachi Chemical Industry Co Ltd. Дата публикации: 2017-12-19.

THIN FILM DEPOSITION APPARATUS AND THIN FILM DEPOSITION METHOD USING ELECTRIC FIELD

Номер патента: US20150329984A1. Автор: CHOI Kyoung-hwan,Heo Jin S.,Heller Michael J.,Song Young-jun,Kim Se-Jung,PARK Hwi-yeol,CHO Kyung-hoon. Владелец: . Дата публикации: 2015-11-19.

Metal film and metal film-coated member, metal oxide film and metal oxide film-coated member, thin film forming apparatus and thin film forming method for producing metal film and metal oxide film

Номер патента: USRE41747E1. Автор: Kazuya Shimizu,Takahiro Okura,Masakazu Takei. Владелец: Kyocera Optec Co Ltd. Дата публикации: 2010-09-21.

Polymer compound, precursor for the same and thin film-forming method using the same polymer precursor

Номер патента: US6949618B2. Автор: Takashi Kato. Владелец: Chisso Corp. Дата публикации: 2005-09-27.

Polymer compound, precursor for the same and thin film-forming method using the same polymer precursor

Номер патента: US7087311B2. Автор: Takashi Kato. Владелец: Chisso Corp. Дата публикации: 2006-08-08.

Novel polymer compound, precursor for the same and thin film-forming method using the same polymer precursor

Номер патента: US20060019109A1. Автор: Takashi Kato. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-01-26.

Etch cutting method of thin film glass and thin film glass manufactured by the manufacturing method thereof

Номер патента: KR102304985B1. Автор: 김슬기,이승준,이형섭,구본기. Владелец: 주식회사 도우인시스. Дата публикации: 2021-09-24.

Copolymeric and amphiphilic polyimide precursor, process for preparing the same and thin film

Номер патента: US4987219A. Автор: Hiroshi Awaji,Masakazu Uekita. Владелец: Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd. Дата публикации: 1991-01-22.

Copolymeric and amphiphilic polyimide precursor, process for preparing the same and thin film

Номер патента: CA1294731C. Автор: Hiroshi Awaji,Masakazu Uekita. Владелец: Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd. Дата публикации: 1992-01-21.

Ligand, nanoparticle, and thin film with the same

Номер патента: US20210040389A1. Автор: Swadesh Kumar Gupta,Abhishek Kumar Srivastava,Valerii Vladimirovich Vashchenko,Maksym Fedorovich Prodanov,Chengbin Kang,Maksym Diakov. Владелец: Hong Kong University of Science and Technology HKUST. Дата публикации: 2021-02-11.

Coating composition and thin film layer for optical parts

Номер патента: US20010003621A1. Автор: Hiroshi Ohta,Jian Jiang. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-06-14.

PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF THIN PEELABLE PROTECTIVE FILMS BY SPRAYING A LIQUEFIED THERMOPLASTIC SUBSTANCE AND THIN FILM OF PEELABLE FILM MANUFACTURED THEREBY

Номер патента: FR2496680A1. Автор: . Владелец: Heibey Friedrich. Дата публикации: 1982-06-25.

Electrode material for forming stamper and thin film for forming stamper

Номер патента: US6344275B2. Автор: Takashi Ueno,Tetsuya Iida,Masahiro Katsumura. Владелец: Furuya Metal Co Ltd. Дата публикации: 2002-02-05.

BLOCK COPOLYMER, PREPARATION METHOD THEREOF, AND THIN FILM STRUCTURE COMPRISING THE SAME

Номер патента: US20210198474A1. Автор: Chen Yi-Chun,Hsu Meei-Yu,CHEN Kai-Chi. Владелец: INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE. Дата публикации: 2021-07-01.

METHOD FOR PRODUCING THIN FILM HAVING HIGH REFRACTIVE INDEX AND HIGH TRANSPARENCY, AND THIN FILM PRODUCED BY THE METHOD

Номер патента: US20160200913A1. Автор: Matsukawa Kimihiro,Watase Seiji,Hirata Manabu,MITAMURA Koji. Владелец: . Дата публикации: 2016-07-14.

POLY(AMIDE-IMIDE) COPOLYMER, COMPOSITION FOR THIN FILM AND THIN FILM

Номер патента: US20200392290A1. Автор: Chen Guan-Ping,Kao Min-Tzu,Lin Dian-Cing. Владелец: DAXIN MATERIALS CORPORATION. Дата публикации: 2020-12-17.

Method for preparing thin film nanocomposite membrane for the reverse osmosis deposited 1D nano material and thin film nanocomposite membrane prepared thereby

Номер патента: KR102058631B1. Автор: 정재원,오지연,김상현,박호범,김선규,이태훈,박미란,김주효,노선민,하광우. Владелец: 현대건설 주식회사. Дата публикации: 2019-12-23.

Method for manufacturing thin film comprising mixed block copolymer, method for manufacturing template comprising mixed block copolymer, and thin film and template mixed block copolymer

Номер патента: KR101412228B1. Автор: 김주영,신동옥,김상욱,김봉훈. Владелец: 한국과학기술원. Дата публикации: 2014-07-02.

Dielectric thin film and thin film transistor using the same

Номер патента: KR100799498B1. Автор: 김일두,홍재민. Владелец: 한국과학기술연구원. Дата публикации: 2008-01-31.

Method for manufacturing free standing thin film and thin film manufactured by the method

Номер патента: KR101468202B1. Автор: 김영록,임민철. Владелец: 경희대학교 산학협력단. Дата публикации: 2014-12-01.

Poly(amide-imide) copolymer, composition for thin film and thin film

Номер патента: TWI708795B. Автор: 陳冠萍,林典慶,高敏慈. Владелец: 達興材料股份有限公司. Дата публикации: 2020-11-01.

Perovskite-type titanium-containing composite oxide particles, sol and production method thereof, and thin film

Номер патента: JP3980272B2. Автор: 将弘 大森,昭彦 小寺. Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2007-09-26.

Ink droplet volume measuring apparatus and ink droplet volume measuring method using the same, and thin film layer forming apparatus using the measuring apparatus, and manufacturing method of display apparatus using the thin film layer forming apparatus

Номер патента: US20240251648A1. Автор: Jeongwon HAN. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-25.

Thin film measuring apparatus and thin film measuring method

Номер патента: US20180135959A1. Автор: Cheng-Chi Tai,Chien-Chang Chen. Владелец: METAL INDUSTRIES RESEARCH AND DEVELOPMENT CENTRE. Дата публикации: 2018-05-17.

Manufacturing method of magnetoresistive effect element, manufacturing method of thin-film magnetic head and thin-film magnetic head

Номер патента: US20070279801A1. Автор: Takeo Kagami,Naoki Ohta. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2007-12-06.

Automatic Thin Film Peeling Machine and Thin Film Peeling Method Thereof

Номер патента: US20180295727A1. Автор: Chang Ching-Chih. Владелец: . Дата публикации: 2018-10-11.

Production method of crystalline organic semiconductor thin film, organic semiconductor thin film, electronic device, and thin film transistor

Номер патента: US20070243658A1. Автор: Katsura Hirai,Reiko Obuchi. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2007-10-18.

Method for producing crystalline organic semiconductor thin film, organic semiconductor thin film, electronic device and thin film transistor

Номер патента: JPWO2007119703A1. Автор: 桂 平井,平井　桂,礼子 杉崎. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2009-08-27.

Thin film measuring apparatus and thin film measuring method

Номер патента: US20180135959A1. Автор: Cheng-Chi Tai,Chien-Chang Chen. Владелец: METAL INDUSTRIES RESEARCH AND DEVELOPMENT CENTRE. Дата публикации: 2018-05-17.

