Method of and apparatus for laser based processing of flat substrates being wafer or glass element using a laser beam line
Номер патента: EP2754524B1
Опубликовано: 25-11-2015
Автор(ы): Helmut Schillinger, Richard GRUNDMÜLLER
Принадлежит: Corning Laser Technologies GmbH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-11-2015
Автор(ы): Helmut Schillinger, Richard GRUNDMÜLLER
Принадлежит: Corning Laser Technologies GmbH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
METHOD AND DEVICE FOR THE CLASP-PROCESSING OF GLASS AND GLASS-LIKE MATERIALS, AND WORKPIECE MADE OF GLASS OR GLASS-LIKE MATERIAL BY THIS METHOD
Номер патента: DE2950559A1. Автор: Jan Haisma,Rudolf Brehm,Johannes Caspar Gera Teunissen,Johannes Caspar Benja Veldkamp. Владелец: Philips Gloeilampenfabrieken NV. Дата публикации: 1980-07-03.