Method for Manufacturing Thin Film Transistor, and Thin Film Transistor

Номер патента: US20120007092A1. Автор: Jun Yamada. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2012-01-12.

Alkylsilane laminate, production method thereof and thin-film transistor

Номер патента: US20120080679A1. Автор: Takashi Kushida,Hiroyoshi Naito. Владелец: Teijin Ltd. Дата публикации: 2012-04-05.

Light emitting device and method of manufacturing method thereof and thin film forming apparatus

Номер патента: US7744949B2. Автор: Hiroko Yamazaki,Toshimitsu Konuma. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2010-06-29.

Organic thin film transistor and method for fabricating thereof and thin film transistor array substrate and method for fabricating thereof using the same

Номер патента: KR101267067B1. Автор: 김창연,최낙봉. Владелец: 엘지디스플레이 주식회사. Дата публикации: 2013-05-23.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JPWO2013105534A1. Автор: 達也 廣瀬,一良 工藤,廣瀬　達也,蔵方　慎一,慎一 蔵方,工藤　一良,正昭 栗山. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2015-05-11.

Thin-film piezoelectric resonator and thin-film piezoelectric filter using the same

Номер патента: US8854156B2. Автор: Hiroshi Tsuchiya,Kensuke Tanaka,Kazuki Iwashita,Takuya Maruyama. Владелец: UBE Industries Ltd. Дата публикации: 2014-10-07.

The production method of thin-film packing structure, display device and thin-film packing structure

Номер патента: CN110459575A. Автор: 董超,孙中元,薛金祥,刘文祺,罗程远. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2019-11-15.

Thin film forming device and thin film forming method

Номер патента: WO2007108364A1. Автор: Yoshiie Matsumoto. Владелец: LAN TECHNICAL SERVICE CO., LTD.. Дата публикации: 2007-09-27.

Thin-film packing structure, flexible display panels and thin-film packing structure production method

Номер патента: CN108269827A. Автор: 刘金强,敖伟,罗志忠,周斯然,刘玉成,闵超. Владелец: Kunshan New Flat Panel Display Technology Center Co Ltd. Дата публикации: 2018-07-10.

Method for manufacturing thin film electroluminescent display using shadow mask, shadow mask and thin film electroluminescent display

Номер патента: KR19980087101A. Автор: 이시이 이꾸꼬,오오쯔끼 시게요시. Владелец: 닛본 덴기 가부시끼가이샤. Дата публикации: 1998-12-05.

Preparation method of single layer hexagonal boron nitride using low-pressure chemical vapor deposition method

Номер патента: KR20140115868A. Автор: 신현석. Владелец: 국립대학법인 울산과학기술대학교 산학협력단. Дата публикации: 2014-10-01.

Tail row structure and LPCVD (low pressure chemical vapor deposition) equipment with same

Номер патента: CN216556501U. Автор: 张勇,李锐,罗伟斌,李美诗. Владелец: Shenzhen Headquarter SC New Energy Technology Corp. Дата публикации: 2022-05-17.

Touch display apparatus having multiplexing function of data lines and driving method thereof

Номер патента: US09851851B2. Автор: Jiayang ZHAO. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2017-12-26.

Method of synthesizing carbon nanotubes using low pressure chemical vapor deposition

Номер патента: KR100372333B1. Автор: 유재은,이철진. Владелец: 이철진. Дата публикации: 2003-02-17.

Massive synthesis of carbon nanotubes using low pressure chemical vapor deposition.

Номер патента: KR19990073589A. Автор: 이철진. Владелец: 이철진. Дата публикации: 1999-10-05.

Manufacturing method of thin-film magnetic head, wafer for thin-film magnetic head and thin-film magnetic head

Номер патента: US8098462B2. Автор: Yoshiaki Tanaka,Yuji Otsubo,Tetsuya Hiraki,Sohei Horiuchi. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2012-01-17.

Manufacturing method of thin-film magnetic head, wafer for thin-film magnetic head and thin-film magnetic head

Номер патента: US20100321822A1. Автор: Yoshiaki Tanaka,Yuji Otsubo,Tetsuya Hiraki,Sohei Horiuchi. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2010-12-23.

Ultraviolet ray mask and manufacturing method thereof

Номер патента: US20210080821A1. Автор: Wanchun WU. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-03-18.

Color filter plate and thin film transistor plate for liquid crystal display, and methods for fabricating the plates

Номер патента: US20030043318A1. Автор: Dong-Gyu Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2003-03-06.

Polishing method of soft magnetic layer in thin-film magnetic head, manufacturing method of thin-film magnetic head and thin-film magnetic head

Номер патента: US20070230064A1. Автор: Hiroshi Kamiyama,Hiroshi Yamazaki,Makoto Hasegawa,Atsuhiro Nonaka,Teruhisa Shindo,Kazukiko Maejima. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2007-10-04.

Magnetic film, manufacturing method thereof and thin film magnetic head

Номер патента: US7842408B2. Автор: Kazue Kudo,Noriyuki Saiki,Gen Oikawa,Yohji Maruyama,Hiromi Shiina. Владелец: Hitachi Global Storage Technologies Netherlands BV. Дата публикации: 2010-11-30.

Apparatus and thin film magnetic head with magnetic membrane layers of different resistivity

Номер патента: US6034847A. Автор: Atsushi Nakamura,Tomohiro Okada,Hiroshi Fukui,Takashi Kawabe,Noboru Shimizu,Moriaki Fuyama,Katsumi Hoshino,Masaaki Sano,Noboru Yoshida,Matahiro Komuro,Yohji Maruyama,Miki Hara. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2000-03-07.

Thin film application device and thin film forming method

Номер патента: US20190200732A1. Автор: Masayo SHINODA,Takashi Shiga,Kazuma Tsujita,Hiroshi Kanemaru. Владелец: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd. Дата публикации: 2019-07-04.

Thin-film magnetic head and method of manufacturing same and thin-film magnetic head sub-structure and method of manufacturing same

Номер патента: US20010042302A1. Автор: Yoshitaka Sasaki. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2001-11-22.

Pixle structure and thin film transistor array and repairing method thereof

Номер патента: TW200615611A. Автор: Han-Chung Lai. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2006-05-16.

Dispensing unit for a thin film dispenser and thin film dispenser having the same

Номер патента: MY161147A. Автор: WU Chien-Lung. Владелец: SDI Corp. Дата публикации: 2017-04-14.

Microscope objective adapter for testing semiconductors and thin film materials

Номер патента: WO2023192725A1. Автор: Pardeep Kumar,Kwame Amponsah,Mehmet OZDOGAN,Clive A. D'SOUZA. Владелец: Xallent Inc.. Дата публикации: 2023-10-05.

Display panel and thin film transistor array substrate

Номер патента: US20160334677A1. Автор: Xinhui Zhong,Yungjui LEE. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2016-11-17.

Blasting method and apparatus having abrasive recovery system, processing method of thin-film solar cell panel, and thin-film solar cell panel processed by the method

Номер патента: TW201016390A. Автор: Keiji Mase,Sigeru Fujinori. Владелец: Fuji Mfg Co Ltd. Дата публикации: 2010-05-01.

Magnetic recording method using ferromagnetic resonance and thin-film magnetic head for using the method

Номер патента: US7920357B2. Автор: Tetsuya Roppongi,Yuichi Watabe,Norikazu Ota,Isamu Sato,Hiroshi Ikeda,Mikio Matsuzaki. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2011-04-05.

Optical fiber with bragg grating and thin film coating and connector

Номер патента: EP3320382A1. Автор: DING Wang,Raman K. Selli. Владелец: 3M Innovative Properties Co. Дата публикации: 2018-05-16.

Dispensing unit for a thin film dispenser and thin film dispenser having the same

Номер патента: MY168349A. Автор: WU Chien-Lung. Владелец: SDI Corp. Дата публикации: 2018-10-31.

Method for manufacturing thin film, and thin film

Номер патента: US20030099778A1. Автор: Ville Voipio. Владелец: JANESKO Oy. Дата публикации: 2003-05-29.

Method of manufacturing a thin-film magnetic head, thin-film magnetic head manufacturing apparatus, and thin-film magnetic head manufacturing system

Номер патента: US7892442B2. Автор: Eiji Yamada,Hiroo SAWADA,Jun Shouji,Mitsuhiro Kitao. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2011-02-22.

Thin film device having thin film elements and thin film pattern formed on thin film elements, fingerprint detecting device and method of fabricating the same

Номер патента: TW200814383A. Автор: Yasuo Koshizuka. Владелец: Casio Computer Co Ltd. Дата публикации: 2008-03-16.

Thin film device having thin film elements and thin film pattern formed on thin film elements, fingerprint detecting device and method of fabricating the same

Номер патента: TWI345325B. Автор: Yasuo Koshizuka. Владелец: Casio Computer Co Ltd. Дата публикации: 2011-07-11.

Multilayered magnetic films and thin-film magnetic heads using the same as a pole

Номер патента: US4814921A. Автор: Yoshihiro Hamakawa,Yoshihiro Shiroishi,Kazuo Shiiki,Eijin Moriwaki,Shigekazu Otomo,Noriyuki Kumasaka,Isamu Yuitoo,Hitoshi Numasaka. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1989-03-21.

Metallizable sealable biaxial-oriented multilayer thin-film, manufacture thereof and thin-film for packaging containing said thin-film

Номер патента: JPS63254036A. Автор: グンター・シュレーグル,ロタール・ボーテ,ギユンター・クラス,トーマス・ヴイルヘルム. Владелец: Hoechst AG. Дата публикации: 1988-10-20.

Process for fabricating thin film solar cell, thin film solar cell, and thin film solar cell module

Номер патента: JP2004253473A. Автор: Hitoshi Sannomiya,仁 三宮. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2004-09-09.

Patterning method of transparent conductivity film and thin film transistor substrate for display device using the same and fabricating method thereof

Номер патента: KR100538326B1. Автор: 안병철. Владелец: 엘지.필립스 엘시디 주식회사. Дата публикации: 2005-12-22.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: KR101395157B1. Автор: 히데아키 야마모토,히데오 나카무라,요시노리 도쿠야스,나오키 와타세,준이치 마츠이. Владелец: 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼. Дата публикации: 2014-05-15.

Materials and methods for low pressure chemical-mechanical planarization

Номер патента: US6918821B2. Автор: Sudhakar Balijepalli,Dale J. Aldrich,Laura A. Grier,Michael E. Mills. Владелец: Dow Global Technologies LLC. Дата публикации: 2005-07-19.

Miniature spectrum measuring device and thin film filter

Номер патента: US20230092614A1. Автор: Rui-Tao Zheng. Владелец: Lite On Singapore Pte Ltd. Дата публикации: 2023-03-23.

Method of topographical and electrical nanostructuration of a thin film of electret polymer and thin film of electret polymer obtained

Номер патента: US20130106201A1. Автор: Laurence Ressier,Etienne Palleau. Владелец: Institut National Des Sciences Appliquees De Toulouse. Дата публикации: 2013-05-02.

DISPENSING UNIT FOR A THIN FILM DISPENSER AND THIN FILM DISPENSER HAVING THE SAME

Номер патента: US20130186571A1. Автор: WU Chien-Lung. Владелец: SDI CORPORATION. Дата публикации: 2013-07-25.

Thin Film Supporting Hyaluronic Acid Or Derivative Thereof And Thin Film Cosmetic

Номер патента: US20140120144A1. Автор: Abe Koji,Takeoka Shinji,Yamaki Satoshi,Saito Akihiro,FUJIE Toshinori,KIMURA Tomoko,Takeoka Eriko,Kunisawa Naomi,Kabata Kohki. Владелец: . Дата публикации: 2014-05-01.

THIN FILM FORMING METHOD AND THIN FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20140170320A1. Автор: Yamamoto Kazuya,ITO Yuichi. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-06-19.

METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM POLARIZER, AND THIN FILM POLARIZER AND POLARIZING PLATE MANUFACTURED USING THE SAME

Номер патента: US20160103259A1. Автор: Nam Sung Hyun,Rah Kyun-Il,JUNG Jong-Hyun,YU Hye-Min. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-14.

THIN FILM AND THIN FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20190192389A1. Автор: SHINODA MASAYO. Владелец: . Дата публикации: 2019-06-27.

NOVEL NANO-PATTERNED THIN FILM MEMBRANES AND THIN FILM COMPOSITE MEMBRANES, AND METHODS USING SAME

Номер патента: US20160214069A1. Автор: Greenberg Alan R.,Ding Yifu,Pellegrino John,MARUF SAJJAD H.. Владелец: . Дата публикации: 2016-07-28.

THIN FILM APPLICATION DEVICE AND THIN FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20190200732A1. Автор: SHINODA MASAYO,KANEMARU HIROSHI,TSUJITA KAZUMA,SHIGA TAKASHI. Владелец: . Дата публикации: 2019-07-04.

THIN FILM PATTERNING METHOD AND THIN FILM PATTERNING APPARATUS

Номер патента: US20150360253A1. Автор: Liu Yu,Zhang Kunpeng,BAI Nini,WANG Fengguo,MIN Chonkyu. Владелец: . Дата публикации: 2015-12-17.

Thin-film magnetic head structure having a magnetic pole tip with an even width portion method of manufacturing thereof, and thin-film magnetic head having a magnetic pole tip with an even width portion

Номер патента: US7558020B2. Автор: Yoshitaka Sasaki,Hironori Araki,Hiroyuki Ito. Владелец: Headway Technologies Inc. Дата публикации: 2009-07-07.

Structure for thin film magnetic head, method of manufacturing the same, and thin film magnetic head

Номер патента: JP5005274B2. Автор: 芳高 佐々木,浩幸 伊藤,和夫 石崎,雄大 堀中. Владелец: ヘッドウェイテクノロジーズ インコーポレイテッド. Дата публикации: 2012-08-22.

Base paper for thin-film paper and thin-film paper

Номер патента: JP6958758B1. Автор: 泰友 野一色,裕太 社本,三代子 田中,美咲 若林. Владелец: Oji Paper Co Ltd. Дата публикации: 2021-11-02.

Dispensing unit for a thin film dispenser and thin film dispenser having the same

Номер патента: KR200470407Y1. Автор: 치엔-룽 우. Владелец: 에스디아이 코퍼레이션. Дата публикации: 2013-12-16.

Substrate for thin film magnetic head and thin film magnetic head using it

Номер патента: KR100563376B1. Автор: 다카키 오오츠보. Владелец: 교세라 가부시키가이샤. Дата публикации: 2006-05-25.

Method of manufacturing a thin film attached to the skin coated with a functional mixture and thin film attached to the skin manufactured using the same

Номер патента: KR20210142303A. Автор: 김기돈,정준호,전소희,황순형,강혁중. Владелец: 씨알에스큐브 아메리카, 인크.. Дата публикации: 2021-11-25.

Method of manufacturing thin film transistor substrate and thin film transistor substrate manufactured by the method

Номер патента: KR100913300B1. Автор: 추교섭,윤주선. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2009-08-26.

Substrate for thin film magnetic head and thin film magnetic head

Номер патента: JPH0630129B2. Автор: 誉生 越川,満雅 押木,一典 片桐. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 1994-04-20.

Thin film solar cell absorption layer manufacture device and thin film solar cell absorption layer manufacture method

Номер патента: CN103367523A. Автор: 钱青,龚立光. Владелец: New Energy (shanghai) Co Ltd. Дата публикации: 2013-10-23.

Method of manufacturing thin film polarizer, and thin film polarizer and polarizing plate manufactured using the same

Номер патента: TW201506467A. Автор: Sung-Hyun Nam,Kyun-Il Rah,Jong-Hyun Jung,Hye-Min Yu. Владелец: Lg Chemical Ltd. Дата публикации: 2015-02-16.

Thin film adhesion testing equipment and thin film adhesion testing method

Номер патента: CN105334160A. Автор: 张雷,胡明,王庆浦,范文金,赖育辉. Владелец: Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2016-02-17.

Hyaluronic acid or its derivative-supported thin film and thin film cosmetics

Номер патента: JP5572263B2. Автор: 朋子 木村,公司 阿部,悟史 八巻,永里子 武岡,真司 武岡,直美 國澤,俊宣 藤枝,晃広 齋藤,浩貴 下野. Владелец: Nanotheta Co Ltd. Дата публикации: 2014-08-13.

Method and apparatus for removing thin film and thin film contaminants on solid surfaces

Номер патента: DE10233304B4. Автор: Gert Dipl.-Ing. Werner (FH),Dirk Dipl.-Ing. Hentschel. Владелец: UNIQUE CLEANING SYSTEMS GmbH. Дата публикации: 2005-11-10.

Thin film magnetic head structure, method of making same and thin film magnetic head

Номер патента: US20090086370A1. Автор: Yoshitaka Sasaki,Hironori Araki,Hiroyuki Ito. Владелец: Headway Technologies Inc. Дата публикации: 2009-04-02.

Method of producing display device, display device, method of producing thin-film transistor substrate, and thin-film transistor substrate

Номер патента: US20120001183A1. Автор: . Владелец: SONY CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

Method for manufacturing thin film capacitor and thin film capacitor obtained by the same

Номер патента: US20120001298A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Thin film deposition method

Номер патента: CA2264371C. Автор: Stanford R. Ovshinsky,Masatsugu Izu,Wataru Hasegawa,Buddie R. Ii Dotter. Владелец: Energy Conversion Devices Inc. Дата публикации: 2003-06-03.

System For Monitoring Foreign Particles, Process Processing Apparatus And Method Of Electronic Commerce

Номер патента: US20120002196A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Low pressure chemical vapor deposition equipment and low pressure chemical vapor deposition controlling method

Номер патента: CN102041483A. Автор: 王硕,许忠义. Владелец: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2011-05-04.

Air extractor, low pressure chemical vapor deposition equipment and chemical gaseous phase depositing process

Номер патента: CN103243308B. Автор: 孙雷军. Владелец: CSMC Technologies Corp. Дата публикации: 2015-11-25.

Gas injection nozzle of semiconductor low-pressure chemical vapor deposition equipment and manufacturing method thereof

Номер патента: KR980011774A. Автор: 이성철. Владелец: 엘지반도체 주식회사. Дата публикации: 1998-04-30.

Horizontal Low Pressure Chemical Vapor Deposition System

Номер патента: KR970056046U. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 1997-10-13.

Horizontal Low Pressure Chemical Vapor Deposition System

Номер патента: KR970056053U. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 1997-10-13.

With the low pressure chemical vapor deposition equipment of hydrogenchloride cleaning function

Номер патента: CN204356399U. Автор: 李轶,丁波,陈瀚,侯金松. Владелец: SHANGHAI MICRO-SEMI WORLD Co Ltd. Дата публикации: 2015-05-27.

Inner Tube Structure of Reactor for High Temperature Low Pressure Chemical Vapor Deposition Equipment

Номер патента: KR19990039789U. Автор: 김응수. Владелец: 현대반도체 주식회사. Дата публикации: 1999-11-15.

The method and device of removing the cooling by-product remained in the exhaust pipeline for the low pressure chemical vapor deposition (LPCVD)

Номер патента: TW399238B. Автор: Wei-Fan Lin,Jeng-Chang Hung. Владелец: Vanguard Int Semiconduct Corp. Дата публикации: 2000-07-21.

Thin film deposition method and thin film deposition apparatus

Номер патента: TW200540965A. Автор: Takeshi Sakurai,Yizhou Song. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2005-12-16.

Thin film deposition method and thin film deposition apparatus

Номер патента: TWI267121B. Автор: Takeshi Sakurai,Yizhou Song. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2006-11-21.

Catalytic chemical vapor deposition apparatus and thin film manufacturing method

Номер патента: JP4866446B2. Автор: 浩二 池田,秀二 野村,仁史 森崎,周悟 渡辺,啓次 石橋,稔 柄澤. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2012-02-01.

Low-pressure chemical vapor deposition reaction equipment

Номер патента: CN102080220A. Автор: 林朝晖,单洪青. Владелец: FUJIAN GOLDEN SUN SOLAR TECHNIC Co Ltd. Дата публикации: 2011-06-01.

Base for LPCVD (low pressure chemical vapor deposition) module and LPCVD module thereof

Номер патента: CN215757602U. Автор: 魏巍. Владелец: Shanghai Huali Microelectronics Corp. Дата публикации: 2022-02-08.

Vertical Low Pressure Chemical Vapor Deposition Reactor

Номер патента: KR940019721U. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 1994-08-22.

Low Pressure Chemical Vapor Deposition Equipment

Номер патента: KR950021369U. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 1995-07-28.

Low Pressure Chemical Vapor Deposition Equipment

Номер патента: KR960006306U. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 1996-02-17.

Low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) system

Номер патента: CN202936478U. Автор: 彭侃,吴国发. Владелец: Hanergy New Material Technology Co Ltd. Дата публикации: 2013-05-15.

GaN thin film vapor deposition method and thin film vapor deposition apparatus

Номер патента: JP3198956B2. Автор: 清 久保田. Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 2001-08-13.

Low Pressure Chemical Vapor Deposition Equipment

Номер патента: KR950021368U. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 1995-07-28.

Chemical vapor deposition apparatus having a reaction chamber condition detection function and a detection method thereof

Номер патента: TW200619412A. Автор: Chien-Hsing Lai. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2006-06-16.

Method of producing a metal barrier layer structure for plasma-assisted low-pressure chemical vapor phase deposition lamination of titanium nitride

Номер патента: TW414811B. Автор: Ding-Jang Jang,Rung-Jr Hu. Владелец: Shr Min. Дата публикации: 2000-12-11.

Transparent polyimide siloxane, manufacturing method thereof and thin film thereof

Номер патента: TW201233713A. Автор: Pi-Tao Kuo,Chih-Yu Tsao. Владелец: Chin Yee Chemical Industres Co Ltd. Дата публикации: 2012-08-16.

Thin-film switch, thin-film switch key and thin-film switch keyboard

Номер патента: TWM426810U. Автор: ming-hong Chen. Владелец: Darfon Electronics Corp. Дата публикации: 2012-04-11.

ROTATING TYPE THIN FILM DEPOSITION APPARATUS AND THIN FILM DEPOSITION METHOD USED BY THE SAME

Номер патента: US20130115373A1. Автор: Seo Sang-Joon,Kim Seung-Hun,Kim Jin-Kwang. Владелец: Samsung Mobile Display Co., Ltd.. Дата публикации: 2013-05-09.

Thin Film Depositing Apparatus and Thin Film Depositing Method Used by the Same

Номер патента: US20130251902A1. Автор: Seo Sang-Joon,Huh Myung-Soo,Lee Yong-Suk,Jo Cheol-Rae,An Mi-Ra,Jang Choel-Min,KIM In-Kyo,LEE Sung-Yong. Владелец: Samsung Display Co., Ltd.. Дата публикации: 2013-09-26.

THIN FILM DEPOSITING APPARATUS AND THIN FILM DEPOSITING METHOD USING THE SAME

Номер патента: US20130266728A1. Автор: Seo Sang-Joon,Huh Myung-Soo,Kim Seung-Hun,Kim Jin-Kwang,Jo Cheol-Rae,Yi Jeong-Ho,Jang Choel-Min. Владелец: Samsung Display Co., Ltd.. Дата публикации: 2013-10-10.

Thin-film deposition apparatus and thin-film deposition method

Номер патента: TW202204653A. Автор: 林俊成. Владелец: 天虹科技股份有限公司. Дата публикации: 2022-02-01.

Thin film semiconductor device, manufacturing method and manufacturing apparatus thereof, and thin film single crystal semiconductor solar cell and manufacturing method thereof

Номер патента: KR19980033377A. Автор: 야마우찌가즈시,마쯔시따다께시,나까고에미야꼬,웨스트워터조나단,구스노끼미사오. Владелец: 이데이노부유끼. Дата публикации: 1998-07-25.

Thin film deposition apparatus and thin film deposition method

Номер патента: JP3579074B2. Автор: 吉則 武藤. Владелец: Olympus Corp. Дата публикации: 2004-10-20.

Thin film deposition method and thin film deposition apparatus

Номер патента: JP6486696B2. Автор: 文彦 廣瀬. Владелец: Yamagata University NUC. Дата публикации: 2019-03-20.

Chemical vapor deposition apparatus having a reaction chamber condition detection function and a detection method thereof

Номер патента: TWI288182B. Автор: Chien-Hsing Lai. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2007-10-11.

Liquid crystal dsiplay panel and thin film transistor substrate thereof and driving metohd of thin film transistor substrate

Номер патента: TWI372933B. Автор: Yeong Feng Wang. Владелец: Chimei Innolux Corp. Дата публикации: 2012-09-21.

Thin film forming method and thin film forming device

Номер патента: AU2002315775A1. Автор: Yasushi Ohbayashi. Владелец: Hamamatsu Photonics KK. Дата публикации: 2003-01-21.

Liquid crystal dsiplay panel and thin film transistor substrate thereof and driving metohd of thin film transistor substrate

Номер патента: TW201005409A. Автор: Yeong-Feng Wang. Владелец: Chi Mei Optoelectronics Corp. Дата публикации: 2010-02-01.

Thin film type solid electrolyte structure and thin film type solid secondary battery thereof

Номер патента: TWM568502U. Автор: 廖偉豪. Владелец: 陳立翔. Дата публикации: 2018-10-11.

Electrodeposited magnetic thin film, manufacturing method thereof, and thin film magnetic head

Номер патента: JP3774200B2. Автор: 哲哉 箕野,滋 市原,晴司 矢里,淳 山口. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2006-05-10.

Ceramic substrate for thin film electronic component, manufacturing method thereof, and thin film electronic component using the same

Номер патента: JP4668577B2. Автор: 学 佐藤,淳 大塚,星児 一▲柳▼. Владелец: NGK Spark Plug Co Ltd. Дата публикации: 2011-04-13.

Porous valve metal thin film, manufacturing method thereof, and thin film capacitor

Номер патента: JP4561428B2. Автор: 敏行 大迫,哲史 小向. Владелец: SUMITOMO METAL MINING CO LTD. Дата публикации: 2010-10-13.

Radiation detector, radiation image generating apparatus and system for generating radiation images

Номер патента: RU2351038C2. Автор: Минору ВАТАНАБЕ,Тиори МОТИЗУКИ,Кейити НОМУРА,Такамаса ИСИИ. Владелец: Кэнон Кабусики Кайся. Дата публикации: 2009-03-27.

Thin film deposition mask and thin film deposition apparatus

Номер патента: JP4375649B2. Автор: 喜文 小田. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp . Дата публикации: 2009-12-02.

METHOD OF CLEANING A THIN FILM FORMING APPARATUS, THIN FILM FORMING METHOD, AND THIN FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20120015525A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-01-19.

METHOD FOR MAKING SEMICONDUCTOR APPARATUS AND SEMICONDUCTOR APPARATUS OBTAINED BY THE METHOD, METHOD FOR MAKING THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE AND THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE OBTAINED BY THE METHOD, AND METHOD FOR MAKING DISPLAY APPARATUS AND DISPLAY APPARATUS OBTAINED BY THE METHOD

Номер патента: US20120205657A1. Автор: Arai Toshiaki,HAYASHI Naoki. Владелец: SONY CORPORATION. Дата публикации: 2012-08-16.

ELECTRONIC SYSTEMS, THIN FILM TRANSISTORS, METHODS OF MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTORS AND THIN FILM TRANSISTOR ARRAYS

Номер патента: US20120223385A1. Автор: HONG Young-ki,CHUNG Jae-woo,LEE Seung-ho,KIM Joong-hyuk. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.. Дата публикации: 2012-09-06.

PROCESS OF FORMING DIELECTRIC THIN FILM AND THIN FILM CAPACITOR HAVING SAID DIELECTRIC THIN FILM

Номер патента: US20120224297A1. Автор: . Владелец: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION. Дата публикации: 2012-09-06.

METHOD FOR MAKING SEMICONDUCTOR APPARATUS AND SEMICONDUCTOR APPARATUS OBTAINED BY THE METHOD, METHOD FOR MAKING THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE AND THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE OBTAINED BY THE METHOD, AND METHOD FOR MAKING DISPLAY APPARATUS AND DISPLAY APPARATUS OBTAINED BY THE METHOD

Номер патента: US20120267633A1. Автор: Arai Toshiaki,HAYASHI Naoki. Владелец: SONY CORPORATION. Дата публикации: 2012-10-25.

Thin film chip resistor, thin film chip capacitor, and thin film chip inductor manufacturing method

Номер патента: JP4984855B2. Автор: 光明 中尾,一宏 神田,貴 森野,健 井関. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2012-07-25.

Spin-valve thin-film element and thin-film magnetic head using the spin-valve thin-film element

Номер патента: JP3040750B2. Автор: 直也 長谷川,正路 斎藤. Владелец: Alps Electric Co Ltd. Дата публикации: 2000-05-15.

Spin-valve thin-film element and thin-film magnetic head using the spin-valve thin-film element

Номер патента: JP3249499B2. Автор: 直也 長谷川,正路 斎藤. Владелец: Alps Electric Co Ltd. Дата публикации: 2002-01-21.

Metal compound, raw material for forming thin film, method for producing thin film and thin film

Номер патента: JP2006312600A. Автор: Naoki Yamada,Atsushi Sakurai,直樹 山田,淳 桜井. Владелец: Adeka Corp. Дата публикации: 2006-11-16.

Thin film forming apparatus cleaning method, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: JP5554469B2. Автор: 充弘 岡田,大和 戸根川,聡 高木,亮 孫,正彦 冨田. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-07-23.

THIN FILM TRANSISTOR DEVICE, ITS MANUFACTURING METHOD, THIN FILM TRANSISTOR ARRAY AND THIN FILM TRANSISTOR DISPLAY

Номер патента: JP5103742B2. Автор: 守 石崎,透 大久保. Владелец: Toppan Inc. Дата публикации: 2012-12-19.

Thin film deposition device and thin film deposition method

Номер патента: JP2012087387A. Автор: 一新 楊,Itsushin Yo. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2012-05-10.

THIN FILM TRANSISTOR PRINTING APPARATUS AND THIN FILM TRANSISTOR PRINTING METHOD USING THE SAME

Номер патента: US20120171873A1. Автор: . Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.. Дата публикации: 2012-07-05.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP3887494B2. Автор: 達哉 佐藤,智明 菅原,正治 田中. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2007-02-28.

Protective film for insulating substrate, thin film laminate, and thin film sensor

Номер патента: JP3756373B2. Автор: 和明 江坂,宗男 頼永,廣正 岡村. Владелец: Nippon Soken Inc. Дата публикации: 2006-03-15.

Thin film forming apparatus and thin film forming method using the same

Номер патента: JP3332839B2. Автор: 和穗 曽根. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2002-10-07.

Rotating thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP3629232B2. Автор: 将弘 渡部. Владелец: 株式会社半導体先端テクノロジーズ. Дата публикации: 2005-03-16.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP4498503B2. Автор: 一男 浦田,治男 吉岡,直毅 日向,努 島山. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2010-07-07.

Method for manufacturing semiconductor thin film and thin-film transistor, electro-optical apparatus, and electronic equipment

Номер патента: JP2003100638A. Автор: 清一郎 東,Seiichiro Azuma. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2003-04-04.

Thin film thickness measuring apparatus and thin film thickness measuring method

Номер патента: JP4049458B2. Автор: 慎一郎 税所. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2008-02-20.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP4852477B2. Автор: 智之 古村,理史 川越. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2012-01-11.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP5588782B2. Автор: 一新 楊. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2014-09-10.

Thin film production apparatus, and thin film production method using the apparatus

Номер патента: JP2004149917A. Автор: KATSUSHI Kishimoto,Yasushi Fujioka,Hiroyuki Fukuda,靖 藤岡,浩幸 福田,Katsuhiko Nomoto,克史 岸本,Yusuke Fukuoka,裕介 福岡,克彦 野元. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2004-05-27.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP4461986B2. Автор: 光敏 宮坂. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2010-05-12.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP5570939B2. Автор: 一新 楊. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2014-08-13.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP4597149B2. Автор: 徹治 荒井,繁治 松本. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2010-12-15.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP3284814B2. Автор: 裕之 中,真芳 三浦. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2002-05-20.

Thin film manufacturing apparatus and thin film manufacturing method using the apparatus

Номер патента: JP4421864B2. Автор: 靖 藤岡,浩幸 福田,克史 岸本,裕介 福岡,克彦 野元. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2010-02-24.

Thin film manufacturing apparatus and thin film manufacturing method

Номер патента: JP5906610B2. Автор: 治 町田,町田　治,亮 田代. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2016-04-20.

Thin film production apparatus and thin film production method

Номер патента: JP4364380B2. Автор: 健吾 秋元. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2009-11-18.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP6002522B2. Автор: 正剛 松葉,浩二 羽田,福島　和宏,和宏 福島,篤史 大澤,典孝 米山. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2016-10-05.

Thin film manufacturing apparatus and thin film manufacturing method

Номер патента: JP4218942B2. Автор: 健 増田,浩 西岡,雅彦 梶沼,紅コウ 鄒,貴一 山田,正紀 植松. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2009-02-04.

A kind of polypropylene resin composite preparing packaging film and thin film thereof and method for manufacturing thin film

Номер патента: CN103087401B. Автор: 侯莉萍,盛建昉,乔金樑,黄红红,施红伟,唐毓婧,魏东,张龙贵,侯家祥. Владелец: Sinopec Beijing Research Institute of Chemical Industry. Дата публикации: 2016-06-29.

Cassette, thin film deposition system, and thin film deposition method

Номер патента: JP2004084012A. Автор: Hiroshi Hayashi,Tetsuya Kawakami,林　弘志,川上　哲哉. Владелец: Kyocera Corp. Дата публикации: 2004-03-18.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP5134343B2. Автор: 和志 林,幸雄 吉川,信孝 青峰,剛志 角田,有紀 青嶋. Владелец: Kobe Steel Ltd. Дата публикации: 2013-01-30.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP3732340B2. Автор: 慶 梶原. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2006-01-05.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP4792242B2. Автор: 健 川俣,延好 豊原. Владелец: Olympus Corp. Дата публикации: 2011-10-12.

Thin film device manufacturing apparatus and thin film device manufacturing method

Номер патента: JP4054234B2. Автор: 弘志 林,哲哉 川上. Владелец: Kyocera Corp. Дата публикации: 2008-02-27.

Thin film forming apparatus and thin film forming method

Номер патента: JP3071657B2. Автор: 総一 酒井,治寿 橋本,秀則 西脇. Владелец: Sanyo Electric Co Ltd. Дата публикации: 2000-07-31.

Method for manufacturing low-pressure chemical synthesis foil for aluminum electrolysis capacitor and middle treatment groove

Номер патента: CN101235529B. Автор: 李道重. Владелец: Ruyuan Yao Autonomous County Dongyangguang Formed Foil Co Ltd. Дата публикации: 2010-04-07.

Crucible device, control method of the crucible device, film thickness measuring device and thin film deposition apparatus

Номер патента: CN102808167A. Автор: 鲁俊瑞. Владелец: LIG ADP CO Ltd. Дата публикации: 2012-12-05.

Improve the formation processing method of low-pressure chemical synthesis foil resistance to water

Номер патента: CN103258649B. Автор: 王建中,张校刚,严季新,朱鸿伟. Владелец: NANHAI HAIXING ELECTRONIC Co Ltd. Дата публикации: 2016-04-13.

THIN FILM FORMING DEVICE AND THIN FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20120009349A1. Автор: Shimada Takashi,Yamamoto Masahiro,SHIBUTANI Satoshi,HONDA Kazuyoshi,Kamiyama Yuma,SHINOKAWA Yasuharu. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-12.

DISPENSING UNIT FOR A THIN FILM DISPENSER AND THIN FILM DISPENSER HAVING THE SAME

Номер патента: US20120012257A1. Автор: WU Chien-Lung. Владелец: SDI CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-19.

THIN FILM TRANSISTOR, DISPLAY DEVICE USING THE SAME, AND THIN FILM TRANSISTOR MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20120018728A1. Автор: SATOH Eiichi. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-26.

THIN FILM MANUFACTURING METHOD AND THIN-FILM ELEMENT

Номер патента: US20120028075A1. Автор: Machida Osamu,Tashiro Ryoh,Yagi Masahiro,Akiyama Yoshikazu,Ohta Eiichi. Владелец: . Дата публикации: 2012-02-02.

Thin Film Solar Cell and Thin Film Solar Cell System

Номер патента: US20120042923A1. Автор: Tsai Chin-Yao,Yang Chien-Sheng. Владелец: AURIA SOLAR. Дата публикации: 2012-02-23.

LAMINATED BODY HAVING SEMICONDUCTOR LAYER AND LAYER THICKNESS MEASUREMENT PORTION, AND THIN-FILM PHOTOELECTRIC CONVERSION DEVICE AND INTEGRATED THIN-FILM SOLAR CELL HAVING THE SAME

Номер патента: US20120042934A1. Автор: Takeda Tohru,Nasuno Yoshiyuki. Владелец: . Дата публикации: 2012-02-23.

METHOD FOR DEPOSITING A THIN FILM ELECTRODE AND THIN FILM STACK

Номер патента: US20120104616A1. Автор: . Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-05-03.

Manufacturing Method of Thin Film Solar Cells and Thin Film Solar Cells Thereof

Номер патента: US20120160310A1. Автор: . Владелец: NEXPOWER TECHNOLOGY CORPORATION. Дата публикации: 2012-06-28.

METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR AND THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE

Номер патента: US20120161234A1. Автор: . Владелец: Electronics and Telecommunications Research Institute. Дата публикации: 2012-06-28.

RAW MODULE FOR PRODUCING A THIN-FILM SOLAR MODULE, AND THIN-FILM SOLAR MODULE

Номер патента: US20120199178A1. Автор: Psyk Walter,Wagner Hermann,Lechner Peter. Владелец: SCHOTT SOLAR AG. Дата публикации: 2012-08-09.

Solution Derived Nanocomposite Precursor Solutions, Methods for Making Thin Films and Thin Films Made by Such Methods

Номер патента: US20120202037A1. Автор: Ryabova Elmira. Владелец: ADVENIRA, INC.. Дата публикации: 2012-08-09.

Solid Electrolyte, Fabrication Method Thereof and Thin Film Battery Comprising the Same

Номер патента: US20120270113A2. Автор: Lee Kichang,KIM Jimin,Park Hoyoung,PARK Giback,Nam Sangcheol,Lim Youngchang,An Geunwan,Hwang Hosung. Владелец: GSNano Tech Co., Ltd.. Дата публикации: 2012-10-25.

THIN-FILM FORMATION APPARATUS SYSTEM AND THIN-FILM FORMATION METHOD

Номер патента: US20120295028A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-11-22.

MANUFACTURING METHOD OF THIN FILM TRANSISTOR AND THIN FILM TRANSISTOR, AND DISPLAY

Номер патента: US20120326154A1. Автор: . Владелец: SONY CORPORATION. Дата публикации: 2012-12-27.

Thin Film Transistor Manufacturing Method and Thin Film Transistor

Номер патента: US20130015446A1. Автор: He Chengming,Qin Shijian. Владелец: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.. Дата публикации: 2013-01-17.

METHOD OF PRODUCING POROUS VALVE METAL THIN FILM AND THIN FILM PRODUCED THEREBY

Номер патента: US20130017115A1. Автор: Komukai Tetsufumi,Osako Toshiyuki. Владелец: SUMITOMO METAL MINING CO., LTD.. Дата публикации: 2013-01-17.

SEMICONDUCTOR THIN-FILM FORMING METHOD, SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD, SUBSTRATE, AND THIN-FILM SUBSTRATE

Номер патента: US20130026479A1. Автор: KAWASHIMA Takahiro,NISHITANI Hikaru,OOTAKA Sei. Владелец: Panasonic Corporation. Дата публикации: 2013-01-31.

THIN FILM TRANSISTOR AND THIN FILM TRANSISTOR ARRAY PANEL

Номер патента: US20130032794A1. Автор: YU Se Hwan,Khang Yoon Ho,Lee Yong Su,Chang Chong Sup. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.. Дата публикации: 2013-02-07.

OXIDE FOR SEMICONDUCTOR LAYER OF THIN-FILM TRANSISTOR, SPUTTERING TARGET, AND THIN-FILM TRANSISTOR

Номер патента: US20130032798A1. Автор: Iwanari Yumi,Kugimiya Toshihiro,Morita Shinya,Miki Aya,Yasuno Satoshi,Park Jae Woo,Lee Je Hun,Ahn Byung Du,Terao Yasuaki. Владелец: . Дата публикации: 2013-02-07.

OXIDE SEMICONDUCTOR, THIN FILM TRANSISTOR INCLUDING THE SAME, AND THIN FILM TRANSISTOR ARRAY PANEL INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20130075720A1. Автор: Kugimiya Toshihiro,Tao Hiroaki,Morita Shinya,Miki Aya,Park Jae Woo,Lee Je Hun,Ahn Byung Du,Park Sei-Yong,Park Jun Hyun,Kim Gun Hee,Lim Ji Hun,PARK Jin Seong,Kishi Tomoya. Владелец: . Дата публикации: 2013-03-28.

MANUFACTURING METHOD FOR THIN FILM TRANSISTOR AND THIN FILM TRANSISTOR MANUFACTURED BY THEM

Номер патента: US20130075731A1. Автор: Han Min Koo,Kim Sun Jae. Владелец: SNU R&DB FOUNDATION. Дата публикации: 2013-03-28.

THIN-FILM TRANSISTOR AND THIN-FILM TRANSISTOR MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20130134429A1. Автор: YAMADA Tatsuya. Владелец: Panasonic Corporation. Дата публикации: 2013-05-30.

THIN FILM TRANSISTOR AND METHOD OF MANUFACTURING TRENCH, METAL WIRE, AND THIN FILM TRANSISTOR ARRAY PANEL

Номер патента: US20130183822A1. Автор: CHOI Shin Il,KIM Bong-Kyun,KIM Dae Ho,RYU Yong-Hwan,PARK Hong Sick,LEE Wang Woo. Владелец: Samsung Display Co., Ltd.. Дата публикации: 2013-07-18.

THIN FILM TRANSISTOR AND THIN FILM TRANSISTOR ARRAY PANEL INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20130306965A1. Автор: Ahn Byung Du,PARK Jin Seong,LIM Jun Hyung. Владелец: Samsung Display Co., Ltd.. Дата публикации: 2013-11-21.

METHOD OF FORMING METAL THIN FILM USING ELECTROLESS DEPOSITION AND THIN FILM DEVICE FABRICATED USING THE METHOD

Номер патента: US20140030532A1. Автор: KIM Sang Hoon,BYUN Ji Young,HA Heon Phil,HWANG Ju Yeon. Владелец: KOREA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY. Дата публикации: 2014-01-30.

Polyamide-based block copolymer-containing resin composition for forming a thin film and thin film formed using the same

Номер патента: JP3979698B2. Автор: 隆之 中西. Владелец: Tomoegawa Paper Co Ltd. Дата публикации: 2007-09-19.

Photocurable composition and insulating thin film and thin film transistor using the same

Номер патента: JP5284880B2. Автор: 貴雄 眞鍋,正仁 井手. Владелец: Kaneka Corp. Дата публикации: 2013-09-11.

Titanium dioxide sol and thin film for thin film formation

Номер патента: JP3524342B2. Автор: 将弘 大森,忠 濱中,英則 中村,典子 村瀬. Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2004-05-10.

Olefines-copolymer composition and preparation thereof, and thin film and gold-coated thin film containing olefines-copolymer composition

Номер патента: CN1135497A. Автор: K·大谷,Y·森本,T·广濑. Владелец: Chisso Corp. Дата публикации: 1996-11-13.

Production of thin film and thin film-adhering product thereby

Номер патента: JPH1180941A. Автор: Junichi Sato,Koji Aoki,純一 佐藤,Masanori Yoshikawa,昌範 吉川,弘次 青木. Владелец: Individual. Дата публикации: 1999-03-26.

Metallocene transparent thin film resin and preparation method and thin film thereof

Номер патента: CN106632779A. Автор: 安彦杰,王登飞,郭峰,杨国兴,赵兴龙,高宇新,任合刚,李�瑞,王熺,国海峰,吕红丽,王斯晗,姜进宪,宋磊,李艳,张明强,葛腾杰,张德英,王世华,任鹤,马丽,董春明,杨旭,闫恪敏,李岩. Владелец: China Petroleum and Natural Gas Co Ltd. Дата публикации: 2017-05-10.

Formation of thin film and thin film forming device

Номер патента: JPH11323543A. Автор: Tatsuya Sato,達哉 佐藤,Masaharu Tanaka,智明 菅原,正治 田中,Tomoaki Sugawara. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 1999-11-26.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP3425852B2. Автор: 克之 町田,億 久良木. Владелец: Nippon Telegraph and Telephone Corp. Дата публикации: 2003-07-14.

Formation of thin film and thin film forming device

Номер патента: JPH1098032A. Автор: Shigeo Goshima,信一郎 ▲高▼谷,Shinichiro Takatani,浩幸 ▲高▼澤,Hiroyuki Takazawa,滋雄 五島. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1998-04-14.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP2986799B2. Автор: 塚本　　晃,幸雄 本多,敏之 会田,一重 今川,徳海 深沢,克己 宮内. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1999-12-06.

Gas nozzle, manufacturing method thereof, and thin film forming apparatus using the same

Номер патента: JP4423082B2. Автор: 治 上林. Владелец: Kyocera Corp. Дата публикации: 2010-03-03.

Thin film manufacturing method and thin film manufacturing apparatus

Номер патента: JP4289916B2. Автор: 寛 野田,洋光 落合,智久 萩原,元 宮下. Владелец: DAI NIPPON PRINTING CO LTD. Дата публикации: 2009-07-01.

Thin film removing method and thin film removing apparatus

Номер патента: JP4887086B2. Автор: 太郎 桑原,聖二 片山,秀憲 青木,清 久米,洋一 川上. Владелец: 武井電機工業株式会社. Дата публикации: 2012-02-29.

Thin film forming apparatus cleaning method and thin film forming method

Номер патента: JP5197554B2. Автор: 一秀 長谷部,充弘 岡田,淳 小川,貴司 千葉. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-05-15.

Single-wafer thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JPH0693452B2. Автор: 晋平 飯島,静憲 大湯,恭雄 和田,信義 夏秋. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1994-11-16.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP6274832B2. Автор: 裕司 岡本. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2018-02-07.

Organic thin film manufacturing method and thin film optical element manufactured by the method

Номер патента: JP3421841B2. Автор: 公二 辻田,教雄 田中,一郎 上野,隆 平賀,哲郎 守谷,哲夫 佐治,宏光 柳本. Владелец: Dainichiseika Color and Chemicals Mfg Co Ltd. Дата публикации: 2003-06-30.

Semiconductor device, thin film transistor, and thin film diode

Номер патента: JP4880951B2. Автор: 達哉 岩崎,奈穂 板垣. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2012-02-22.

Thin film manufacturing method and thin film manufacturing apparatus

Номер патента: JP5262430B2. Автор: 和義 本田,泰治 篠川,遊馬 神山,智文 柳. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2013-08-14.

Soluble biological-base long-carbon-chain semi-alicyclic polyimide and thin film as well as preparation method thereof

Номер патента: CN102660025A. Автор: 王忠强,朱怀才. Владелец: DONGGUAN SINOPLAST INDUSTRIAL Ltd. Дата публикации: 2012-09-12.

Thin film shape measuring method and thin film shape measuring apparatus

Номер патента: JP4560622B2. Автор: 修己 佐々木. Владелец: 国立大学法人 新潟大学. Дата публикации: 2010-10-13.

Thin film thickness measuring method and thin film thickness measuring apparatus

Номер патента: JP4759772B2. Автор: 弘 久保田,明良 中田,信博 新庄,隆史 羽山,雅典 江口,創 相川,敏夫 藤井. Владелец: Technos Co Ltd. Дата публикации: 2011-08-31.

Thin film forming solution and thin film forming method

Номер патента: JP3106988B2. Автор: 勝実 小木,篤 齋,和夫 若林. Владелец: Mitsubishi Materials Corp. Дата публикации: 2000-11-06.

Thin film capacitor manufacturing method and thin film capacitor

Номер патента: JP2019186286A. Автор: 上島　聡史,聡史 上島,熊谷　道広,Michihiro Kumagai,道広 熊谷,則彦 松坂,Norihiko Matsuzaka,淳己 中本,Junki NAKAMOTO,Satoshi Uejima. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2019-10-24.

Thin film bipolar transistor and thin film semiconductor device using the same

Номер патента: JP3252290B2. Автор: 裕康 山田. Владелец: Casio Computer Co Ltd. Дата публикации: 2002-02-04.

Production of thin film forming composition and thin film using the composition

Номер патента: JPH11269656A. Автор: Minoru Tanaka,Hidechika Yokoyama,実 田中,Junko Nagao,純子 長尾,英親 横山. Владелец: Kojundo Kagaku Kenkyusho KK. Дата публикации: 1999-10-05.

Ceramic substrate for thin film electronic component and thin film electronic component using the same

Номер патента: JP4690000B2. Автор: 学 佐藤,雅彦 奥山,淳 大塚,星児 一▲柳▼. Владелец: NGK Spark Plug Co Ltd. Дата публикации: 2011-06-01.

Photocurable composition, and insulating thin film and thin film transistor prepared using the same

Номер патента: JP2015028179A. Автор: Masahito Ide,Takao Manabe,貴雄 眞鍋,正仁 井手,眞鍋　貴雄,井手　正仁. Владелец: Kaneka Corp. Дата публикации: 2015-02-12.

Oxide sintered body, sputtering target, amorphous oxide semiconductor thin film, and thin film transistor

Номер патента: JP6858107B2. Автор: 一吉 井上,井上　一吉,雅敏 柴田. Владелец: Idemitsu Kosan Co Ltd. Дата публикации: 2021-04-14.

Ferromagnetic multilayer thin film and thin film inductor

Номер патента: JP6891585B2. Автор: 裕之 松元,明洋 原田,暁斗 長谷川,和宏 吉留,賢治 堀野,健輔 荒,誠吾 野老,一 天野,真仁 小枝,明徳 大井. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2021-06-18.

Thin film making method and thin film making equipment

Номер патента: JP2922058B2. Автор: 隆典 加藤,新 増井,廣成 山田. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 1999-07-19.

Thin film analysis method and thin film analyzer

Номер патента: JP4052951B2. Автор: 直樹 淡路. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2008-02-27.

Thin film forming device and thin film forming method

Номер патента: JP6896795B2. Автор: 博 鈴木,達也 新井,隆 金子,鈴木　博,崇 池上,金子　隆. Владелец: Dexerials Corp. Дата публикации: 2021-06-30.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP3244809B2. Автор: 伸夫 早坂,晴雄 岡野,裕一 見方,哲朗 松田,弘幸 竹内,明道 米倉. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2002-01-07.

Method for producing metal oxide thin film and thin film composite material

Номер патента: JP4135154B2. Автор: 靖 島田,恭 神代,裕介 近藤,善毅 平田. Владелец: Showa Denko Materials Co Ltd. Дата публикации: 2008-08-20.

Бесплатный поиск патентной информации. Построение патентных ландшафтов и отчетов.

Главная
Проекты и услуги
Контакты

© 2021-2022 - All Rights Reserved - разработано Ecoruspace.me.